Способ изготовления тиристорных структур

Описание

Способ изготовления тиристорных структур, включающий формирование в полупроводнике p+-n-p-n+ слоев, изготовление и пассивацию краевого контура, облучение структуры протонами со стороны управляющего электрода сквозь n+ эмиттерный слой, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь мощности в проводящем состоянии при заданном уровне времени выключения, облучение проводят после формирования p+-n-p-n+ слоев, облучение ведут при интенсивности потока протонов не более 1010 прот см-2 с-1 и энергии протонов, обеспечивающей длину из пробега Х в структуре, удовлетворяющую соотношению
Хj < Х < Хj + Wn - W'n,
где Хj - глубина залегания коллекторного p-n-перехода;
Wn - ширина n-базового слоя;
W'n - расчетная ширина слоя объемного заряда в базе n-типа при максимальном блокируемом напряжении,
затем осуществляют отжиг облученных структур при температуре 230 - 250oС в течение 3 - 5 ч, после чего проводят изготовление и пассивацию краевого контура.

Заявка

4360229/25, 13.01.1988

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе

Волле В. М, Воронков В. Б, Грехов И. В, Гейфман Е. М, Гусинский Г. М, Найденов В. О, Козлов В. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/26

Метки: структур, тиристорных

Опубликовано: 10.06.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1533569-sposob-izgotovleniya-tiristornykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления тиристорных структур</a>

Похожие патенты