Способ изготовления структур кремний-на-изоляторе

Номер патента: 1635819

Авторы: Серяпин, Смирнов

Описание

Способ изготовления структур кремний-на-изоляторе, включающий нанесение диэлектрической пленки на подложку из монокристаллического кремния, нанесение слоя поликремния на диэлектрическую пленку и рекристаллизацию поликремния путем предварительного подогрева структуры и облучения сканирующим сфокусированным лучом, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества структур при одновременном упрощении способа, предварительный подогрев ведут со стороны слоя поликремния, а облучение сканирующим лучом ведут со стороны подложки при мощности излучения, достаточной для начала образования на облучаемой поверхности островков жидкой фазы, но недостаточной для образования сплошной расплавленной зоны.

Заявка

4622902/25, 18.10.1988

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Серяпин В. Г, Смирнов Л. С

МПК / Метки

МПК: H01L 21/268

Метки: кремний-на-изоляторе, структур

Опубликовано: 20.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1635819-sposob-izgotovleniya-struktur-kremnijj-na-izolyatore.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления структур кремний-на-изоляторе</a>

Похожие патенты