Магниторазрядное откачное устройство

Номер патента: 1088092

Авторы: Нойсс, Островка, Решетняк

ZIP архив

Текст

ОЮЗ СОВЕТСНИХОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 19) (И) 3 а) Н 01 3 41/12 ТЕНИЯ 6 ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ НОЮИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ИСАНИЕ И Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) 1. Левин Г.А. Основы вакуумнойтехники. И., "Энергия", 1969, с, 171,2. Авторское свидетельство СССРУ 310319, кл. Н 01 3 41/2, 1970(54)(57) 1., ИАГНИТОРАЗРЯДНОЕ ОТКАЧНОЕУСТРОЙСТВО, содержащее герметичныйкорпус с размещенными в нем пластинчатыми катодами, расположенным междуними ячеистым анодом, каждая ячейкакоторого выполнена в виде двух соосных цилиндров, смещенных один относительно другого в осевом направлении, и дополнительным электродом,электрически соединенным с катодами,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью повышения скорости откачки,ячейки анода размещены равноудаленными друг от друга рядами, вкаждом из которых соседние ячейкисоприкасаются, а дополнительныйэлектрод размещен между рядамиячеек.2, Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что дополнительный электрод выполнен в виде параллельных пластин,Ю 880923. Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что дополнительный электрод выполнен в виде полой спиралиФИзобретение относится к вакуумной технике, в частности к магниторазрядным откачным устройствам, работаю щим по принципу разряда Пеннинга, и может найти применение для откачки электронных трубок, масс-спектрометров, электронных микроскопов и других приборов, для работы которых необходим безмасляный высокий и сверхвысокий вакуум. 1 ОИзвестно магнчторазрядное откачное устройство, содержащее ячеистый анод и плоские катоды из геттерного материала 1 .Недостатком этого устройства явля 15 ется невысокая быстрота действия по активным и инертным газам, обусловленная тем, что при бомбардировке ионами катодов и распылении последних происходит обратное выделение 20 ранее внедренных и сорбированных частиц газа.Известно также магниторазрядное откачное устройство, содержащее герметичный корпус с размещенными 25 в нем пластинчатыми катодами,расположенным между ними ячеистым анодом, каждая ячейка которого выполнена из двух соосных цилиндров,сме" щенных один относительно другого в ЗО осевом направлении, и дополнительною электродом, электрически соединенным с катодами,Ячейки сочетаются с дополнительинм электродом 2 .ЬОднако в устройстве поверхность дополнительного электрода, образующая места вспомогательной откачки газов, ограничена. Увеличение при этом длины дополнительного электрода нецелесообразно, так как приводит к уменьшению размеров промежутков между катодами и элементами дополнительного электрода и, как следствие, к снижению прозрачности конструкции для газов и геттера. Кроме тси"о, в анодно-катодной структуреизвестного устройства ячейки окружены коллекторами, которые изолируютразрядные пучки ячеек и исключаютих влияние друг на друга, а следовательно, и на быстроту ионной откачки.В известном магниторазрядном устройстве площадь анода неэффективноиспользуется для откачки ввиду того,что между нужными поверхностямиколлекторов при заданных диаметраханодных ячеек образуются неактивныезоны, которые не могут служить в качестве ячеек, и разряд в них не загорается. Поскольку доля этих зон ваноде значительна, быстрота откачкис единицы площади анода устройства невысока.Цель изобретения - повышение скорости откачки газов.Поставленная цель достигаетсятем, что в магниторазрядном откачномустройстве, содержащем герметичныйкорпус с размещенными в нем пластин"чатыми катодами, расположенным мелдх,ними ячеистым анодом, каздая ячейкакоторого выполнена в виде двух соосных цилиндров, смещенных один относительно другого в осевом направлении,и дополнительно электродом, элект- .рически соединенным с катодами,ячейки анода размещены равноудаленными друг от друга рядами, в каждомиз которых соседние ячейки соприка"саются, а дополнительный электрод размещен между рядами ячеек.При этом дополнительный электродвыполнен в виКе параллельных пластин.При этом допопнительньй.электродвыполнен в вцде полой спирали.Йа фиг. изображен наиболее предпочтительный вариант магниторазрядного откачного устройства с допол.