Устройство для напыления пленок

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК я)5 Н 01 1 21/02 НИ СВИДЕТЕЛ ЬСТ К АВТОРСК ое обьединеЯ ПЛЕИзоб скому обо зова но техники напылени Цель ние восп нок по т контроляетение относ рудованию и производ ри изготовле и материалов ю изобретени роизводимост олщине и и за счет устраится к технологичеможет быть испольстве электронной нии микросхем при на кристаллы.я является повыше- и напыляемых плеовышение точности нения ошибок, свярости осаждения принципиальная ойства,поворотный стоор 2 с подвижнойвижения свидетеи свидетель 5, фок 7 оптического ОСУДАР СТВ Е ННЫ Й КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБ(56) Авторское свидетельство СССРМ 1099098, кл. 6 01 В 11/06, 1984,Авторское свидетельство СССРМ 359509, кл, 6 01 В 11/06, 1970,(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИНОК(57) Изобретение относится к радиоэлектронной технике и может быть использованопри изготовлении микросхем, в лазернойтехнике при напылении материалов на кристаллы, Цель изобретения - воспроизводимость напыляемых пленок по толщине иповышение точности контроля. Устройствосодержит датчик, выполненный в виде кварцевого резонатора с измерителем частоты,датчик с прозрачным для светового потокасвидетелем, установленным с возможностью калибруемого равномерного его движения и снабженным стационарным, 5 О 1679568 А 1 экранам со щелью, испаритель с его блоком питания, источник светового потока, фото- приемник с усилителем, блок обратной связи между усилителем фотоприемника и блоков питания испарителя, В устройстве кварцевый резистор установлен в области размещения подложек в качестве маркера сигнала фотоприемника и снабжен заслонкой с приводом, блок обратной связи выполнен в виде тиристорного устройства, введены регулятор движения свидетеля, задатчик маркировочного сдвига частот, реле времени, реле заслонки, масштабный усилитель, счетчик маркировочного сдвига частот и задатчик счетчика. Использование кварцевого резонатора в качестве маркера сигнала фотоприемника, полученного путем регистрации интенсивности светового потока, который проходит через равномерно движущийся прозрачный свидетель с осаждающейся в нем пленкой, позволяет производить калибровку сигнала фотоприемника и, следовательно, с помощью этого сигнала измерять скорость осаждения пленки и более строго, соблюдать пропорциональность между уходом резонансной частоты кварца и ростом толщины пленки, 1 ил. занных с флуктуациями ск напыляемых слоев,На чертеже показана схема предлагаемого устрУстройство содержит лик 1, кварцевый резонат заслонкой 3, регулятор 4 д ля, прозрачный подвижны топриемник 6, источни10 30 35 излучения, реле 8 заслонки кварцевого резонатора, испаритель 9, счетчик 10 маркировочного сдвига частот, задатчик 11 счетчика, блок 12 питания испарителя, тири- стор 13, усилитель 14 фотоприемника, масштабный усилитель 15, измеритель 16 частоты кварцевого резонатора, эадатчик 17 маркировочного сдвига частот и реле 18 времени.Устройство работает следующим обрезом.Поворотный столик 1 с кварцевым резонатором 2, закрытым подвижной заслонкой 3, подвергается запылению потоком материала формируемой пленки. Часть этого же потока оседает на поозрачный свидетель 5, оптическая плотность которого контролируется с помощью фотоприемника 6, регистрирующего оптическое излучение, генерируемое источником 7.Перед началом формирования пленок включают блок 12 питания испарителя. Нагревающийся испаритель 9 разогревает помещенный в нем испаряемый материал до температуры кипения и пары материала образуют поток распыляемых частиц, который в начальной стадии нагрева является нестабильным. В зто время измерительная часть устройства выключена,. а подвижная заслонка Э кварцевого резонатора 2 находится в закрытом положении. Затем включается источник 7 оптического излучения, фотоприемник 6 с усилителем 14 и с помощью регулятора движения 4 свидетеля свидетелю 5 задают равномерное перемещение. После стабилизации режима распыления, которое определяется постоянностью сигнала усилителя 14 фотоприемника, устанавливают оптимальную скорость движения свидетеля 5 с помощью регулятора 4 движения свидетеля, Оптимальной для проведения процесса измерения скоростью является такая скорость, при которой сигнал, регистрируемый усилителем 14 фотоприемника, является минимальным. После этого включается измерительная часть устройства, открывается