Способ изготовления отделочной плитки

Номер патента: 1595270

Опубликовано: 30.11.1991

Автор: Генцелев

МПК: H01L 21/02

Метки: маске, подложки, рисунка, рисунком, совмещения

...столы 12 и 13 и двигателя 15. управляемые от блока 3 питания и управления, систему приводов и механическую оснастку (на фиг. 1 - 3 не показаны). Еод рентгеновских лучей от точечного источника 16 в случае, когда рентгенонепрозрачная заслонка 17, приводимая в движение двигателем 18, убрана с их пути, показан пунктирными линиями. Блок 3 питания и управления содержитаналого-цифровые преобразователи АЦП) сигналов от схем 8 и 11, ЭВМ "Электрон,.ку", ключи управления шаговьми двигателями 14, 15, 18 и стабилизированные источники питания,Устройство для совмещения рисунка на маске с рисунком подложки работает следующим образом.Маску 1 и подложку 2 устанавливают соответственно на столы 12 и 13 с определенным предварительным микрозазором...

Номер патента: 1611158

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Генцелев, Самойлиди

МПК: G03F 7/20, H01L 21/312

Метки: маске, подложки, проводящего, рисунка, рисунком, совмещения

...поверхности другого совмещаемого обьекта ортогонально оси прецессии первого угол между плоскостями, а следовательно, и емкость конденсатора, будут постоянными по времени, цто позволяет использовать для измеоений мостиковую схему.Схема 9 узла контроля непараллельности рабочих поверхностей маски 1 и подложки 2 и микрозазора между ними постоянно следит за меняющейся емкостью конденсатора и совместно с блоком 3 обработки и управления вырабатывает и подает управляющие сигналы на двигатели б, добиваясь при этом такого положения подложки 2, когда величина электрической емкости конденсатора равна определенной наперед заданной велицине (эталонной емкости) и величина ее изменений отклонений от эталонной величины) за период прецессии ми...

Номер патента: 1618158

Опубликовано: 30.11.1991

Автор: Генцелев

МПК: G03F 7/20, H01L 21/31

Метки: маске, подложки, рисунка, рисунком, совмещения

...критическому углу, соответствующему явлению полного внутреннего отражения электромагнитного излученияот границы рабочая поверхность маски -вакуум зазора.Для получения максимальной интенсивности излучения на выходе каждого светопровода угол 3 между ограничивающимиплоскостями призм 8 определен из законаСнелла/3 = дГС 1 П (П 1/П 2 З 1 ПГХ)где п 1 и п 2 - соответственно показателипреломления материала маски 1 и подложки2.Нормальчое по отношению к входнымграням призм 7 направление хода электромагнитного излучения от источника 5 задают оптическим блоком 9, расположенным напути хода лучей от источника 5 к призмам 7.Устройство для совмещения рисунка намаске с рисунком подложки работает следующим образом,Излучение от источника 5 падает...

Номер патента: 317335

Опубликовано: 05.04.1980

Авторы: Георгиевская, Мельникова, Пелезнева

МПК: H01L 21/32

Метки: нанесенным, пластину, полупроводника, рисунка, рисунком, совмещения, фотошаблона

...и фиксируют рисунки наэкране преобразователя инфракрасного излучения в видимое,5Совмещение осуществляют следующим обраПластину с рисунком, нанесенным на однусторону, и фоторезистом, нанесенным на дру.10гую сторону, располагают на столике стандартФной кассеты для совмещения рисунком книзуи освещают снизу лампой с вольфрамовойнитью накала, Сверху накладывают фотошаблон.Столик с пластиной подводят к шаблону, но15между пластиной и шаблоном оставляют зазор,позволяющий перемещать шаблон вдоль плас.тины, Изображения рисунков фокусируют наэкране преобразователя с помощью микроскопа МБС - 2. Шаблон перемещают вдоль пластины до тех пор, пока изображения рисунковпластины и фотошаблона на экране преобразователя не совместятся. Затем пластину...

Номер патента: 190210

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Мальто, Сосидко, Точицкий, Фидориненко

МПК: H05K 3/12

Метки: контактной, подложки, рисунка, рисунком, совмещения, фос1щлрна, фотопечстй

...при его небольших вертикальных перемещениях смещение гнезда 10 в горизонтальной плоскости на величины нич 190210тожно малые, практически исключающие горизонтальные смещения.В шаровом сегменте 11 имеется полость 14, отделенная от полости 15 в гнезде 10 мембранным клапаном 1 б.На основании 17 по оси гнезда 10 в отверстии концентрично расположены плунжеры 18 и 19, длину последнего можно изменять с помощью микрометрической гайки 20.Плунжер 19 может быть зафиксирован в любом положении относительно основания 12 при помощи фиксатора 20, который включается при подаче давления воздуха в диафрагменную камеру с вялой мембраной 21.При помощи диафрагменной камеры 22 с вялой мембраной, через плунжер 18, гнездо 10 с шаровым сегментом 11 подложка 23...