Свидельский

Номер патента: 1063210

Опубликовано: 23.10.1985

Авторы: Зайцев, Кадомский, Кужелев, Онегин, Плавинский, Почкаев, Райхман, Свидельский, Чухлиб

МПК: G03B 27/32

Метки: координатное, печати, проекционной

...фотоприемным блоком, установленными на основании, при этом штрихи дифракционных решеток ориентированыперпендикулярно плоскости перемещения координатного стра.На фиг. 1 схематически показанопредлагаемое координатное устройство;на фиг. 2 - ход лучей в одном из датчиков перемещения, вид сбоку; на 2 бфиг. 3 в . ход лучей, вид сверху,Координатное устройство содержиткоординатный стол 1 с установленнымина.нем прозрачными одномерными дифракционными решетками 2, 3, 4, уголковые отражатели 5, 6, 7, фотоприем"ные блоки 8, 9, 10 и осветители 11,12, 13. Координатный стол 1 несетфотопластину 14 и имеет воэможностьперемещаться вдоль координатных ЭОосей Х, У и поворачиваться по углучна рабочей поверхности основания 15.Отражатели 5, 6, 7,...

Номер патента: 680466

Опубликовано: 30.03.1984

Авторы: Канарский, Кужелев, Райхман, Свидельский

МПК: G03F 1/02

Метки: фотоповторитель

...по диаметру пластины на ее краях, устанавливается на вакуумный присос 6 и крепится в гнезде цилиндрического стакана 5.По командам электрической схемы 15 управления обеспечиваются: поперечный выход координатного стола 4 в зону видения 3 отодатчиком 3 совмещения знаков совмещения на полупроводниковой пластине, определение положения пластины по отношению к координатной системе стола, вычисление углового разворота пластины по отношению к координатным осям стола, поворот цилиндрического стакана 5 механизмом кругового 8 перемещения для ликвидации разворота полупроводниковой пластины и регистрация положения пластины в координатной системе стола по отношению к оптической оси объектива 2, на чем цикл совмещения заканчивается.Фотодатчик 3...

Номер патента: 873485

Опубликовано: 15.10.1981

Авторы: Климов, Макаревич, Райхман, Свидельский, Чехута

МПК: H05K 13/02

Метки: координатный, стол

...объемот атмосферы. Подвижная рама 2 через упоры 4 ккнематически связанас направлякщими штангами 8, шарнирно закрепленными на каретках 9 приводов 10. Движение по каждой осуществляется парой приводов 10, закры- .тых экранами 11. Трехканальный датчик б установлен в поворотном механизме 5 таким образом, что при повороте поворотного механизма 5 оптическая ось датчика б остается неподвижной.каз 9081/87 Тираж 892 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам. изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5иал ППП фПатентф, г. Ужгород, ул. Проектная Перемещение подвижной рамы 2 по координатам Х У осуществляется следующим образом.По сигналам от внешнего устройства управления команда на движение передается одной из пар...

Номер патента: 838649

Опубликовано: 15.06.1981

Авторы: Быковский, Кужелев, Райхман, Свидельский, Чехута

МПК: G03B 27/32

Метки: координатная, печати, устройствпроекционной

...дачтика перемещений.Координатная система работаетследующим образом,При перемещении координатного стсла 7 анализирующие головки 5 и босуществляют выработку электрическихсигналов, имеющих вид5 П Х 4 С 05 Х ; 51 П У; С 05 (,5 и Х 1; с 05 Х, 5 п У; с 05 У;,где Х и У - перемещение анализирующей головки 5 относительно дифракционнойрешетки по координатным осям;.Х и У - перемещение анализи рующей головки б относительно дифракционнойрешетки 4 по координатным осям,сигналы с анализирующих головок 5и б поступают в блок 11 перемчожениясигналов, который обеспечивает вы. -ло;.Нение операций5 П Х фС 05 Х + СО 5 Х 15 П Х,5 П Х 5 ПС 05 Х СО 5 Х)5 П У .С 05СО 5 У, 50 У51 п У,5 п У + со 5 У, со 5 У;5 П У СО 5 1+ С 05 Ул 5 П5,П У 5 П У - СО 5 1, С...

