ZIP архив

Текст

;)1 ВИСИ)ОЕ )Т 1;, С 21 100 11 5)1, ( 1.1972 ( 1820056/26) 1 5 в, Сп О 15. 7 с ирисоедппсипем 3251 Вки Л"1) иорпет0 И УОЛ и НОВ 1 и О осурарствонныи коцит Сооота Ииннстроо ССС по делам изобретений н открытий, 1, 621.) 94.ч 22. (;Н 21, .3.049.75; 774 (088.8) 11,1974, БОллетеиь М 1,197 ч зтз Опуолпковзии 51 Оппсзпп) 1 ВТО)ЬПЗС 1) РЕС П 15 А. Ъ 1 ксимчук, 11, К. Рець и 3. 11.,)11 псеви 51 ВИТЕ;1 1)ЛС 11501 Д.)15 1 ГАЛЛ ЕН 11) 11) с С ИЗООРСГСИИ 5 тантала иа жащий азот- ичающийения разруи повышеполнительно ЗО ГНОКИСЛЫй енном соотес. ч,):8 - 35 10 - 40 11 зобреение относится к технологи .производстг)а элемсчпов радиоаппаратуры, 1 аство 1) может быль использован ири изготовлении гиоридно-пленочных 51 кросхем.Известен раствор для зравления пленок тантала иа диэлскрическои подложке, содср)каши 1 Ззонуо и фгорисуО кислоты.(.)днако и,)вес 1 иыи рзс ВОр рз )р) шзсДи э,1 ск)ри Оску)0 погьпкку, опа сзиовися ИСИРИГОДИОИ ДЛЯ ДЗГЬИЕИШСГО ИСПО,1 ЬЗОНЗПИЯ.Це;1 ь 1 зооре) сии)1 - сохранен)с диэлсктрическои подложки и повышение стаоильиосираствора.11 редлзгземы 5 растВор отличается ем, ЧТО В него дополни)ельно Введены уксуснз 51 кисло 13 и 230 нокислый из 1 ий при следуОщем соотношении исходных компонентов (вес. ч.):Азотная кислота, уд, вес 1,41 8 - 35 фтористоводородиая кислота 1 - 5 Уксусная кислота ледяная 10 - 40 Лзотнокислыи натрий 1 - 5.Уксусная кислота предохраняет диэлектрическуо подложку от разрушения, поскольку, вероятно, в,процессе травления на поверхнОсти подложки возникают очень плотные и оикпо ие 1)1 сминые В граниеле пленки из СОЛЕ) ) С) СПО1,СЛО Ы 5 ЗО 5 ОКИС,Ы Иа 1- рий, являяс Оуфериой добавкой, повышаег усоичивость расвора и ускоряет процесс 5 рзвлеппя и.О)10 к зп 12,12.( 001 иошсипс кисло 1 НОДООр 1 НОзк, чтОбъ,сохранив высокие скоросп травления, предо.храпиь 50 д,0)кку 01 рззрушепи)1. Окончание ироцсссз 1 рзвлспия фиксирусгс 5 Визуально, о Раствор для равлсния пленокдиэлектрической подложке, содериую и 1 р)рис)у)ся См, чо, с целью иредотвращшеиия диэ;Сктрическои подложкииия сабильноси раствора, он досодержп уксусиуо кислоту и анатрий при следующем количествношении исходных компонентов (лзоН 25 кислотаФТОр 5 С.ОВОДОрОдпая КИСЛОтаУксусная кисло а2) Азот)Окислы) натрий

Смотреть

Заявка

1820056, 15.08.1972

МПК / Метки

МПК: C09K 13/00, H05K 3/06

Метки: 414330

Опубликовано: 05.02.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-414330-414330.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">414330</a>

Похожие патенты