Патенты с меткой «кремниевую»

Способ присоединения золотой проволоки к тонкой алюминиевой пленке, нанесенной на кремниевую подложку

Загрузка...

Номер патента: 1691909

Опубликовано: 15.11.1991

Автор: Медведев

МПК: H01L 21/60, H01L 23/48

Метки: алюминиевой, золотой, кремниевую, нанесенной, пленке, подложку, присоединения, проволоки, тонкой

...до 320 С термопластичный компаунд сульфарил окунают конец золотой проволоки диаметром 30 мкм при вязкости сульфарила 200 10 Па с,-2 Размещают конец золотой проволоки на алюминиевой пленке и, прикладывают перпендикулярно к ее оси и поверхности пленки давление 70-100 Н/мм . Использование2данного способа позволяет повысить выходгодных до 99% щадь контактирования. В момент резкого поднятия инструмента вязкий компаунд тормозит движение проволоки вслед за инструментом, что облегчает отделение проволоки от инструмента и предотвращает возможность отрыва проволоки с частью металлического слоя от кристалла, Таким образом достигается увеличение механической прочности соединения,Экспериментально установлено, что вязкость термопластичного...