Способ изготовления жидкокристаллических индикаторов

Номер патента: 1124258

Опубликовано: 15.11.1984

Авторы: Гусев, Еремин, Лабунов, Маев, Радионов, Сокол, Чмель

МПК: G05B 23/02

Метки: напылении, осаждения, пленок, скоростью, толщиной, тонких

...- функциональная схема анализатора сбоев, нафиг. 3-5 - временные диаграммы работы устройства при исправном кварцевом датчике и отсутствии сбоев по цепи последнего, при сбоях его поиз счетчика 4 в счетчик 6 и установт ку счетчика 4 в нулевое состояние. Триггер 8 служит для блокировки входных ключей 3 и 5 на время перезаписи информации. Формирователь 11 временных интервалов времени обеспечивает синхронизацию всего устройства и вырабатывает импульсы переноса (выход 1) и импульсы предварительной установки (выход 2), Входы 1 и 2 ключа 13 являются управляющими, а вход 3 - информационным. Задатчик 14 скорости осаждения (напыления) и ее допуска служит для задания требуемой скорости осаждения и ее допуска и представления этой инФормации в...

Номер патента: 297709

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Гскнвг, Корнеев, Тюнькин, Чернышев

МПК: C23C 14/36

Метки: ионного, напыления, пленок

...полюсу источника напряжения, а широкая часть трубы служит анодом и может быть либо заземлена, либо находиться под небольшим относительно земли смещением. Подложкодержатель электрически нейтрален и в поддержании разряда не участвует. Расстояние между трубой и боковой поверхностью катода 4 выбрано таким, что разряд здесь це возникает и возникает лишь тогда, когда до -- 4,. В этом случае труба перестает служить экраном ц становится анодом.Для интенсификации разряда служит магнит 4, который одновременно играет роль магнитного затвора для заряженных частиц, Магнитное поле не пропускает к поверхности297709 Предмет изобретения Составитель Н, Герасимова Редактор А, В. Корнеев Техрсд 3. Н, ТараненкоКорректоры; В. Петрова и Е. Ласточкина Заказ...

Номер патента: 1679568

Опубликовано: 23.09.1991

Авторы: Кобыляков, Костроменко, Лялько, Пластюк, Шелехов

МПК: G01B 11/06, H01L 21/02

Метки: напыления, пленок

...скорость движения свидетеля 5 с помощью регулятора 4 движения свидетеля, Оптимальной для проведения процесса измерения скоростью является такая скорость, при которой сигнал, регистрируемый усилителем 14 фотоприемника, является минимальным. После этого включается измерительная часть устройства, открывается подвижная заслонка кварцевого резонатора 2 и начинается процесс измерения толщины пленки. Иа кварцевом резонаторе 2 происходит рост пленки. В процессе осаждения пленки на кварцевом резонаторе 2 изменяется масса резонатора 2, возникает сдвиг резонансной частоты, который регистрируется измерителем 16 частоты кварцевого резонатора. Величина сдвига резонансной частоты передается измерителем 16 частоты на эадатчик 17 маркировочного...

Номер патента: 180457

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Горбунова, Пннчук, Сныткин, Шпиньков

МПК: C23C 14/54

Метки: вакууме, испарении, напыления, пленок, скорости

...В, Сныткин и В, Д. ГорбуноваЗаявител ПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК ПРИ ИСПАРЕНИИ В ВАКУУМЕмеряемый микроампер мет леп скорости напыления. пропорциона луч аемы. т скоро ристалли гим, на псп. ескую е магтзобретени 5 гп пасе.ппя ися этоользуяемогопепоктрод.спариок, из Своиства тонких пленок, порением в вакууме, зависят о с осаждения, влияющей на к ч структуру пленки и, в связи с е нитные и другие свойства.Известны способы измерения скорос пыления пленок при испарении в вакуу.Цель изобретения -- упростить измере повысить степень точности. Достигает тем, что по предлагаемому способу исп ют самопроизвольную ионизацию испар вещества. Ионы испаряемого вещества средственно переносят свой заряд на эле Измерительный электрод соединяют...

Номер патента: 235339

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Колобов, Лихтман, Максимова, Толдов, Чижов

МПК: G01B 9/00

Метки: напыления, непрерывного, пленок, процесса

...света 10, объектив 11, диафрагму 12, механический модулятор 13, призму 14, а также объектив 15 фотодцода 16 ц подающего сигнал ца электродвш атель 7 усилителя 17.Непрерывный контроль и регулированиепроцесса напыления пленок происходит сле дующим образом.В камере 1 напылителями 2 наносится пленка на обрабатываемые детали 5 и одновременно через экран 4 на контрольный вращающийся образец 3, Источник света 10 через объек тив 11 ц диафрагму 12 направляет два параллельных световых луча на эталонный образец б, модулируемых с частотой 50 гц механическим модулятором 13. Одцч цз лучей проходит через прозрачную часть эталонного образца б, 15 напыленпую часть контрольного образца 3,призму 14, объектив 15 на фотодцод 16, а другой луч проходит...