Способ изготовления вентилей пленочныхкриотронов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 297129
Авторы: Аршинов, Дмитриева, Кандыба, Комаровских, Лаврищев, Лапир, Мазитов, Олейникова
Текст
297129 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Сооз Советских Седиалиотннес;шх Рвснниик,оПК Н 031 с 17/84 висимое от авт. свидетельства1368125/26-9) явлено 16.Х,1 с присоединением заявки Ю Приоритет Комитет по делам изооретений и открытий при Совете Министров СССРУДК 621,318.57(088.8 юллетень9 публиковат Дата опубликования описания 6,%.1971 Авторыизобретения В,Аршинов, С, К, Дмитриева, П. Е. Кандыба, Н, И, Комаровск. П. Лаврищев, Г. М. Лапир, Р. К. Мазитов и В. А. Олейникова аявит ОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЕНТИЛЕЙ ПЛЕНОЧНЫХ КРИОТРОНОВИзобретение относится к микроэлектронике.Известен способ изготовления вентиля пленочного криотрона путем последовательного нанесения тонкой пленки золота и сверхпроводящего металла индия.Известны также способы изготовления вентиля пленочного криотрона, когда вентиль образуется нанесением одного слоя сверхпроводящего металла (например, олова или индия).и.ЪйЦель изобретения - улучшение технологии изготовления криотронных интегральных схем, увеличение быстродействия и повышение напряжения выходного сигнала криотронов.Для этого по предлагаемому способу в качестве металла используют пленку свинца с последующим отжигом при температуре 100 - 120 С.На подложку из ситалла наносится свинцовый экранирующий слой затем слой изоляции из задубленного фоторезиста, Поверх указанных слоев вакуумным испарением через массу наносятся пленки золота толщиной 0,4 мкм, на которые наносятся также вакуумным испарением пленки свинца толщиной 0,4 мкм. Время отжига при температуре 100 - 120 С составляет 1 - 2 час. Полученный вентиль изолируется снова пленкой фоторезиста и поверх нее методом испарения и последующей фотолитографии образуются свинцовые управляющие пленки криотронов. В результате отжига получается интер металлическое соединение свинца с золотом, из которого и состоят вентили криотронов.5 Ъказанное соединение обладает хорошимисверхпроводящими свойствами и имеет повышенное по сравнению с чистыми металлами остаточное сопротивление. Благодаря образованию химического соединения свойства 10 сплавной пленки вентиля оказываются достаточно стабильными при небольших отклонениях в исходной толщине пленок золота и свинца в отличие от обычных сплавов.Предлагаемый способ позволяет получить 15 хороший сверхпроводящий контакт междуразными металлами: наносят золото в те места схемы, где должны получиться вентили, затем наносят свинец и проводят отжиг; при этом из одной пленки свинца получают либо 20 вентили в тех местах, где свинец лег на золото, либо соединительные линии и управляющие пленки в остальных местах.Предлагаемый способ хорошо согласуется снаиболее перспективной чисто фотолитографи ческой технологией криотронных схем. Используя фотолитографию можно наносить сплошную пленку золота, травить его по нужному рисунку, затем наносить сплошную пленку свинца и снова травить для получения не обходимдй топологии.297129 Предмет изобретения Составитель А, МерманТехред Л, В. Куклина Корректор Т. А. Абрамова Редактор Т. Иванова Заказ 798/14 Изд.376 Тираж 473 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, и р. Сапунова, 2 Способ изготовления вентилей пленочных криотронов, основанный на последовательном нанесении пленок золота и сверхпроводящего металла, отлииаощийся тем, что, с целью улучшения технологии изготовления криотронных интегральных схем, увеличения быстродействия и повышения напряжения выходного сигнала криотронов, в качестве упомянутого металла используют пленку свинца с пос ледующим отжигом при температуре 100 -120 С.
СмотретьЗаявка
1368125
В. И. Аршинов, С. К. Дмитриева, П. Е. Кандыба, Н. И. Комаровских, В. П. Лаврищев, Г. М. Лапир, Р. К. Мазитов, В. А. Олейникова
МПК / Метки
МПК: H03K 17/84
Метки: вентилей, пленочныхкриотронов
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-297129-sposob-izgotovleniya-ventilejj-plenochnykhkriotronov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления вентилей пленочныхкриотронов</a>
Штамм бактерий сiтrовастеr freundii, образующий антикоррозионную пленку на поверхности металлов
Номер патента: 1576560
Опубликовано: 07.07.1990
Авторы: Абдрашитова, Айткельдиева, Илялетдинов, Каиргельдина, Каламкарова, Романова
МПК: C12N 1/20, C12Q 1/02, C23F 13/00
Метки: freundii, антикоррозионную, бактерий, металлов, образующий, пленку, поверхности, сiтrовастеr, штамм
...без бактерий уменьшается на2,7 Е, тогда как убыпь массы пластины, покрытой антикоррозионной плен"кой, составляет 0,27., что в 13,5 разменьше, чем в контроле.П р и м е р 2, Для получения фосфатного антикоррозионного покрытиямикроорганизмы иммобилизуют на кусках пенопласта, которые затем помещают в перколяторы с рабочим объемом300 мл со средой Штурм, состав которой описан в примере 1, и создают условия непрерывного протока, Скоростьпротока составляет 100 мл/сут,В перколяторы помещают металлические пластины из стали марки Ст, 3,Через 2 дня пластины покрываются ровным мелкокристаллическим темно-серымантикоррозионным фосфатным покрытием.Иммобилизация клеток микроорганизмовпозволяет в 2 раза сократить времяполучения защитной пленки,...
