Патенты с меткой «пленочныхкриотронов»
Способ изготовления вентилей пленочныхкриотронов
Номер патента: 297129
Опубликовано: 01.01.1971
Авторы: Аршинов, Дмитриева, Кандыба, Комаровских, Лаврищев, Лапир, Мазитов, Олейникова
МПК: H03K 17/84
Метки: вентилей, пленочныхкриотронов
...вакуумным испарением пленки свинца толщиной 0,4 мкм. Время отжига при температуре 100 - 120 С составляет 1 - 2 час. Полученный вентиль изолируется снова пленкой фоторезиста и поверх нее методом испарения и последующей фотолитографии образуются свинцовые управляющие пленки криотронов. В результате отжига получается интер металлическое соединение свинца с золотом, из которого и состоят вентили криотронов.5 Ъказанное соединение обладает хорошимисверхпроводящими свойствами и имеет повышенное по сравнению с чистыми металлами остаточное сопротивление. Благодаря образованию химического соединения свойства 10 сплавной пленки вентиля оказываются достаточно стабильными при небольших отклонениях в исходной толщине пленок золота и свинца в...