подвижная заслонка кварцевого резонатора 2 и начинается процесс измерения толщины пленки. Иа кварцевом резонаторе 2 происходит рост пленки. В процессе осаждения пленки на кварцевом резонаторе 2 изменяется масса резонатора 2, возникает сдвиг резонансной частоты, который регистрируется измерителем 16 частоты кварцевого резонатора. Величина сдвига резонансной частоты передается измерителем 16 частоты на эадатчик 17 маркировочного сдвига частот. При достижении оптимальной для измерения заранее заданной величины мэркиравочного сдвига частот задатчик 17 маркировочного сдвига частот посылает через реле заслонки 8 команду на привод заслонки 3, и заслонка Э перекрывает кварцевый резонатор 2 от дальнейшего запыления, Параллельно с этим задатчик 17 маркировочного сдвига частот посылает команду не реле 18 времени, которое было включено одновременно с эадатчиком 17 маркировочного сдвига частот, При этом, реле 18 времени фиксирует период, требуемый для получения маркировочного сдвига частот, Одновременно с этим реле 18 времени, подключенное к масшатабному усилителю 15, воспринимает сигнал от усилителя 14 фотоприемника через масштабный. усилитель 15. При наличии нестабильности сигнала от усилителя 14 фотоприемника, которая может возникнутьот тепловой инерционности испарителя 9, реле 18 времени, соединенное с масштабным усилителем 15, воспринимает сигнал, нестабильность которого обратно пропорциональна нестабильности сигнала усилителя 14 фотоприемника. При этом в требуемом масштабе изменяется период работы реле 18 времени. В результате этого погрешности в измерении, вызванные нестабильностью сигнала усилителя 14 фотоприемника, не возникают, Счетчик 10 маркировочного сдвига частот, воспринимая команды от задатчика 17 маркировочного сдвига частот и реле 18 времени, считает число циклов, требуемых для получения маркировочного сдвига частот и, таким образом, измеряет толщину пленки,формируемой в процессе напыления. Задатчик 11 счетчика снабжен устройством для установки толщины пленки, требуемой для изготовления, При получении заданной толщины эадатчик 11 счетчика, подключенный к счетчику 10 маркировочного сдвига частот, выдает команду на отключение процесса напыления.При применении предлагаемого устройства, повышается практическая зффективность изготовления покрытий и уменьшается процент брака за счет более точного их изготовления, значительно увеличивается производительность труда при изготовлении пленок, получившем большое распространение в разных областях науки и техники, в том числе в массовом производстве, в связи с тем, что отпадает надобность в сложной калибровке, требуемой для определения физических характеристик различных распыляемых материалов. Формула изобретения1679568 20 Составитель В. Р Техред М.Морген длко Реда кт ектор А. Осауленко Заказ 3219 Тираж 370 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 КНТ СС Производственно-издательский комбинат "Патент" ород, ул, Гагарина 1 Устройство для напыления пленок, содержащее поворотный столик, испаритель с блоком питания, систему регистрации, включающую прозрачный свидетель с неподвижным экраном, имеющим отверстие, регулятор движения свидетеля, усилитель, фотоприемник и источник оптического излучения, общая ось симметрии которых проходит сквозь отверстие в неподвижном экране, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения воспроизводимости напыляемых пленок по толщине и повышения их качества за счет точности контроля, в систему регистрации введен датчик, выполненный в виде кварцевого резонатора, между ним и испарителем установлена подвижная заслонка, снабженная реле, блок обратной связи, выполненный в виде тиристора, задатчик маркировочного сдвига частот, реле времени, масштабный усилитель, счетчик маркировочного сдвига частот, задатчик счетчика и измеритель частот, причем выход фотоприемника через усилитель электриче ски соединен с входами масштабного усилителя и управляющим электродом тиристора, катод которого подключен к блоку питания испарителя, выход кварцевого резонатора через измеритель частот и эа датчик маркировочного сдвига частот электрически соединен с входами реле времени, счетчика маркировочного сдвига частот и реле заслонки, входы счетчика маркировочного двига частот, в свою очередь, электри чески соединены с выходами эадатчикасчетчика и реле времени, второй вход которого электрически связан с выходом масштабного усилителя,