Магниторазрядная ячейка газоразрядных приборов для измерения давления или откачки газов

5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 цилиндра, коаксиально расположенный в полости анода катод, выполненный в виде полого цилиндра, соединенного по торцам с охватывающими его металлическИми кольцами, и расположенный по оси ячейки цилиндрический стержневой электрод, катодный цилиндр выполнен сетчатым, а торцы его закрыты металлическими крышками,При этом, цилиндрический стержневой электрод соединен с анодом, а торцовые крышки - с катодом.Кроме того, торцовые крышки электрически соединены с цилиндрическим стержневым электродом и изолированы от катодного цилиндра, а стержневой электрод изолирован от анода.В такой конструкции катод является проницаемым для ионов, в результате чего ионы могут переходить из одной камеры в другую и многократно использоваться для ионизации газа. При этом крышки предотвращают потери заряжаемых частиц через торцы цилиндра. Оба эти фактора способствуют повышению скорости откачки.Возможны два варианта режима внутренней камеры: стержневой электрод электрически соединен с анодом, а крышки - с катодом и ячейка снабжена дополнительным источником питания, отрицательная клемма которого соединена с стержневым электродом и изолированными крышками, а положительная клемма - с катодом. В первом случае внутренняя камера работает как инверсный магнетрон, а во втором - как магнетрон.На фиг. 1 приведена схема магниторазрядной ячейки, первый вариант; на фиг. 2 - то же, второй вариант.Ячейка содержит цилиндрический анод 1, размещенный внутри него катод, выполненный в виде двух колец 2 и 3, соединенных проходящим внутри их сетчатым полым цилиндром 4, и изолированный стержневой электрод 5, установленный на оси анода 1. Полость цилиндра 4 закрыта крышками 6 и 7, которые соединены с кольцами 2 и 3 соответственно, цилиндром 4 и отрицательной клеммой источника 8 разрядного напряжения, положительная клемма которого соединена с анодом 1 и стержневым электродом 5.В ячейке (фиг. 2) в отличие от первого варианта, крышки 6 и 7 соединены с стержневым электродом 5 и отрицательной клеммой дополнительного источника 9 питания, положительная клемма которого соединена с кольцами 2 и 3, цилиндром 4, и отрицательной клеммой источника 8 разрядного напряжения.Выполнен опытный образец ячейки со следующими размерами, диаметр анода 100 мм, диаметр полого сетчатого цилиндра 75 мм, диаметр стержневого электрода 55 мм, расстояние между кольцами 30 мм. При разрядном напряжении 2 кВ, магнитной индукции 0,09 Т, давлении 1 10 Па получены следующие результаты: ток разряда наружной камеры 30 мкА, ток внутренней камеры 50 мкА, ток при совместной работе камер 300 мкА - в первом варианте, ток разряда наружной камеры 25 мкА, ток внутренней камеры 180 мкА - во втором варианте.При изготовлении катодов из геттерного материала (например, из титана) ячейка может работать как высоковакуумный насос, эффективность которого почти в четыре раза выше, чем у известных аналогов. При использовании ячейки в качестве манометра можно работать при пониженных разрядных напряжениях с целью уменьшения рассеиваемой мощности и откачиваю- щего эффекта. Увеличение числа концентрически расположенных разрядных камер должно приводить к повышению быстроты откачки,Формула изобретения1. Магниторазрядная ячейка разрядных приборов для измерения давления или откачки газов, содержащая анод, выполненный в виде полого цилиндра, коаксиально расположенный в полости анода катод, выполненный в виде полого цилиндра, соединенного по торцам с охватывающими его металлическими кольцами, и расположенный по оси ячейки цилиндрический стержневой электрод, отличающаяся тем, что, с целью увеличения быстроты откачки, катодный цилиндр выполнен сетчатым, а торцы его закрыты металлическими крышками.2, Ячейка по п. 1, отличающаяся тем, что цилиндрический стержневой электрод соединен с анодом, а торцовые крышки - с катодом.3. Ячейка по п, 1, отличающаяся тем, что торцовые крышки электрически соединены с цилиндрическим стержневым электродом и изолированы от катодного цилиндра, а стержневой электрод изолирован от анода.Источники информациипринятые во внимание при экспертизе 1. Васильев Г. А. Магниторазрядные насосы. МЭнергия, 1970, с. 41.2. Авторское свидетельство СССР152113, кл, б 01 1. 21/34, опублик. 1962.3, Авторское свидетельство СССР359561, кл. б 01 1. 21/34, опублик. 1972.4. Авторское свидетельство СССР515952, кл. 6 01 1 21/34, опублик. 1976 (прототип).едактор Н. Рогуличаказ 3335 71ВНИИП Соста Техред Тираж И Государств делам изобре оскга, Ж - 35 Патент, г, витель А. ЗахА. Бойкас758 овКорректор О. БилаПоднисноеа СССРтийб., д, 4/5Проектная, 4