Патенты с меткой «414330»

Номер патента: 414330

Опубликовано: 05.02.1974

МПК: C09K 13/00, H05K 3/06

Метки: 414330

...для зравления пленок тантала иа диэлскрическои подложке, содср)каши 1 Ззонуо и фгорисуО кислоты.(.)днако и,)вес 1 иыи рзс ВОр рз )р) шзсДи э,1 ск)ри Оску)0 погьпкку, опа сзиовися ИСИРИГОДИОИ ДЛЯ ДЗГЬИЕИШСГО ИСПО,1 ЬЗОНЗПИЯ.Це;1 ь 1 зооре) сии)1 - сохранен)с диэлсктрическои подложки и повышение стаоильиосираствора.11 редлзгземы 5 растВор отличается ем, ЧТО В него дополни)ельно Введены уксуснз 51 кисло 13 и 230 нокислый из 1 ий при следуОщем соотношении исходных компонентов (вес. ч.):Азотная кислота, уд, вес 1,41 8 - 35 фтористоводородиая кислота 1 - 5 Уксусная кислота ледяная 10 - 40 Лзотнокислыи натрий 1 - 5.Уксусная кислота предохраняет диэлектрическуо подложку от разрушения, поскольку, вероятно, в,процессе травления на поверхнОсти...