Магниторазрядное откачное устройство

,ЯО 114933 н 41/12 ГОСУ ПОД АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ О ЕЛЬСТВ РСНО А чеек которого изме осей ячеек, и магичто, с целью пов и скорости откачки 2,66 10- 1,33 10ода выполнена в рично расположенны диаметр яправлении щееся тем билизации давлений ячейка а осесиммет линдров. овка Па, квидех пол1112768, тип).ЯДНОЕ ОТсодержащее енными в нем тым анодом,отличающееся или ндров, обняются моно. о п. 1, полых ц иода изм и осей яч 2. Устройство п тем, что диаметры разующих ячейку а тонно в направлени 2 АРСТВЕКНЫЙ КОМИТЕТ СССР АМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54) (57) 1. МАГНИТОРАЗРКАЧНОЕ УСТРОИСТВО,герметичный корпус с размещплоскими катодами и ячеи няется в наит, отличаюышения ста- в диапазонеаждая набора ых ци 111Изобретение относится к вакуумнойтехнике, в частности к магниторазряднымоткачным устройствам, и может найтиширокое применение в напылительных установках при производстве тонкопленочныхэлементов, в металлургии при получениисверхчистых металлов, для имитации космических условий и в других установкахи технологических процессах, где необходим высокий и сверхвысокий безмасляныйвакуум.Известно магниторазрядное откачноеустройство, содержащее размещенные вмагнитном поле пл асти нчатые катоды иячеистый анод 1.В аноде этого устройства содержатсяячейки большего и меньшего диаметров,что позволяет несколько повысить быстроту откачки при давлении 10 Па, однакоустройство не обеспечивает стабилизацииоткачной характеристики в широком диапазоне давлений вследствие того, что разрядные пучки, формирующиеся в ячейкахразных диаметров, изолированы друг отдруга.Известно также магниторазрядное откачное устройство, содержащее герметичный корпус с размещенными в нем плоскими катодами и ячеистым анодом, диаметрячеек которого изменяется в направленииосей ячеек, и плоские катоды и анод, составленный из ячеек с уменьшающимсядиаметром 12.Однако известное устройство не позволяетувеличить и стабилизировать быстроту откачки в широком диапазоне давлений,так как в ячейках с трапецеидальным профилем в сечении разряд формируется лишьна расстоянии от оси ячейки, равном ееминимальному радиусу- Это объясняетсятем, что магнитное поле пересекают наклонные поверхности ячеек и электроны, образующиеся на расстоянии от оси, превышающем минимальный радиус ячейки, уходятна анод практически без столкновений ине участвуют в формировании разряда.Цель изобретения - повышение стабилизации скорости откачки в диапазоне давлений 2,66 10 - 1,33 10 э Па.Поставленная цель достигается тем, чтов магниторазрядном откачном устройстве,содержащем герметичный корпус с размещенными в нем плоскими катодами и ячеистым анодом, диаметр ячеек которого изменяется в направлении осей ячеек, и магнит,каждая ячейка анода выполнена в виденабора осесимметрично расположенных полых цилиндров,Кроме того, диаметры полых цилиндров,образующих ячейку анода, изменяются монотонно в направлении осей ячеек.49333 2На фиг. 1 показано магииторазрядное откачное устройство, разрез; на фиг. 2 - конструкция анода; на фиг, 3 - графики изменения давления для предлагаемого (кривая 1) и известного (кривая 2) устройств.Магниторазрядное откачное устройство содержит герметичный корпус 1 с размещенными в нем плоскими катодами 2 из геттерного материала и ячеистым анодом 3 с размещенными в ряды ячейками 4. Каждая ячейка содержит полые цилиндры 5 - 7 различных диаметров, образующие между собой щелевые зазоры. Крепление отдельных ступеней ячеек анода осуществляется с помощью пластин 8 точечной сваркой. Магнит не показан.Магниторазрядное откачное устройство работает следующим образом.После достижения предварительного разряжения, необходимого для запуска устройства, прикладывается высокое напряжение к катодгм 2 и аноду 3. В результате возникающего между ними тлеющего разряда, усиливаемого магнитным полем заданной напряженности, в ячейках анода происходит монообразование при любом рабочем давлении благодаря наличию в пределах каждой ячейки пространств различного объема, ограниченных поверхностями полых цилиндров и охваченных разрядными пучками.Щелевые кольцевые зазоры между цилиндрами каждой ячейки, образованные за счет разности их диаметров, дают возможность распыляющемуся с катодов геттеру осаждаться на внутренних и наружных поверхностях ступеней и связывать химически активные газы в сочетании с замуровыванием инертной составляющей, что способствует стабильной откачке газов и их смесей. Кроме того, образующиеся между ступенями соседних ячеек по горизонтали и вертикали щели обеспечивают свободный доступ газа к ячейкам анода и распространение разряда за пределы ступеней.При этом количество вырабатываемых в разряде ионов, определяющих разрядный ток, и количество распыляемого геттера увеличивается, что приводит к повышению быстроты откачки устройства и стабилизации ее в диапазоне давлений 2,66.10-- 1,33 10Па. 50 5 10 15 20 25 30 35 40 45 Сравнительные испытания предлагаемого и известного устройства показывают, что быстрота откачки предлагаемого насоса существенно выше, чем в известном, и сохраняется постоянной в диапазоне давлений 2 10 - 10торр.1149333 ХЮ 7 Ю ВНИИПИ Заказ 1909/38 Тираж 679 Подписное филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 У 4 Хб 7 ОЮ Р Г 7 4 ХЮ 7 ИЮР, гмртсю,