Способ изготовления структур кремний-на-изоляторе
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Заявка
4622902/25, 18.10.1988
Институт физики полупроводников СО АН СССР
Серяпин В. Г, Смирнов Л. С
МПК / Метки
МПК: H01L 21/268
Метки: кремний-на-изоляторе, структур
Опубликовано: 20.06.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1635819-sposob-izgotovleniya-struktur-kremnijj-na-izolyatore.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления структур кремний-на-изоляторе</a>
Предыдущий патент: Состав для изготовления полимерной диафрагмы
Следующий патент: Способ изготовления элемента памяти
Случайный патент: Дверной автоматический замок