Способ получения эпитаксиальных p-n-структур

Номер патента: 880170

Авторы: Лисовенко, Марончук, Сушко

Описание

Способ получения эпитаксиальных р-п-структур на основе полупроводников типа AIIIBV путем принудительного охлаждения раствора-расплава, легированного амфотерной примесью, включающий создание трех температурных зон, профиль которых изменяется по длине реактора, и перемещение подложек с постоянной скоростью (1 - 5) 10-2 см/с вдоль реакционной трубы, во время которого осуществляют операции эпитаксильного наращивания, отличающийся тем, что, с целью получения резко-несимметричных р-п-переходов, улучшения качества структур и приборов на их основе, в первой зоне снижения температуры устанавливают градиент 2 - 10 град/см, по достижении температуры инверсии создают провал температуры на 15 - 30 град на участке 0,5 - 1,5 см, а далее устанавливают градиент снижения температуры 0,2 - 1,0 град/см.

Заявка

2940733/25, 13.06.1980

Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР

Лисовенко В. Д, Марончук И. Е, Марончук Ю. Е, Сушко Б. И

МПК / Метки

МПК: H01L 21/208

Метки: p-n-структур, эпитаксиальных

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-880170-sposob-polucheniya-ehpitaksialnykh-p-n-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения эпитаксиальных p-n-структур</a>

Похожие патенты