Номер патента: 569846

Опубликовано: 25.08.1977

Авторы: Капелевич, Кононович, Новиков, Савиковский, Свидельский, Чухлиб

МПК: G01B 11/02

Метки: размеров, фотошаблонов, элементов

...через светоделительный элемент 24 проецируется с помощьюахроматической линзы 22 и объектива 21на плоскость рисунка фотошаблона 9. Изображение анализирующей щели 25 через фотошаблон 9 проецируется объективом 32на фотоприемник 31 фотоприемного усгройства 13. При перемещении координатно-., 5го стола 2 элементы рисунка фотошаблона9 перекрывают изображение анализирующейщели 25, что вызывает изменение фототокав фотоприемнике 31 от минимального значения до максимального, Момент среднего Фзначения фототока считается моментом визирования края элемента. В момент среднего значения фототока срабатывает пороговое устройство триггер шмидта) и переносит показания датчика б отсчета линеиных перемещений на табло индикации или в цифропечатающее...

Номер патента: 543956

Опубликовано: 25.01.1977

Авторы: Нисенбаум, Свидельский

МПК: G06G 9/00

Метки: множительное, оптоэлектронное

...13 и 14 фотоприемника 2.Устройство работает следующим образом. ИНапряжение О от источника 10 вход.ного сигнала подается на светодиод 1 и линейно определяет величину светового потока, излучаемого светодиодом 1 иа много-:анодный фотоприемник 2. 2 ОРабочая зова изменения тока на линейном участке характеристики светодиода 1определяется источником напряжения смещения и ограничительными резисторами 3и 4. Световой иоток, попадая на многоанодбный фотоприеыиик 2, фотодиоды 13, 14 которого ждючены встречно для компенсациифототока, изменяет его сопротивление%которое обратно пропорционально напряжеищв Ц от источника 10 входного сигнала: ЗО1СЯгде С - коэффициент пропорциональност.Напряжение У от источника 9 входно.35го сигнала через масштабные...

Номер патента: 516019

Опубликовано: 30.05.1976

Авторы: Райхман, Свидельский, Чухлиб

МПК: G05B 19/04

Метки: программного

...переходит в режим сложения за положением объекта управления, для чего из блока управления поступает командный сигнал, открывающий ключ 12 и замыкающий контур управления по позиции: фазовый детектор 13, ключ 12, блок суммирования 10, генератор 9 несущей частоты, фазовращатель 7, преобразователь 6 вал - напряжение. При этом на выходе фазового детектора 13, включенном в упомянутый контур, вырабатывается аналоговый сигнал, пропорциональный позиционной ошибке объекта управления. Этот сигнал, поступая через ключ 12 и блок суммирования 10 на вход генератора 9, вызывает изменение несущей частоты, что приводит к появлению напряжения на выходе частотного дискриминатора 5, которое через усилитель мощности 4 управляет исполнительным двигателем 3...

Номер патента: 474674

Опубликовано: 25.06.1975

Авторы: Колесников, Пятецкий, Райхман, Свидельский

МПК: G01B 9/00

Метки: объекта, положения, фотоэлектрическое

...периоде сканирования. Начало подвижной координатной системь ОХ при строго периодической штрихо- з 0вой сетке можно связать с любым из ее штрихов (так называемый относительный отсчет);если же ца штриховую сетку нанести какуюлибо нерегулярность, начало системы ОХ может быть связано с конкретным штрихом 35(абсолотцый отсчет), Соответствующийэлектрический сигнал в виде серий импульсов,основной сигнал) с непостоянной фазойвнутри периода сканирования показан ца фиг,3, г. Сосчитав количество совпадеций импульса основного сигнала с первым импульсом опорного сигнала, получают относительную или абсолютную координату положенияштриховой сетки с дискретностью, равной шагу Х штриховой сетки, Фиксируя номер опорного импульса, с которым произошло...

Номер патента: 470793

Опубликовано: 15.05.1975

Авторы: Райхман, Свидельский, Чухлиб

МПК: G05B 19/32

Метки: двухкоординатная, позиционирования

...1, что вызывает изменение фазы выходного сигнала фазовращателя 9 на величину -Мр=я)М, а это,изменение фазы, в свою очередь, вызывает изменение результата отсчета перемещения фазовым детектором 18 на величину +Ли=в/Ь.В результате погрешность позиционирова,ния по координате У, обусловленная погрешностями датчика перемещения 5 и погрешностями,направляющих координатного стола, не превышает Ьв,Аналогично осуществляется коррекция погрешностей позиционирования по координате Х.Таким образом, датчик коррекции 15 вырабатывает сигналы, корректирующие погрешности датчика перемещения 5, координаты У, и сигналы, корректирующие погрешности направляющих координаты Х. Эти сигналы поступают соответственно на входы формирователей импульсов 13 и 14....

