Описание
Способ изготовления элемента памяти, включающий формирование на поверхности полупроводниковой подложки первого типа проводимости первого слоя двуокиси кремния с отверстиями, формирование первой и второй диффузионных областей второго типа проводимости, формирование второго слоя двуокиси кремния с отверстием, расположенного на поверхности полупроводниковой подложки, формирование на поверхности полупроводниковой подложки слоя диэлектрика термообработкой поверхности полупроводниковой подложки в окисляющей среде и среде аммиака, нанесение слоя нитрида кремния на поверхность слоя диэлектрика, формирование отверстий во втором слое двуокиси кремния, формирование первой, второй и третьей проводящих областей, отличающийся тем, что, с целью повышения времени хранения информации в элементе памяти, термообработку в окисляющей среде проводят после термообработки в среде аммиака, причем термообработку в среде аммиака проводят при температуре 1200 - 1400oC в течение 1 - 40 мин.
Заявка
4381077/24, 06.01.1988
Институт физики полупроводников СО АН СССР
Ефимов В. М, Синица С. П
МПК / Метки
МПК: G11C 11/40
Метки: памяти, элемента
Опубликовано: 20.06.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1524725-sposob-izgotovleniya-ehlementa-pamyati.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления элемента памяти</a>