Грабитель для выявления дислокаций в кремнии
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАНИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пп 436409 Союз СоветскихСоциалистицескихРеспублик 1) Зависимое от авт. свидетельства/26-25 51) М. Кл. Н 011 2) Заявлено 13.06,72 (21) 179 с присоединением заявк 2) Приоритет асударственныи камите Савета Министров ССС па делам изобретенийч открьпий Опубликовано 15.07.74. Бюллетень М 26(71 ител 4) ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ВЫЯВЛЕНИЯ ДИСЛОКА В КРЕМНИИ- увеличение скорости ние чувсввительности,к 5 -Изобретение относится,к техничке контролякачества монокристаллического кремини,Для выявления дислокаций в кремнии известны следующие травители: травитель Дэша: 1 ч. Н. +3 ч. НХОе+8 - 12 ч. СНзСООН;хромовый травитель: 1 ч, СгОЗ+1 ч. НГ+ ч.НеО; ртутный травитель 3 ч. НЕ+5 ч.НМО.+3 ч. СН,СООН+2 ч. 3%-ногоНд (йо,),Основными недоставками травителя Дэшаявляются очень малые акорости,растворения( - 16 час) и неполное выявление дислокаций. Хромовый и ртутный травители имеютвысокие скорости травления, но плохую выявляемость дислокаций.Цель изобретениярастворения и,повыше,ди,слокациям.Это достигается тем, что в казачестве акислительного компонента предлагаемого правителя введен насыщенный раствор двухромовокислого калия в серной кислоте.Компоненты могут 1 быть взяты в,следую,соотношении, вес. %:Калий,двухромовокислый 4, 5Серная кислота (95 -96%-ная) 6 - 10Плавиковая кислота (49 -50% -наяВода дисти) 40 - 45 ллированная 49,5 - 40 П р им е р 1. 3 г К.,СгеОт при,комна гной температуре растворяют в 28 мл дистиллированной воды и добавляют 2 мл концентрированной,серной кислоты, затем добавляют 20 мл плавиковой кислоты (49 - 50%-ной). Нагревают до 35 С н в течение 5 мин с перемешиванием травят на дислокации.,Пример 2. 3,5 г К Сг.О, прои комнатнойтемпературе растворяют в 35 мл воды и до бавляют 4 мл концентрированной серной кислоты, затем добавляют 30 мл плавиковой кислоты (49 - 50%-ной). Нагревают до 30 - 35 С и в течение 3 - 5 мин с перемешиваннем травят на дислокации.15 Насыщенный, раствор, соли двужромовой кислоты в серной кислоте, являясь более сильным окислителем, усиливает гальваничсский эффект растворения кремния в местах выхода дислокаций на поверхность, что позволяет вы являть все дислокации, пересекающие поверхность кремния. Плавиковая кислота является комплексообразователем, который переводит кремний в раствор. Вода регулирует скорость растворения, что бывает важно для исследо ваний кремния в тонких слоях, где скоростьраспворения должна быть минимальная, а выявление дислокаций полным.Предлагаемый травитель позволяет выявлять дислокации, выходящие под любым углом 30 к поверхности, давая очень четкие ямки травРедактор И. Шубина Заказ 3304/1 О Изд. Ме 1827 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 ления. По полноте выявления он превосходит все известные травители, Это дает возможность более точного определения плотности дислокаций на,различаых стадиях полу 1 проводникового производства. Предмет изобретения1. правитель для выявления дислокаций в кремнии, включающий водный раствор окислителя и комплексообразователя, о т л и ч а ющийся тем, что, с целью повьвшения чувствительности к дислокациям, в состав травителя в качестве окислителя аведен насыщенныйраствор двухромовокислого калия в сернойкислоте,2. Травитель по п. 1, отличающийсятем, что компоненты взяты в следующем соотношении,;вес. %:Калий двухромовокислый 4,5 - 5Серная кис.чота (95 -96% -ная) 6 - 1010 Плавиковая кислота (49 -50 /о-ная) 40 - 45Вода дистиллированная 40 - 49,5
СмотретьЗаявка
1795958, 13.06.1972
Я. А. Угай, И. В. Кириченко, К. Р. Курбанов, А. М. Черников
МПК / Метки
МПК: H01L 21/306
Метки: выявления, грабитель, дислокаций, кремнии
Опубликовано: 15.07.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-436409-grabitel-dlya-vyyavleniya-dislokacijj-v-kremnii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Грабитель для выявления дислокаций в кремнии</a>
Способ получения ненасыщенного твердого раствора ангидрида серной иили угольной кислоты в четырехкальциевом гидроалюминате
Номер патента: 1556525
Опубликовано: 15.12.1994
Авторы: Бадальянц, Исаков, Костин, Сизяков
МПК: C01F 7/16
Метки: «и—или», ангидрида, гидроалюминате, кислоты, ненасыщенного, раствора, серной, твердого, угольной, четырехкальциевом
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕНАСЫЩЕННОГО ТВЕРДОГО РАСТВОРА АНГИДРИДА СЕРНОЙ И/ИЛИ УГОЛЬНОЙ КИСЛОТЫ В ЧЕТЫРЕХКАЛЬЦИЕВОМ ГИДРОАЛЮМИНАТЕ путем смешивания раствора алюмината натрия с известковым молоком и карбонатной и сульфатной солями щелочного металла или их смесью при отношении R : Al2O3 = 0,1 - 0,6, где R - Na2CO5, K2CO3, Na2SO4 или их смесь, отличающийся тем, что, с целью повышения его обескремнивающей активности, раствор алюмината натрия и известковое молоко перед смешиванием подвергают вакуумному охлаждению до 40 - 55oС и смешивание реагентов ведут при молярном отношении CaO : Al2O3 = 1,0 - 2,0.
