Номер патента: 218214

Автор: Корнилов

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 218214 Со 1 оз Советских Социалистических Республикриоритетпубликовано 10.Ч.1969. Бюллетень23 ата опубликования описания 11.Х 11.1969 Комитет по делам зобретений и открытий при Совете Министров СССР. В, Корнил явител ОТОМИШЕНЬ ВИДИКОНА возможна лиш ЦИЯ ДОНОРОВ Ц 1 рапии бора. Для изготовления фотомишени испол 5 кремний р-типа, легированный бором с иым сопротивлением порядка 1000 о Цинк вводят в кристаллы кремния ме диффузионного отжига. Использование монокристаллического 10 ния, легированного цинком и бором, для мишеней видиконов, работающих в инфр ной области спектра, позволяет раси спектральную характеристику видикон высить чувствительность в области с 15 2,2 - 4 мк и стабильность фотомишенец ростить технологшо изготовления видиконтра- центьзлот удельм слт. тодом рем- отоасшрить ов, попектра и упнов. Предмет из етен и в пиная из ся тем, увствиальной инком, в слт - з е 0,1% работающего ра, выполнен от тича 1 ощая пороговой ч едела спектр легирован ц е меньше 101 орого не вышмпенсация Изобретение относится к области инфракрасной техники и может найти применение в промышленном телевцдении и других областяхИзвестные фотомишени из различных мате- науки и техники,риалов и их комбинаций имеют ограниченный спектральный интервал в инфракрасной области спектра.Для увеличения пороговой чувствительности фотомишеней и расширения предела спектральной чувствительности предложено изготавливать фотомишени из монокристаллического кремния, легированного цинком, концентрация которого не меньше 101 в см-з, и бором, концентрация которого не выше 0,1% концентрации цинка.Такое соотношение между концентрацией цинка и бора, которые оба являются акцепторами, обусловлено тем, что цинк вводит дополнительно доноры в концентрации ) 101 з см-з, Эти доноры компенсируют бор,Получаемые фотомишени имеют удельное СОПрОтИВЛЕНИЕ ПОрядКа 101 з ОЛт СЛ 1 Прн ТЕМПЕ- ратуре жидкого азота, область спектральноц чувствительности 0,6 - 4 мк, чувствительностьлтквпъ при температуре черного тела 130 С 1 л(лаз вня бора донорами цинкаь в том случае, если кони тнка несколько больше ко Фотомишень видикона, фракрасной области спект легированного кремния, что, с целью увеличения тельности и расширения пр чувствительности, кремнии концентрация которого н и бором, концентрация кот концентрации цинка.

Смотреть

Заявка

1014217

Б. В. Корнилов

МПК / Метки

МПК: H01L 21/18

Метки: видикона, фотомишень

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-218214-fotomishen-vidikona.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Фотомишень видикона</a>

Похожие патенты