Состав для силицирования

Номер патента: 1655731

Опубликовано: 15.06.1991

Авторы: Гаевский, Зеленко, Кизильштейн, Симаев, Шпицглуз

МПК: B23K 35/36

Метки: брызг, защиты, металла, налипания, поверхности, расплавленного, состав

...является улучшение технологичности состава за счет обеспечения возможности его нанесения как на горизонтальные поверхности, так и на вер-.тикальные и потолочные. Алюмосиликатные полые микросферы в золе-уносе (АСПМ) имеют следующий химический состав, мас, о(,: КагО ТОгРазмеры ч тура плавлен кг/м .Состав облад гическими свойс пользовать его расположенных и простым способо после проведениПредлагаемы рением крахмал 29,1 - 32,9 51,5 - 56,33,8-8,2 0,6-1,6 0,8-1,0 0,4-6,4 1.0 - 4,7 0,9 - 1,0 . Темпера- ность 400Наносится кистью или пневмораспылением на вертикальные, горизонтальные и потолочные поверхностиставит хред У актор М.Циткина аказ 2019 Тираж 520 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ...

Номер патента: 534835

Опубликовано: 05.11.1976

Авторы: Кулагин, Румак, Сергеев, Черных

МПК: H01L 21/465

Метки: выявления, кремния, кристаллической, нарушения, поверхности, полированной, структуры, травитель

...используют главным образомдля оценки дислокационной структуры монокристаллического кремния по фигурам травления и для химической полировки кремниевыхпластин с ориентацией 3 1 25 Недостатком травителя являются высокиескорости травления, что приводит к одновременному травлению всей поверхности кремниевых пластин и не позволяет выявлять дефекты предшествовавшей сгадийной механической обработки, а также нарушений кристаллической структуры поверхности кремниевойпластины, ориентированной параллельно плоскости (3.00 при внедрении акцепторных идонорных примесей в кремний,Целью изобретения является повышениеизбирательности к нарушениям кристаллической структуры поверхности кремниевой пластины, ориентированной параллельно...

Номер патента: 1639341

Опубликовано: 15.06.1994

Авторы: Енишерлова-Вельяшева, Русак

МПК: H01L 21/66

Метки: выявления, дефектов, кремния, поверхности

СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, включающий очистку поверхности кремния с ориентацией (100) и травление в составе, содержащем хромовый ангидрид, плавиковую кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью расширения выявляемых типов микродефектов в тонких приповерхностных слоях, травление проводят в составе, дополнительно содержащем азотную кислоту, при следующем количественном соотношении компонентов, мас.%:Хромовый ангидрид 15 - 32Плавиковая кислота (45%-ная) 4 - 25Азотная кислота (72%-ная) 8 - 50Вода 10 - 36время травления составляет 5 - 15 мин, при этом количество хромового ангидрида в зависимости от толщины обрабатываемого слоя составляет, мкм:Более 10 15 - 4010 - 2 40 - 50

Номер патента: 1701064

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Базыленко, Василевич, Родин, Турцевич

МПК: H01L 21/302

Метки: кремния, микрорисунка, поверхности, создания

Способ создания микрорисунка на поверхности кремния, включающий формирование фоторезистивной маски на поверхности кремния, обработку поверхности кремния и фоторезиста в кислородсодержащей плазме ВЧ-разряда при давлении 2,0-13,3 Па и локальное травление кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости создания микрорисунка в кремнии, кислородсодержащая плазма, в которой проводят обработку поверхности кремния и фоторезиста, дополнительно содержит 40-50 об.% гексафторида серы, плотность мощности разряда на обрабатываемой поверхности создают в диапазоне 0,7-0,9 Вт/см 2 и обработку проводят до удаления слоя кремния толщиной 0,04-0,12 мкм.

Номер патента: 1814068

Опубликовано: 07.05.1993

Авторы: Журавлева, Илькова, Селезнев, Томиямо

МПК: G01N 33/38

Метки: высолов, мелкоштучных, образования, образцов, поверхности, степени, строительных

...ПЦ 400 с содержанием щелочных оксидов 1,167 ь по Ма 20, Боковский щебень фракции 5-10 мм и солдатский песок с Мк=1,9,: Каждый образец погружают в отдельную емкость с водой на глубину Ь 1 и выдерживают в течение времени й при температуре т 1. Затем уровень воды в емкостях уменьшают до Ь 2 и образцы в емкостях с водой переносят в помещение с пониженной температурой с 2, где их выдерживают в течение времени т 2, После указанного срока образцы вынимают из емкости с водой и высушивают на воздухе при температуре в течение времени тз, Появившиеся на поверхности высолы смывают 50 мл дистиллированной воды, в которой определяют содержание оксидов натрия, калия и кальция в г/л, по которому оценивают степень образования высолов.Количество...