Микрофотонаборное устройство для изготовления фотошаблонов

А Н 44766 Союз Советских Социа лист ицесмих оье еспубвик К АВТРРСКРМУ СВИДВТВЛЬСТВ(51) М Кл.Ф 051 27/52 исоединением заявки Гасударственный намнтет Севвтв Мнннстрвв СССР пе делам нвабретеннй н втнрытнй(53) УДК655. 287 088,8 39ЮИ:М адата опуб кования описан ков, В.А.ЗаЙцвв, В.вльский И. М. Гл А.П.Св Ре йхмэ ел 72) Авторы изобретения 71) Заявител ОНАБОРНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯТОШАБЛОНОВ Ф МИК РОФ Изоройствамлонов вство.Известно иикрофотонаборное устройство для изготовления фото- шаблонов, содержащее двухкоординатный стол с гнездом для крепления фотопластин, наборную диафрагму, проекционный обьектив, осветитель, датчик ориентации по штриховым знакам и систему управления,Однако при изготовлении сложных фотошаблонов больших интегральных схем при помощи такого устройства требуется значительное время, а также затрудняется фотомонтаж, так как отсутствует возможность точного выбора фрагментов с рисунбретение относится к устдля изготовления фотошабмикроэлектронном проиэводПредлагаемое микрофотонаборое устройство производительнеенадежнее в работе .Для этого оно снабжено двумя аретками со стянлартными фотошаб)лонами и с датчиками перемещенияи промежуточной оптической системой, смонтированной между осветителем и проекционным объективом с5 возможностью перемещения во взаимнойерпендикулярных направлениях,параллельно осям двухкоординатногостола. Причем каретки содержат приводы ориентации отошаблонове ао датчик ориентации электрически связан с датчиками перемещения кареток,На фиг.1 схематически изображено предлагаемое устройство;5 на фиг, 2- два растровых шаблойакареток для группового микрофотонаборае на фиг.З - шаблон с фрагментами топологических рисунков ишаблон с выбирающим прямоугольным2 о окном для фотомонтажа; на фиг,4 шаблоны с круглыми отверстиями дляэкспонирования криволинейных фигурУстройство содержит точныйавтоматический двухкоорданатныйстол 1 с гнездом для установки фотЬластины 2 и две подвижные каретки3 М 766 ФФВ и 4 со стандартными сменными шаб- гуры. Таким образом набираютсялонами 5 расположенные между осве- групйы элементов и производитсятителем 6 и проекционным объекти- гру.".повоИ микрофотонабор.вом и смонтированные с возможностью Для осуществления сротомонтаперемещения во взаимно перпендику жа в каретку В помещается шаблонлярных направлениях параллельно с фрагментами топологических риосям стола, СменныМ шаблон каретки сунков, а в каретку М - шаблон сВ шаспо .ожен в предметной плоскос- выбирающим прямоугольным окномти проекционного объектива 7, а таких размеров, что оно ограничипромежуточная оптическая система . 1 о вает только одйн фрагмент.8 приводит изображение сменного При необходи 1 сости впечататьшаблона каретки М в плоскость какой-либо фрагмент каретка В пешаблона каретки .В так, что проек- ремещается так, что он оказываетционныИ об ектив создает на по- ся против столбца, в котором вверхности,.:отопластины 2 четкое 1 Б шаблоне каретки В имеется выбираюизображение обоих сменных шаоло- щее отверстие, каретка Ф переменов. Ка.сдан из подвижных кареток щается так, что отверстие совпаВ, Ю с о дерньтт приво д 9 точных пе- дает со строкой, содержащеИ нужсемещени. с датчиком перемещенияныИ фрагмент, двухкоординатныО на ди,.,оа 1 сционнь 1 х решетках,и о стол 1 устанавливается в положение,приводы 11 орчентации сменного при котором изображение фрагменташаблона по углу и в направлении, совпадает с заданным участкою наперпендикулярном движению карет- фотопластине 2 и включается экспоки. зиция,Для контроля базового поло- Для экспонирования прямыхжения сменных шаблонов одного по линиИ под углом к осям движенияотношению к другому и по отношению двухкоординатного стола и кривок оптическоИ оси проекционного линеИных фигур на каретке В и Мобъектива 7 и основанию двухкоор- помещаются шаблоны с набором кругдинатного стола прикреплен датчик зо лых отверстиИ, а сами каретки по12 взаимноИ ориентации сменных командам вычислительноИ машины усшаблонов по нанесенным на них ба- танавливаются так, что хорда пересечения двух соответствующих кругзовым штриховым знакам, лых отверстий располагается в наУстройство работает следую- правлении движения, а величина "с"щим образом. орределяет ширину вычерчиваемых лиПри обычном одиночном микро- ний. При этом двухкоординатныйБотонаборе сменные шаблоны обеих стол перемещается по заданнойкареток имеют по одной прямоуголь- траектории.ной или многоугольной фигуре "е 4 о При вычерчиван,.и фигур с криремещением каретки В по одной оси волинейными участками стол 1 и каи каретки М по другой выбирается ретки В и Ь выполняют согласованнужныИ размер наборного элемента, ные движения так, что положениеа переме щением двухкоординатного стола в каждый момент времени опстола 1 относительно оптическоИ 45 ределяет траекторию вычерчиванияоси проекционноИ системы устаназ- линий, а положения дареток В и чливается нужный участок фотоплас- обеспечивают расположение хордытины и включением затвора или лам пересечения двух соответствующихпы вспышки производится экспониро. круглых отверстиИ под заданнымвание . Всеми этими перемещениями бо углом, Радиус соответствующих кругуправляет электронная вычислитель дых отверстиИ, участвующих в вычерная машина в соответствии с -ада- чивании, определяет минимальный раваемоИ программой. диус закругления вычерчиваемоИ криПри изготовлении фотошабло- воИ, а также максимальную ширинунов больших интегральных схем в 55 линиикаретках В и ч шаблоны с одиноч- Ориентация шаблонов по имеющимными фигурами заменяются на шаблон с ас рами многоготьных сигур. ся на них штриховым знакам осуществПеремещенями нарето 1 с каждой по ляетс сл дующим обра; ом. р движении кареток сиксируются моментыодной оси выоирается количео, Во совпадения знаков с базовым положем нием и по си 1 налам фо то эле стрчкж азм . И фи кого датчика оРиентации счетчики5 И 7 ббФ датчиков перемещения кареток сбраст,Равтся в нуль, запоминая тем самкою язовое йологение по осям пере.ю;а 1 ия, Ориентация по другим Щ осцл, перпендикуляршм к угловым,ссуд,ествл;ется по сигналам уотоэлактрпческого датчика приводамиориентации, которых на каждой каретке по дза. 1 о ПГЕЖАЕТ ИБОБРЕТЕШИ Г.икро.1 отонаборное устро",.ство 15 для изготовления .".ото;.аблонов, сс 1:е ащее лвухкоординатньк стол с гнездом для крепления фотопластин, паборнуи лиа.",.рагму, проекционЮ 6. объектив, осветитель, датчик рентации по штриховым знакам и тстему управления, О Т Л И Ч Л й- Е Е С Я тем, что, с цельа повыения производйтельйости, оно снабено двумя каретками со стандартми отошаблонами и с датчиками еремецения и промежуточно" опти- ческоИ системоИ, смонтировяпной ме:ду каретками, которые установлены между осветителем и проекционным объективом с возмо:кностью перемецения во в аимно перпендикулярных направлениях, параллельно осям двухкоординатного стола, причем каратки со дер:ат приводы ориентации ботолаблонов, а датчик ориент аций электрически связан с датчиками перемещения кареток .