Микроманипулятор с пневмоприводом

Номер патента: 205486

Авторы: Козлов, Назаров, Райхман, Свидельский

ZIP архив

Текст

Союв Соевтсиил Социвлистичесиих Республик(088.8) Комитет по деломобретеиий и открытийри Совете МинистровСССР иорите,Х 1.1967, Бюллетень23 Опубликован Дата опубликования описания 19.1.19 б Авторыизобретения Козлов, Я. А. Райхман, А. П. Свидельский и Ю, Н. Назаров аявитель РИВОДОМ И РОМАНИПУЛ ТОР С ПН Известны пневматические или гидравлические манипуляторы, состоящие из следящейсистемы типа сопло - заслонка и обратной связи, механической или электрической,Предлагаемый микроманипулятор с пневмоприводом применяется при изготовленииполупроводниковых элементов, От известныхон отличается тем, что для небольших микрометрических перемещений пьезоэлектрическийпреобразователь наклеен на деформируемую 1пластину заслонки, а рычаг механической обратной связи фиксируется с подвижным органом посредством электромагнита.При необходимости больших перемещенийрычаг механической связи фиксируется неподвижно посредством другого электромагнита,закрепленного неподвижно.На чертеже приведена принципиальная схема привода микроманипулятора.Привод состоит из рабочего цилиндра 1, 2стола 2, соединенного со штоком цилиндра,пневмоусилителя типа сопло 3 - заслонка 4,пьезоэлектрического преобразователя 6, наклеенного на металлическую пластину заслонки, управляющих электромагнитов 6 и 7 и 2якоря 8, соединенного с рычагом 9 механической обратной связи.Воздух из сети поступает под давлением потрубопроводу 10 в ш гоковую полость А цилиндра, Бесштоковая полость Б цилиндра через жиклер 11 соединена со штоковой полостью и имеет выход в атмосферу через щель между соплом и заслонкой. Величина щели определяет давление воздуха в полости Б, При увеличении щели давление в бесштоковой полосги падает и поршень передвигается вправо, при уменьшении щели давление в полости Б возрастает и за счет разности площадей полостей цилиндра возникает усилие, перемещающее поршень влево.При включении магнита 6 положение заслонки зависит от положения стола (включается обратная связь).При необходимости производится точная перестановка стола на заданное р асстояние. Из системы управления 12 посылается сигнал на интегрирующее усгройство 13. Последнее вырабатывает потенциал, подаваемый на пьезопреобразователь, который, изменяя свои линейные размеры, изгибает металлическую пластинку и тем самым измсняет расстояние между соплом и заслонкой, что вызывает перемещение стола,Движение стола контролируется датчиком перемещения 14, передающим информацию в систему управления. При достижении заданной координаты сигнал, подаваемый на интегрирующее устройство, снимается, и стол удерживается в заданном полсокенпп за счет местной обратной связи: электромагнит 6 - якорь - заслонка - сопло. Прп включенной местной обратной связи осуществляются также малые и точные перемещеня стола,Более грубые и большие перемещения проЗаказ 4227/8 Тираж 535ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп СоветМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 Подписное инистров СССРТипография, пр. Сапуно изводятся при отключенной местной обратной связи. Для этого включают электромагнит 7 и рычаг 9 с укрепленной на нем заслонкой становится неподвижным. Направление и скорость грубых перемещений определяются потенциалом, подаваемым на пьезопрсобразователь, и контролируются датчиком перемещений.С целью повышения чувствительности системы отношение плеч рычага обратной связи взято значительно больше единицы (порядка 6 - 7). Предмет изобретения1. Микроманипулятор с пневмоприводом, состоящий из следящей пневматической системы типа сопло - заслонка, механической обратной связи, пьезоэлектрического преобразователя и датчика перемещений, отличающийся тем, что, с целью осуществления небольших микрометрических перемещений, пьезоэлектрический преобразователь наклеен на деформируемую пластину заслонки, а рычаг механической обратной связи, фиксируется с подвижным органом посредством электромагнита.102, Микроманипулятор по п. 1, отличающийся тем, что, с целью отработки больших пе ремещений, рычаг механической связи фиксируется неподвижно посредством электромаг нита, закрепленного неподвижно.

Смотреть

Заявка

1010219

В. А. Козлов, Я. А. Райхман, А. П. Свидельский, Ю. Н. Назаров

МПК / Метки

МПК: F15B 9/06

Метки: микроманипулятор, пневмоприводом

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-205486-mikromanipulyator-s-pnevmoprivodom.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Микроманипулятор с пневмоприводом</a>

Похожие патенты