Координатный стол

(51)М. Кл,зН 05 К 13/02 в 23 0 5/оо с присоединением заявки М -Гесуаарстеекямй кеиктет СССР яе Аелэм кзебРФтюкий в еткрытяй(53) УДК 621. 3. о 16. . 34 з 621. 039, 5 (088. 8) Дата овубликования описания 15.1081(54) КООРДИНАТНЫЙ СТОЛ Изобретение относится к оборудо-ванию для производства иэделиймикроэлектроники и мэжет Найтиприменение в электронно-лучевом и другом оборудовании, требукщем точных5перемещений при производстве и контроле полупроводниковых приборов ифотошаблонов,Известен координатный стол; .содер Ожащий основание, на котором установлена подвижная рамас измерительнойзшкалойу соединяющая с поворОтйыммеханизмом и направлякщими штангамис приводом перемещения во взаимноперпендикулярных направлениях 1) 15Однако известное устройство иеобеспечивает быстродействия и .высо-.кой точности перемещения.Цель изобретения - повиаениебыстродействия и точности,перемв- " 20щения.Цель достигается тем, что в. коор-динатном .столе, содержащем основание,на котором установлены поворотныймеханизм и подвижная рама с изме -, рительной шкалой, соединенная.кап-равляющими штангами с приводомпе-.ремещения во взаимно перпендикуляр- .ном направлении, подвижная рамаснабжена упорами, кинематически соеди- ЗО ненными с направляющими штангами,а поворотный механизм - трехканальным датчиком перемещений, причемось оптического канала датчика совпадает с осью поворотного механиз-ма.На чертеже изображено устройство,общий вид,Координатный стол, состоит из основания 1, сверху которого свободнобез направляющих установлена подвижная рама 2, содержащая измерительнуюшкалу 3 и упоры 4, а снизу закрепленповоротный механизм 5 с трехканальным датчиком б. Основание 1 можетявляться нижней плитой вакуумной камеры и вместе с разделительным элементом 7 отделяет вакуумный объемот атмосферы. Подвижная рама 2 через упоры 4 ккнематически связанас направлякщими штангами 8, шарнирно закрепленными на каретках 9 приводов 10. Движение по каждой осуществляется парой приводов 10, закры- .тых экранами 11. Трехканальный датчик б установлен в поворотном механизме 5 таким образом, что при повороте поворотного механизма 5 оптическая ось датчика б остается неподвижной.каз 9081/87 Тираж 892 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам. изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5иал ППП фПатентф, г. Ужгород, ул. Проектная Перемещение подвижной рамы 2 по координатам Х У осуществляется следующим образом.По сигналам от внешнего устройства управления команда на движение передается одной из пар приводов 10, каретки 9 которых через направляющие штанги. 8 и упоры 4 пеоемещают подвижную раму 2 на данное расстояние, отсчитываемое трехканальным датчи 1 ком б. При. перемещении по двум координатам Х и У одновременно работают обе пары приводов 10, Так как подвижная рама 2 не имеет направляющих, ее.положение и перемещение постоянно отслеживается трехканальным датчиком б и корректируется приводами 10 по сигналам датчика б.Поворот подвижной раьн 2 осуществляется следующим образом.По сигналщ,от внешнего устройства управления команда на поворот передаемся поворотному механизму 5. Одновременно .с поворотом поворотного механизма 5 и датчика б происходит поворот подвижной рави 2 приводами 10 по сигналам трехканального . датчика б, причем поворот подвижной раьы 2 происходит относительно неподвижной оси датчика б, Поворот подвижной рамю 2 может происходить одновременно с перемещением ее по координатам Х и У или последовательно, Поворот осуществляется за счетразности скоростей пары кареток 9приводов 10 или за счет их встречного движения,Координатный стол, преимущественно для вакуумных проекционных установок, содержащий основание, на которомустановлены поворотный механизм иподвижная рама с измерительной шкалой, соединенная направляющими штангами с приводом перемещения во взаимно перпендикулярном направлении,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повышения быстродействияи точности перемещения, подвижнаярама снабжена упорами, кинемати чески соединенными с направляющимиштангами, а поворотный механизм,трехканальным датчиком перемещений,причем ось оптического канала датчика совпадает с осью поворотного 25 механизма. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР В 509393, кл. В 23 Я 5/00, 1974.