Способ изготовления кремниевых p-n-переходов

Номер патента: 1382303

Авторы: Буров, Волков, Липатов, Овчинников

Описание

Способ изготовления кремниевых p-n-переходов путем наращивания эпитаксиальных слоев на легированные бором подложки, включающий приготовление раствора-расплава кремния в олове и введение в него легирующей добавки, изотермическую выдержку при температуре начала процесса, приведение раствора-расплава в контакт с подложками, травление подложек путем нагрева системы и последующее принудительное охлаждение системы, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества p-n-переходов за счет устранения включений олова на границе p-n-перехода, дополнительно вводят в раствор-расплав 0,001 - 0,01 мас. % индия или галлия, изотермическую выдержку осуществляют в вакууме при давлении не более 0,13 Па, причем при введении индия изотермическую выдержку проводят при температуре 700 - 1000oC в течение 30 - 120 мин, а при введении галлия изотермическую выдержку проводят при температуре 550 - 1000oC в течение 20 - 90 мин.

Заявка

4102071/25, 01.08.1986

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Волков М. П, Буров С. В, Липатов В. В, Овчинников В. В

МПК / Метки

МПК: H01L 21/208

Метки: p-n-переходов, кремниевых

Опубликовано: 10.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1382303-sposob-izgotovleniya-kremnievykh-p-n-perekhodov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления кремниевых p-n-переходов</a>

Похожие патенты