Способ определения доли графитовой фазы в адсорбированной на металле углеродной пленке
Номер патента: 1569686
Опубликовано: 07.06.1990
Авторы: Галль, Михайлов, Рутьков, Тонтегоде
МПК: G01N 23/227
Метки: адсорбированной, графитовой, доли, металле, пленке, углеродной, фазы
...составляет стандартную величину - 0 = 3,80 101 атомов /с см.Монослой графита должен быть нанесен на металлическую подложку, так как именно в этом случае имеет место перетекание заряда от атомов Сз к граФиту и характерные изменения структуры оже-пика углерода, которые и позволяют использовать его как эталонный образец в оже-спектроскопии, применение которого дает возможность повысить чувствительность за счет определения доли графитовой Фазы в монослойных и субмонослойных пленках.Облучение рабочих поверхностен образца и эталона атомами Сз применяются потому, что при их адсорбции имеет место перетекание заряда от адсорбата в граФитовую пленку и, как следствие, появление тонкой структуры на оже-спектре углерода (пик с энергией Е = 285...
Способ фотогравировки пленок свинца
Номер патента: 261498
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Васина, Колмакова, Раснецова
Метки: пленок, свинца, фотогравировки
...свинцовых пленок на стекле применяется муравьиная кислота 65 - 85% концентрации с окислением поверхности свинцовой пленки кислородом воздуха при обдуве ее, причем обрабатываемая поверхность подвергается периодическому воздействию воздуха и травителя, располагается параллельно и вблизи зеркала раствора, что увеличивает плотность компоновки и улучшает качество схемы.На электрическую подложку, покрытую пленкой свинца, наносят фоторезист с образованием копировального слоя. После сушки, экспонирования копировального слоя, проявления и термического закрепления защитного слоя свинцовую пленку на подложке помещают в ванну с травителем так, чтобы раствор покрывал поверхность свинцовой пленки на 3 - 4 мм. В качестве травителя используется раствор...
Способ очистки пленки жидкого металла
Номер патента: 465663
Опубликовано: 30.03.1975
Авторы: Бачюлис, Ванагайтите, Гирдзияускас, Зарецкас, Петрошявичюте
МПК: H01H 11/02
Метки: жидкого, металла, пленки
...У поверхности раздела жидкости и газовой средыобразуется загрязнение. Деталь 6 контактрона опускают в трубку через конец 4. Если деталь немагнитная, над ней в трубке располагают толкатель 7 из магнитного материала, Затем закрывают крышку 5 и фиксируют положение в трубке детали б (или толкателя 7) посредством магнитного потока, кото. рый создают, например, при помощи магнита 8,После этого вытаскивают трубку из жидкости и в расширенном конце 3 получают разрыв жидкости, Благодаря этому в трубке формируется чистая свободная поверхность 9. Положение детали (и толкателя) фиксировано полем магнита 8, поэтому очищенную деталь извлекают из трубки через конец 3 (чистую поверхность раздела жидкости и газа), если поднимают его достаточно...
Способ определения прочности окисной пленки жидких металлов
Номер патента: 685959
Опубликовано: 15.09.1979
Автор: Завьялов
МПК: G01N 13/02
Метки: жидких, металлов, окисной, пленки, прочности
...образовавшейся при нагревании окисной пленке, планает не погружаясь (не прорывая окисную пленку исследуемого металла на поверхности испытынаемого металла). Последовательным подбором груза определяют прочность окисной пленки критический вес груза, при котором происходит разрыв окисной пленки исследуемого металла и погружение груза.Способ осущестнляется следующим образом.Тигель с исследуемым металлом и помещенным на него грузом в виде сферического сегмента помещают в печь, в которой расплавляют исследуемый металл и груз до жидкого состояния и доводят их до необходимой температуры. Окисная пленка на металле и грузе образуется н процессе нагревания.Исследуемый металл и груз эатверденают и легка отделяются олин от6 85959 Составитель С....
Предыдущий патент: Многоканальный диодный коммутатор
Следующий патент: Дешифратор на кгиотронах
Случайный патент: Металлокерамический окисно-никелевый электрод щелочного аккумулятора