Способ планаризации кремниевых структур

Номер патента: 1691909

Опубликовано: 15.11.1991

Автор: Медведев

МПК: H01L 21/60, H01L 23/48

Метки: алюминиевой, золотой, кремниевую, нанесенной, пленке, подложку, присоединения, проволоки, тонкой

...до 320 С термопластичный компаунд сульфарил окунают конец золотой проволоки диаметром 30 мкм при вязкости сульфарила 200 10 Па с,-2 Размещают конец золотой проволоки на алюминиевой пленке и, прикладывают перпендикулярно к ее оси и поверхности пленки давление 70-100 Н/мм . Использование2данного способа позволяет повысить выходгодных до 99% щадь контактирования. В момент резкого поднятия инструмента вязкий компаунд тормозит движение проволоки вслед за инструментом, что облегчает отделение проволоки от инструмента и предотвращает возможность отрыва проволоки с частью металлического слоя от кристалла, Таким образом достигается увеличение механической прочности соединения,Экспериментально установлено, что вязкость термопластичного...

Номер патента: 1780467

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Зайцев, Кабаков, Карпиевич, Козлов, Красницкий, Турцевич

МПК: H01L 21/76

Метки: борофосфоросиликатного, изоляции, интегральных, межуровневой, стекла, схем, формирования

Способ формирования межуровневой изоляции интегральных микросхем из борофосфоросиликатного стекла, включающий загрузку кремниевых подложек со структурами интегральных схем в реактор, нагретый до 600-700°С, вакуумирование реактора, раздельную подачу в реактор паров тетраэтоксисилана с азотом или кислородом посредством испарителя-барботера при 30-60°С, фосфина с парами триметилбората в инертном газе и кислорода, наращивание пленки борофосфоросиликатного стекла требуемой толщины с содержанием фосфора 2-5 мас.% и бора 3-6 мас.% при давлении 15-100 Па и соотношении ингредиентов фосфин-кислород более или равном 0,2 при температуре нагрева реактора, оплавление борофосфоросиликатного...

Номер патента: 1470566

Опубликовано: 07.04.1989

Авторы: Ануфриев, Симоненко

МПК: B29C 47/88, B29C 71/02

Метки: пленок, плоских, термообработки

...В за пределы сопла 5 и каналов 14 и 15,Снаружи камеры установлена система подвижных заслонок 10, имеющая возможность индивидуального и синхронного перемещений для профилирования воздушного потока воздуха.Система воздушных заслонок 10 смонтирована на отдельном кронштейне, показанном на фиг. 2 штриховой линией, обеспечивающем синхронное их перемещение относительно щелевидного выходного канала С коллектора 8. Индивидуальное перемещение каждой заслонки 10 осуществляется при помощи пазов 11, выполненных в заслонках 10, Необходимое положение заслонки 1 О фиксируется зажимной гайкой 12. Устройство термообработки плоских пленок работает следующим образом.Подготовленный в червячном прессе (не показан) расплав термопласта через экструзионную...

Номер патента: 172458

Опубликовано: 01.01.1965

МПК: C03C 17/00

Метки: нанесения, пленок, стекло, токопроводящих

...1 показана схема описываемогоустройства; на фиг. 2 - то же, вцд сбоку. 3 устройство состоит из одного цли нескольких штативов 1, 2 и 3, несущих распылители 4, планки 5, прсдцазцаченцые для соединения штативов, консолей 6 с кольцами 7, в которые вводится штатив 1 и устанавливается в определенном положении с помощью фиксирх 1 оц 1 цх:уц)т (Х, вцтов 9, подде 13)киваОщих штатив ца Определенном уровне, кривошиццошатуццого механизма, вклочаощсго два кривошипа 10 и 11, посаженных ца пальцы ц.танги 12, и электродвигателя 13 с редуктором.Штативы с укрепленными ца них распылипрцводятся в движение От э:1 ектродвигателя через кривошипно-шатуцный механизм, при этом распылители совершают колебания отцосителы 1 О Обц 1 еи Тля них неподвижной осц,...

Номер патента: 918784

Опубликовано: 07.04.1982

Автор: Снегирев

МПК: G01B 11/06

Метки: листового, регистрации, слоистой, стекла, структуры

...измерений. . включают источник 1 света и регистриПоставленная цель достигается теи, руют иэображение структуры 3 на экра что при регистрации слоистой струк- ве .Формула изобретения оСоставитель О,Строганоц дактор О.Юрковецкая Техред А. Бабинец Корректшко Заказ 2119/2ВНИИП 11303 614 Подпис о комитета СССР ений и открытий Раушская наб., д. 4/ Тира венно зобре ЖГосуда по дела , Иоскв Филиал ППП "Патен Ужгород, ул ктн 3 918788 промежутках между вспышками с различными линейныии скоростяии кювету 41 с структурой 3 и экран б одновременно перемещают .в плоскости, перпендикулярной световому лотоку. При очередной вспышке Фиксируют соседний участок ленты стекла и т.д пока не зарегистрируется полная картина слоистости всего образца.Интервалы...