- нительным электродом в виде пластин,разрез, иа фиг.2 - продольное сечение катодно-анодного блока.088092 В результате действия скрещенных электрического и магнитного полей в ячейках возбуждается тлеющий30 разряд в виде разрядных пучков,Разрядные пучки вырабатывают электроны, которые при взаимодействии с частицами нейтрального газа ионизируют их, образуя положительные ионы. Одна часть ионов, генерируемых разрядными пучками, поступает на катоды 2, а другая притягивается пластинами 6 дополнительного электрода. Вследствие ионной бомбардировки с катода и 4 О дополнительного электрода распыляется геттер, которым покрываются поверхности анодных цилиндров 4 и пластин 6, причем к последним части 55 Магннторазрядное откачное устройство содержит герметичный корпус 1 с размещенными в нем пластинчатыми катодами 2, расположенный между ними ячеистый анод 3 в виде параллельных рядов ячеек, Ряды ячеек равноудалены друг от друга. Каждая ячейка выполнена из двух одинаковых по диаметру цилиндров 4, расположенных на некотором расстоянии друг от друга в осевом направлении. Цилиндры ячеек в рядах соприкасаются, а крайние крепятся к рамке 5, обеспечивающей жесткость конструкции.Между рядами ячеек перпендикуляр. но катодам 2 размещены пластины б дополнительного электрода, которые двумя концами крепятся к катоду 2 и находятся с ним в электрическом контакте. Как н катод, пластины б выполнены из геттерного материала.Устройство работает следующим образом.Между катодами 2 и анодом 3 прикладывается высокое электрическое .напряжение, а в осевом направлении ячеек - магнитное поле,цы геттера попадают с двух сторон че. реэ пространство между цилиндрами1вдоль каждого ряда ячеек и химически связывают на этих поверхностях нейтральные компоненты активных га" зов, и прочно замуровывают ионы газа, внедрившиеся в дополнительный электрод. В то же время распыляемый с катодов 2 геттер имеет свободный доступ и осаждается на прилегающие к катодам участки пластин 6 находящиеся вне зоны попадания ионов и не подвергающиеся практически ионной бомбардировке. С этих участков обрат 5 0 5 25 ное выделение ранее связанных там частиц газа не происходит. Вся двухсторонняя поверхность дополнительного электрода таким образом становится рабочей и эффективной в откачке активных газов, а также инертных, удаляемых только посредством ионизации. Площадь этой поверхности по сравнению с аналогичной для известного устройства увеличивается в 1,9 раз, Так как скорость поглощения газов пропорциональна площади поверх" ности, она увеличивается во столько же раз.Обладая повышенной газопроницаемостью анодно-катодного блока, предлагаемая конструкция магниторазрядного устройства обеспечивает свободное распространение поступающего газа через зазоры между частями ячеек из одной ячейки в другую, что способствует более равномерному рас- . пределению нагрузки на все анодные ячейки, В результате разрядом охваты. вается больший объем разрядного промежутка и повышается интенсивность разряда, определяющая собой быстроту откачки устройства. Размещение дополнительного электрода в промежутках между равноудаленными друг от друга рядами соприкасающихся ячеек позволяет исключить в аноде неактивные зоны и увеличить за счет этого число центрообразований разрядных пучков,обуславливающих в совокупности с процессами ионизации и геттерирования повышение быстроты откачки по сравнению с прототипом в 1,6 раза.Кроме того выполнение дополниРтельного электрода в виде полой спирали с хладагентом в ее полости спо,собствует также снижению предельногоостаточного давления вследствие увеличения сорбционной емкости спиралии уменьшения десорбции газа с ее поверхности,3Таким образом, высокая быстрота откачки устройства достигается одновременным усилением процессов ионного удаления и химического поглощения газов за счет увеличения действующейплощади анодно.-катодного элемента в сочетании с повышенной прозрачностью электродной структуры к геттеру и га зу, что определяется расположением анодных ячеек относительно дополнительного электрода и формой послед.него.1088092 ь А. ЗахаровЛегеза Корректор А. Зимокосов оставиехред ктор И, Шулла Заказ 2 б 83/50 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная,4 Тираж 683 ПВНИИПИ Государственного комитпо делам изобретений и откр 13035, Москва, Ж, Раушская н писноета СССРтийд, 4/5

Смотреть

Заявка

3543182, 21.01.1983

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3634

НОЙСС ВЛАДИМИР БОРИСОВИЧ, ОСТРОВКА СЕМЕН ДМИТРИЕВИЧ, РЕШЕТНЯК НИКОЛАЙ ПАРФЕНТЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядное, откачное

Опубликовано: 23.04.1984

Код ссылки

<a href="https://patents.su/4-1088092-magnitorazryadnoe-otkachnoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Магниторазрядное откачное устройство</a>

Похожие патенты