Травитель для выявления дислокаций в кремнии на плоскости (100)
Номер патента: 947233
Опубликовано: 30.07.1982
Авторы: Бароненкова, Борисова, Кондрашина, Фролова
МПК: C30B 33/00
Метки: 100, выявления, дислокаций, кремнии, плоскости, травитель
...предлагаемого травителя позволяет испольэовать его для выявлениядислокационной структуры эпитаксиальных слоев кремния, при использовании его для выявления дислокационной структуры в монокристаллах кремния повышается производительность процесса и экономится коемний и химический реагент. 1 ОП р и м е р. 1. Во фторпластовый стакан помешают 49-ого НГ 140 мл и Сг 033,3-ого раствора в воде 10 мл. Полученный травитель содержит 15 , НГ 526 г/л, СгО 23 г/л. Образецэпитаксиальную структуру с кристаллографической ориентацией (100)опускают в травитель и выдерживают 1,5 мин при постоянном помешивании. После этого образец промывают дистил.н Яэ данных таблицы можно сделать выйбд, что оптимальным составом травителя является раствор,...
Способ выделения уксусной кислоты из водного раствора
Номер патента: 437269
Опубликовано: 25.07.1974
Авторы: Бредтманн, Германн, Хандте, Эрпенбах
МПК: C07C 27/26
Метки: водного, выделения, кислоты, раствора, уксусной
...часть ректификационной колонны в количестве до 20% от расхода неочищенной кислоты. В нижней части колонны образуется уксусная кислота со степенью чистоты не ниже 99%.При работе, осуществляемой при нормальном давлении, температуру в нижней части колонны предпочтительно поддерживают) у Предмет изобретения 50 55 Составитель М. Виноградов Техред А, Дроздова Корректор Н. Аук Редактор О, Кузнецова Заказ 342 б 1 Изд.119 Тираж 50 б Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, )К, Раушская наб., д. 425Типография, пр. Сапунова, 2 116 в 1 С, а в верхней части колонны 96 - 100 С при флегмовом числе, равном приблизительно 1.На чертеже изображена дистилляционная колонна, в которой...
Способ очистки растворов электролитовот серной кислоты
Номер патента: 833274
Опубликовано: 30.05.1981
Авторы: Балакин, Бугаева, Пастухов, Попков, Соловьев, Сысков, Худяков
МПК: B01D 15/04
Метки: кислоты, растворов, серной, электролитовот
...и нальными гр чаюю повыше ию ведут пирифункцио сточни нформ е при и принятые вни кспертиз 76,10 ание ризвле ным ион забала в, Дистехн.118 ав т нсоФилиал ППП "Патент 3 8332 пространства, Затем обезвоженный ам-фолит насыщают по кислоте, пропуская определенный объем кислого электролита, содержащего серную кислоту и ионы цветных металлов. Подачу5 раствора осуществляют снизу вверх. После сорбции кислоты оставшийся в межзерновом пространстве раствор пропускают через ионит в том же направлении, что и исходный раствор, для предотвращения десорбции серной кислоты верхним обескислоченным раствором, Для этого колонку переворачивают вокруг горизонтальной оси на 180 . После протекания раствора производят удаление раствора из межзернового...
Экстрагент для извлечения салициловой кислоты из водных растворов
Номер патента: 1518798
Опубликовано: 30.10.1989
МПК: G01N 33/18
Метки: водных, извлечения, кислоты, растворов, салициловой, экстрагент
...значениях рН наблюдаетсяпрактически полное (957-ное) извлечение салициловой кислоты из водныхрастворов (табл.2), 11 ри рН 1 6 сни 9жается степень извлечения кислоты приэкстракции органическим растворителем, состоящим из 60 мол,7 гексилового спирта и 40 мол.7 ди-(2-этилгексил ) фенилфо сфа та При эк ст рак ции 40салициловой кислоты органическимрастворителем, состоящим из 50 мол.7гексилового спирта и 50 мол.7. ди-(2 этилгексил )-фенилфосфата, а такжерастворителем, состоящим из 40 мол,7гексилового спирта и 60 мол,7 ди-(2 этилгексил)-фенилфосфата максимальное извлечение наблюдается при рНменьше 1,8 и 1,7 соответственно, Таким образом для извлечения салициловой кислоты оптимальным является рНменьше 1,5,Влияние концентрации...
Предыдущий патент: Радиатор
Следующий патент: Устройство для заливки электролита в щелочной аккумулятор
Случайный патент: Гидропреобразователь переменного гидравлического потока