Полупроводниковый тензорезистор
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
1114878 Составитель Н. ТимошенкоТехред И, Верее Корректор М. ДемчнкТираж 586 Поди нс но еВИИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий3035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 45Филиал ППП сПатент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Редактор Л. Мотыль.Заказ 6574/26 Изобретение относится к измерительной технике, а именно к полупроводниковцл 4 тензорезисторам, и может быть использовано прн создании полупроводниковых датчиков механических параметров.Известен полупроводниковый теизорезистор, содержащий основную и дополнительную резистивнце полоски из полупроводникового материала с концентрацией основных носителей, отличной от предельной концентрации для данного материала, несколько металлических токовыводов, закрепленных на различных участках полосок, и металлические перемычки, соединяющие токо- выводы между собой 1).Однако такой полупроводниковый тензореэистор характеризуется ограниченной температурной и временной стабильностью, сопротивления, так как сопротивление пе. рехода полупроводник - металл определяется неоднородностью получаемого при этом потенциального полл, а последнее сущест. асино меняется от температуры и от длительности временного интервала эксплуатации тензорезнстораНаиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является полупроводниковый тензорезистор, содержащий реэистивную полоску из полупроводникового материала с концентрацией основных носителей, отличной от пределыюй концентрации для данного материала, и металлические токовцводы, закрепленные на концах полоски 12,Известный тенэорезистор небтабилен во времени и от действия температуры, так как он имеет две области неоднородного потенциального поля на концах полоски,Цель изобретения - повышение точности измерения.Указанная цель достигается тем, что в олупроводциковом тензорезисторе, содернашем резистивную полоску нз полупроводникового материала с концентрацией основных носителей, отличной от предель.ной концентрации для данного материала,и металлические токовыводы, закрепленныена концах полоски, резистивная полоскавыполнена с областями предельной концентрации носителей в зонах размещения токовыводов по всей толщине.Полупроводниковый тензорезистор содержит резистивную полоску из. полупроводникового материала с концентрацией основных носителей, равной предельной для данного материала, на концах полоски и отличной от предельной в средней части по-лоски, а также металлические токовыводы,закрепленные на концах полоски в облас 15 тях предельной концентрации носителей.Области предельной концентрации носителей расп ростра няются на всю тол шинуполоски и занимают всю площадь под токовыводами.Полупроводниковый тенэорезистор ра20ботает следующим образом.При включении тензорезистора в измерительную схему и подаче на него напряжения питания изменение сопротивлениятензорезистора определяется его деформа 2 цией. В то же время наличие областей предельной концентрации носителей в зоне кон-такта с металлическими токовыводами обус.:лавлннаст низкую температурную чувствительность этого участка резистора и высокуювременную стабильность его сопротивления.Переход же от области предельной концентрации носителей к области более низкой концентрации внутри самой полоски не вызыва.ет такого существенного разброса сопро.тивления во времени, как переход от полупроводника к металлу.Таким образом, предлагаемый полупроводниковый тецзорезистор с переменнойконцентрацией носителей по длине полоскиобеспечивает более высокую точность из- .мерения путем повышения стабильности его40 сопротивления во времени и от действиятемпературы,
СмотретьЗаявка
3606391, 06.04.1983
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1891
УЛЬЯНОВ ВЛАДИСЛАВ ВИКТОРОВИЧ, ЗЕЛЕНЦОВ ЮРИЙ АРКАДЬЕВИЧ, КОЗИН СЕРГЕЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, АФАНАСЬЕВ КОНСТАНТИН ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 7/16
Метки: полупроводниковый, тензорезистор
Опубликовано: 23.09.1984
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1114878-poluprovodnikovyjj-tenzorezistor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Полупроводниковый тензорезистор</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения толщины металлических покрытий
Следующий патент: Интерференционное устройство для измерения перемещений
Случайный патент: Устройство для выбора варианта загрузки судна