Патенты с меткой «фотогравировки»

Способ фотогравировки пленок свинца

Загрузка...

Номер патента: 261498

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Васина, Колмакова, Раснецова

МПК: C23F 1/02, H05K 3/00

Метки: пленок, свинца, фотогравировки

...свинцовых пленок на стекле применяется муравьиная кислота 65 - 85% концентрации с окислением поверхности свинцовой пленки кислородом воздуха при обдуве ее, причем обрабатываемая поверхность подвергается периодическому воздействию воздуха и травителя, располагается параллельно и вблизи зеркала раствора, что увеличивает плотность компоновки и улучшает качество схемы.На электрическую подложку, покрытую пленкой свинца, наносят фоторезист с образованием копировального слоя. После сушки, экспонирования копировального слоя, проявления и термического закрепления защитного слоя свинцовую пленку на подложке помещают в ванну с травителем так, чтобы раствор покрывал поверхность свинцовой пленки на 3 - 4 мм. В качестве травителя используется раствор...