Способ измерения толщины селективно осажденных проводящих слоев с помощью профилометра

Номер патента: 752067

Опубликовано: 30.07.1980

Автор: Аграновский

МПК: F16C 32/06

Метки: гидростатической, незамкнутой, опоре, слоя, смазочного, толщиной

...выполнение золотника вследствие уменьшения расхода масла, дросселируемого золотником, приводит к улучшению демпфирования в опоре.Для того, чтобы исключить возможность засорения дросселирующего канала, образованного винтовой канавкой золотника, двуступенчатому плунжеру, примыкающему к золотнику, сообщается от источника подачи смазки непрерывные высокочастотные осциллирующие осевые колебания. Торцовые поверхности золотника 1 и меньшей ступени 3 плунжера, примыкающие к ббльшей ступени 2 плунжера, имеют сферические поверхности, что уменьшает радиальные составляющие, действующие на все подвижные элементы.Площади торцовых поверхностей золотника и меньшей ступени плунжера могут иметь как равную друг другу площадь, так и отличающуюся в ту...

Номер патента: 435916

Опубликовано: 15.07.1974

Авторы: Аграновский, Особое, Фонд

МПК: B23Q 1/38, F15B 9/08, F16C 29/02

Метки: астатическогоуправления, гидростатической, замкнутой, непрямого, опоре, слояв, смазочного, толщиной

...подвижного узла 1. На ос новной направляющей расположена гидростатическая опора 2, а на дополнительной направляющей (планке) 3 - гидростатическая опора 4.От источника питания (на чертеже не пока зан) масло подается в опору 2 через золотник 5, а в опору 4 - через дроссель 6. Золотник 5 имеет ассиметричную конструкцию: площадь его левого торца больше правого. Обе торцовые камеры 7 и 8 соединены соответст венно с выходом и входом дросселя б. На рабочем пояске золотника 5 выполнена винтовая канавка для управления малым расходом масла.Устройство работает следующим образом.20 Золотник 5 находится в равновесии тольков том случае, если отношение давлений на выходе и на входе дросселя б равно отношению площадей правого и левого торцов...

Номер патента: 1728648

Опубликовано: 23.04.1992

Автор: Стринадко

МПК: G01B 11/06

Метки: слоев, толщины, тонких

...временного сдвига Ь получим 10 21Ь= - п 3 - п з 1 п а, (7)ггде 1 - толщина пленки (слоя);с - скорость света в вакууме.Составим систему для двух углов паде ния а 1 иаг 2 т ц= -(8) где пс - показатель пр щей среды, в которой и ния.Решение системы уравн 25 дит к результатуЬ 11 С еломления окружаюроиэводятся измереия (8) привод,Ь п - Ь па ЗО пг=пТаким образом, зная временные задержки сигнала Ь 1 и Ьтгдлядвухугловоблучения а 1 и аг, а также показатель преломления окружающей среды пс. по формулам (9) находим толщину исследуемой пленки (слоя) и показатель преломления, Временная задержка Ь т определяется из диафрагмы (фиг,З) по экспериментально измеренной величине 4 О Ьм, определяющей частоту биений регистрируемого сигнала. На фиг.За...

Номер патента: 196421

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Пульцин, Рудеико

МПК: G01B 11/06, G01N 1/36

Метки: металлическом, нетравленом, образце, слоя, толщины, упрочненного

...трудоемкости и повышения точности процесса определения глубины упрочнецного слоя, плоскость среза образца полируют в фиксированном направлении, исследуют рельеф поверхности полученного шлифа, например с помощью интерферецционного микроскопа, и измеряют расстояние от края упрочцецного слоя до места изменения рельефа поверхности шлифа.Иа чертеже показан образец, закрепленный в оправке, для осуществления предлагаемого способа.Образец 1, имевши Р пендикулярной или наклонной к упрочненному слою 2, закрепляют в оправке 3 путем заливки, например, легкоплавким сплавом или пластмассой 4. Затем производят полировку плоскости среза в направлении А от сердцевины к краю упрочненцого слоя и исследуют рельеф поверхности полученного шлифа с...

Номер патента: 491882

Опубликовано: 15.11.1975

Автор: Сотников

МПК: G01N 23/22

Метки: втоичных, длин, пробега, свободного, слоя, толщины, электронов, эмитирующего

...выхода вторичных частиц и высотой выступов. Вследствие перераспределения по токов электронов пз внутренних слоев и изобъема выступов по мере увеличения, например, их высоты Ь от малых значений к величинам, превышающим глубину выхода, изменяется форма угловых распределений вторпч ных электронов.На фиг. 2, где показана зависимость от высОты не 1 эОВностеЙ 2 Отношения РИтенсивностей потоков электронов в двух разных направлениях по 011 ношенио к мишени, одноИЗ напраВлениЙ реГистрации Выбрано так, бтобы часть излучающей поверхности былазакрыта 1 кривая Л). Штрих-пункгирнымипэяхьми Б Р В Отмечены асМ 1 тотческизнчения отношений интенсивностей для прсдельых соотношений между высотой /г и глу- Обиной выхода воричных электронов. 110 лоэкс -ие...