Патенты с меткой «борофосфоросиликатного»
Способ обработки диэлектрических пленок борофосфоросиликатного стекла
Номер патента: 1549411
Опубликовано: 20.01.2008
Авторы: Воронов, Ковалевский, Красницкий, Турцевич, Цыбульский
МПК: H01L 21/316
Метки: борофосфоросиликатного, диэлектрических, пленок, стекла
Способ формирования межуровневой изоляции интегральных схем из борофосфоросиликатного стекла
Номер патента: 1780467
Опубликовано: 20.01.2008
Авторы: Зайцев, Кабаков, Карпиевич, Козлов, Красницкий, Турцевич
МПК: H01L 21/76
Метки: борофосфоросиликатного, изоляции, интегральных, межуровневой, стекла, схем, формирования
Способ формирования межуровневой изоляции интегральных микросхем из борофосфоросиликатного стекла, включающий загрузку кремниевых подложек со структурами интегральных схем в реактор, нагретый до 600-700°С, вакуумирование реактора, раздельную подачу в реактор паров тетраэтоксисилана с азотом или кислородом посредством испарителя-барботера при 30-60°С, фосфина с парами триметилбората в инертном газе и кислорода, наращивание пленки борофосфоросиликатного стекла требуемой толщины с содержанием фосфора 2-5 мас.% и бора 3-6 мас.% при давлении 15-100 Па и соотношении ингредиентов фосфин-кислород более или равном 0,2 при температуре нагрева реактора, оплавление борофосфоросиликатного...