Номер патента: 457064

Опубликовано: 15.01.1975

Авторы: Глазков, Довнар, Зайцев, Кужелев, Райхман, Свидельский

МПК: G03F 1/02

Метки: фотоповторитель

...фотошаблонов.Между проекционным объективом и фото- пластиной, помещенной в гнездо координатного стола, расположен пневматический датчик 10 автофокусировки, установленный жестко на основании координатного стола сверху и связанный через пневмоусилитель 11 с питанием аэростатических направляющих.Все узлы фотоповторителя управляются блоком 12 программного управления.Работа устройства заключается в следующем.Магазин сменных промежуточных фотошаблонов устанавливает нужный промежуточный фотошаблон в спутнике напротив платформы 9, привод которой извлекает этот фотошаблон из магазина и перемещает его на освещаемое поле против проекционного объектива 7. При этом каждый из трех базирующих знаков на промежуточном фотошаблоне вне рабочего...

Номер патента: 447664

Опубликовано: 25.10.1974

Авторы: Глазков, Зайцев, Кужелев, Райхман, Свидельский

МПК: G03B 27/32

Метки: микрофотонаборное, фотошаблонов

...дерньтт приво д 9 точных пе- дает со строкой, содержащеИ нужсемещени. с датчиком перемещенияныИ фрагмент, двухкоординатныО на ди,.,оа 1 сционнь 1 х решетках,и о стол 1 устанавливается в положение,приводы 11 орчентации сменного при котором изображение фрагменташаблона по углу и в направлении, совпадает с заданным участкою наперпендикулярном движению карет- фотопластине 2 и включается экспоки. зиция,Для контроля базового поло- Для экспонирования прямыхжения сменных шаблонов одного по линиИ под углом к осям движенияотношению к другому и по отношению двухкоординатного стола и кривок оптическоИ оси проекционного линеИных фигур на каретке В и Мобъектива 7 и основанию двухкоор- помещаются шаблоны с набором кругдинатного стола прикреплен датчик...

Номер патента: 269667

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Андреев, Зайцев, Райхман, Свидельский

МПК: F16C 29/00

Метки: механизм, перемещений, точных

...за полостью стойки.На чертеже изображен описываемый механизм в продольном разрезе.Механизм состоит из основания 1, в направляющих которого вне вакуумной камеры 2 установлена каретка 3, несущая подвижную каретку 4, Обе каретки имеют приводы с тормозами и изолированы от полости камеры силь- фоном б, На каретке 4 закреплена коническая полая стоика 6, которая служит одновременноопорой и упругой подвеской объектного стола 7.С консольным концом стойки жестко соеди 5 нен упругий стержень 8, свободный конец которого входит в дисковый упрупш шарнир 9 исвязан с двухкоордпнатным приводом точныхперемещений, установленным также на каретке 4,10 Сверху в камере имеется отверстие для установки обрабать;вающего инструмента. Место крепления обрабатываемых...

Номер патента: 264126

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Аньл, Богаткевич, Глазков, Зайцев, Козл, Райхман, Свидельский

МПК: B65G 27/18

Метки: перемещения, приводнымопорам, узлов

...изобретения - обеспечить управлениеперемещениями деталей и узлов,Для этого в местах контакта деталей и узлов с приводными опорами создают одинаковые по частоте и изменяемые по фазе вертикальные и горизонтальные колебания при помощи нескольких вертикальных и горизонтальных управляемых по фазе вибраторов,Перемещаемая деталь помещается непосредственно на приводящие опоры, с которыми связаны по крайней мере по два вибратора и которые изменяют сдвиг фаз колебанийкаждого вибратора. Это приводит к изменению амплитуды или сдвига фаз горизонтальных и вертикальных составляющих колебанийприводящей опоры. Этим регулируется перемещающее усилие, действующее на перемещаемую деталь. Если деталь расположена на приводящейопоре, создающей колебания,...

Номер патента: 205486

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Козлов, Назаров, Райхман, Свидельский

МПК: F15B 9/06

Метки: микроманипулятор, пневмоприводом

...давление в бесштоковой полосги падает и поршень передвигается вправо, при уменьшении щели давление в полости Б возрастает и за счет разности площадей полостей цилиндра возникает усилие, перемещающее поршень влево.При включении магнита 6 положение заслонки зависит от положения стола (включается обратная связь).При необходимости производится точная перестановка стола на заданное р асстояние. Из системы управления 12 посылается сигнал на интегрирующее усгройство 13. Последнее вырабатывает потенциал, подаваемый на пьезопреобразователь, который, изменяя свои линейные размеры, изгибает металлическую пластинку и тем самым измсняет расстояние между соплом и заслонкой, что вызывает перемещение стола,Движение стола контролируется датчиком...