Способ формирования межуровневой изоляции интегральных схем из борофосфоросиликатного стекла

ZIP архив

Описание

Способ формирования межуровневой изоляции интегральных микросхем из борофосфоросиликатного стекла, включающий загрузку кремниевых подложек со структурами интегральных схем в реактор, нагретый до 600-700°С, вакуумирование реактора, раздельную подачу в реактор паров тетраэтоксисилана с азотом или кислородом посредством испарителя-барботера при 30-60°С, фосфина с парами триметилбората в инертном газе и кислорода, наращивание пленки борофосфоросиликатного стекла требуемой толщины с содержанием фосфора 2-5 мас.% и бора 3-6 мас.% при давлении 15-100 Па и соотношении ингредиентов фосфин-кислород более или равном 0,2 при температуре нагрева реактора, оплавление борофосфоросиликатного стекла, отличающийся тем, что, с целью повышения качества межуровневой изоляции путем снижения дефектности и повышения стабильности стекла во времени, после наращивания пленки борофосфоросиликатного стекла требуемой толщины прекращают подачу паров триметилбората в инертном газе и осаждают защитный слой толщиной 0,02-0,1 мкм без изменения температуры реактора и давления, а перед оплавлением удаляют защитный слой селективно к пленке борофосфоросиликатного стекла.

Заявка

4904168/25, 22.01.1991

Научно-производственное объединение "Интеграл"

Турцевич А. С, Красницкий В. Я, Козлов А. Л, Кабаков М. М, Карпиевич Н. И, Зайцев Д. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/76

Метки: борофосфоросиликатного, изоляции, интегральных, межуровневой, стекла, схем, формирования

Опубликовано: 20.01.2008

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1780467-sposob-formirovaniya-mezhurovnevojj-izolyacii-integralnykh-skhem-iz-borofosforosilikatnogo-stekla.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ формирования межуровневой изоляции интегральных схем из борофосфоросиликатного стекла</a>

Похожие патенты