Патенты с меткой «орбитронноготипа»

Номер патента: 805447

Опубликовано: 15.02.1981

Авторы: Иванов, Малков, Холодов

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, насос, орбитронноготипа

...в центральной части образующейся пленки будет использоваться неэффективно, поскольку5 нанесенный слой геттера, не успев на .себе связать молекулы откачиваемого газа, будет эапылен новым слоем геттера. В области высоких давлений уменьшения быстроты действия насоса компенсируют увеличением скорости испарения геттера, а от неэффективности использования геттера в центральной части пленки в некоторых случаях избавляются тем, что устанавливают над запыленной поверхностью нес- 15 колько точечных источников (1). Такое решение вопроса имеет свои недостатки. Например, изменение мощности, подводимой. к испарителю в зависимости от давления требует введение ка кой-либо следящей системы, а при использовании нескольких испарителей может нарушаться...