Магниторазрядный насос

Союз Советских Социалистических РеспубликОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВ(23) Приоритет 1) М. 27 278/18-25 н 0141/1 о Государственный комите СССР що делам изобретений и открытий,81 Бюл описани ень Мо 53) 21. 52 088.8 8;0 2,8 1(71) Заявител 4) МАРНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСО сегобыть заину огу тоды имеют то 2-0,5 мм и не прн ремонте, изобретения и откачки и н к вакуумк средствамхвысокого пов адежнказан предлагаемый е насос. Насос которого диевые п которым присоеди 30 В областржит к оложен нчатые о раэр штабик одов в соде расп асти Кйкамтанавыпо ны ка Изобретение относитсяной технике, в частностиполучения высокого и свервакуума.По основному авт. св. М 499611 известен магниторазрядный насос, содержащий корпус и размещенные в нем ячеистый анод.и пластинчатые катоды, выполненные иэ палладия, герметично соединенные с корпусом по периметру, в котором в области, находящейся йод катодами, выполнены отверстия 1Такой насос обладает повышенной быстротой откачки водорода во всем диапазоне рабочих давлений. Однако этот насос практически не способен откачивать другие газы, так как палладий является малоактивным ме-. таллом и не вступает в химические соединения с активными газами.При откачке активных газов, а также инертных газов наблюдается сильное распыление в результате ионной бомбардировки части катода, расположенной вблизи оси разрядной ячейки. После длительной откачки в катоде образуются сквозные отверстия. Такое явление особенно опасно для указанного насоса, где палладиевые ка лщ влишь О, м тмененыЦель ышениескорост ости насоса.Поставленная цель достигаетсятем, что в известном магнитораэрядном насосе, содержащем корпус,ячеистый анод, магнитную систему ипластинчатые катоды, выполненные изпалладия и соединенные герметичнопо периметру с корпусом, на катодесоосно разрядным ячейкам анода рас положены щтабики иэ металла с болеевысокими гаэопоглотительными свойствами чем палладий, например титана. Причем диаметр штабика равен0,75-0,8 диаметра ячейки анода.20 Штабики могут, быть коническими с .конусностью, направленным в сторонуанода.809431 формула изобретения 25 4. 5 б 1 ИИПИ Заказ 444/71 Тираж 795 Подписно Филиал ППП "Патент",г.ужгород,ул.Проектная нены отверстия 5 для удаления водорода, Электродная система насосовпомещена в поле, создаваемое магнитами 6,Насос работает следующим образом.Под действием высокого напряжения, подаваемого на анод 2, в ячейках насоса возбуждается разрядПеннинга. Ионизуемые в разряде молекулы газа под действием электрического поля бомбардируют штабикигеттериого материала и распыляют его,Активные газы (азот, кислород) откачиваются путем химической сорбциипленкой геттера и путем ионного внедрения в толщу штабиков, Ионы. водорада также внедряются непосредственно в катоды 3 на участках, свободных от штабиков титана и в сами штабики в активной зоне разряда, диссоциируют там на атомы и дифундируютвнутрь металла.Дкфундирующие атомы достигаютповеркности катода, сообщающейсяс атмосферой, где взаимодействуяс кислородом воздуха, образуютпары воды, которые десорбируютсяв атмосферу. В той части катода,которая закрыта штабиками титана,атэьы водорода дифундируют сначалав титан, а затем достигнув палладия,дифундируют через него в атмосферу.Наивысшая измеренная концентрацияводорода в титане соответствуетТ 1 Н ь, что рассматривается не какхимическое соединение, а кактвердый раствор водорода в титане,Раствор Т 1-Н имеет большийобъем,чем сам титан, что приводит к образованию внутренних напряжений и трещин в местах максимальной концентрации водорода, В предлагаемомнасосе такой процесс практическиисчезает, так как водород не накапливается в титановых штабиках, аоткачивается в атмосферу. Положительный технико-экономический эффекттакого насоса выражается в увеличении скорости откачки по активным газам в 2-3 раза, повышении его надежности и ресурса в несколько раз.Повышение надежности и ресурсаобеспечивается тем, что тонкая палладиевая пластина в активной зоне разряда в ячейке Пеннинга защищена от бомбардировки тяжелыми ионами газов, Активная зона разряда в ячейке меньше внутреннего диаметра ячейки на два циклотроныых диаметра, т.е. на дре толщины цилиндрического слоя электронов вблизи стенки анода. С этой целью штабики титана выполнены равными диаметру активной зоны разряда. Диаметр штабика 5 составляет примерно 0,75-0,8 от диаметра ячейки.Выполнение штабиков коническимис конусностью в сторону ячейки позволяет улучшить проводимость газа 20 между катодом и анодоми распылтитана ионами, летящими под углом к плоскости катода. 1. Магнитораэрядный насос поавт. св. Р 499611, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения скорости откачки и надежностиЗО насоса, на катоде соосно ячейкаманода расположены штабики иэ металла с более высокими газопоглотительными свойствами, чем палладий, причем диаметр штабика равен 0,75-0,8диаметра ячейки.2. Насос по и, 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что штабики выполнены коническими с конусностью,направленной к аноду.3. Насос по и, 1 и 2, о т л и 40 ч а ю щ и й с я тем, что штабикивыполнены из титана,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССР45 Р 499611, кл, Н 01 5 9/12 (прототип),