H01J 27/04 — с использованием отражательного разряда, например ионные источники Пеннинга

Номер патента: 1040543

Опубликовано: 07.09.1983

Авторы: Григорьян, Иванов, Кротков, Ломоносов, Обухов

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...того магнитная система может быть выполнена так, что формиру3 10405ет магнитное поле с максимумом напряженности, отстоящее от боковойстенки внутрь камеры, а дополнительные электроды установлены между боковой стенкой камеры и место".положением максимума магнитного поля.На фиг. 1 показан источник,продольный разрез; на фиг. 2 - тоже, поперечный разрез; на фиг. 3 схема ячейки пристеночной области.10Источник содержит газоразряднуюкамеру, образованную цилиндрической боковой стенкой 1, например прямоугольного сечения, задней торцовбйстенкой 2 и перфорированной переднейстенкой 3. Внутри камеры расположены термокатод 4 и анод 5, которыйодновременно может выполнять рольгазораспределителя. Ионно-оптичес"кая система установлена со стороны...

Номер патента: 986225

Опубликовано: 30.09.1983

Автор: Сулакшин

МПК: H01J 27/04

Метки: ионная, пушка

...Лаваля с полууглом раскрытия К , оси которых параллельны и образуют с направлением магнитного поля угол : 90 о+ С, при этом анодный трубопровод от точки соединения с корпусом до высоковольтного ввода имеет форму спирали.Сущность изобретения поясняется чертежом.В соленоид 1 помещен анод 2, установленный на высоковольтном вво де 3. С некоторым зазором по отношению к аноду расположен катод 4. Катод.и анод представляют собой тру. бопроводы, заканчивающиеся каналами в виде сопл Лаваля 5. Анодная и катодная труба проходят через заземленный корпус и подсоединены к сйстеме ймпульсной подачи газа 6. Анодный трубопровод на участке от точки соединения с корпусом до точки подсоединения высоковольтного ввода выполнен в виде спирали 7.Работает...

Номер патента: 988111

Опубликовано: 30.09.1983

Автор: Сулакшин

МПК: H01J 27/04

Метки: ионная, пушка

...пушка работает следующимобразом.Соленоид 1 создает продольное магнитное поле Затем срабатывает импульсный клапан 8, и газ или пар изобъема 7. выбрасываются в вакуумированный подводящий трубопровод 9, соединенный с анодом 3 в виде газораспределителя через высоковольтный ввод 4.Возможность работы пушки обеспечивается тем, что характерное время процессов газового расширения составляет десятки микросекунд так же,как и время срабатывания импульсных газовых. источников, а время срабатывания ускорителя и, соответственно, формирования пучка ионовсоставляет десятки наносекунд.Вследствие этого газ является замороженным по отношению к процессуускорения.Газ с резким скачком давления на переднем Фронте распространяется. по направлению к соплам 5....

Номер патента: 961489

Опубликовано: 30.05.1984

Авторы: Григорьян, Измайлов, Минаков, Обухов, Перцев

МПК: H01J 27/04

Метки: ионно-лучевая

...и замедляю 45 щий электроды, систему подачи рабочего г газа, включающую устройства подачи . газа в полый катод и в коллектор источника, систему электропитания источника, состоящую из источника разрядного напряжения и источников питания экранного, ускоряющего электродов и электромагнита, а также систему регу" лирования ионного. тока, включающую задатчик, датчик ионного тока и устро;,= ство, вырабатывающее управляющее воз-Ф действие, устройство, вырабатывающее управляющее воздействие соединено с источником питания электромагнита,ев 89 4устройство подачи рабочего газа в полый катод источника введен регуляторрасхода, а в установку введена система поддержания напряжения разряда, включающая задатчик, датчик напряжения разряда и...

Номер патента: 1145383

Опубликовано: 15.03.1985

Авторы: Трофимов, Чутко

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...магнитногополя, газоразрядная камера и контрагирующая диафрагма выполнены из диэлектрического материала, а анод -в виде полого тора с отверстиями в 5 10 15 20 25 30 35 40 50 55 стенке, оси которых направлены навстречу друг к другу, при этом полость соединена с системой подачи рабочего газа.Кроме того, магнитная система может ать выполнена из основного соленоида, установленного на газоразрядной камере, и дополнительного соленоида меньшего, чем основной, установленного за анодом.На чертеже схематически показан источник ионов.Ионный источник .содержит газо- разрядную камеру 1, в которой установлены плоский катод 2 с эмиссионным отверстием 3, диэлектрическую контрагирующую диафрагму 4, анод 5,. выполненный в .виде полого тора...

Номер патента: 849920

Опубликовано: 15.12.1985

Автор: Ковальский

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...в зоне компенсации пространственного заряда пучка и, следова" тельно, пучок, достигнув минимального поперечного размера, начнет вновь расширяться. Таким образом, в известном источнике ионов можно получить лишь локальное повышение плотности тока. Целью изобретения является повышение плотности ионного тока пуч Эта цель достигается тем, что в источнике ионов, содержащем газоразрядную камеру, включающую термокатод, анод, экранный электрод с экстрагирующим отверстием, средство созданиямагнитного поля в камере и систему ускорения осесимметричного пучкаионов, газоразрядная камера выполненав виде тора прямоугольного сечения, ось симметрии которого совпадает с осью симметрии пучка ионов, экранный электрод совмещен с внутреннейстенкой...

Номер патента: 854197

Опубликовано: 07.01.1986

Авторы: Бельченко, Деревянкин, Дудников

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник, отрицательных

...Источник работает следующим образом. В газоразрядную ячейку по каналу 6 в катоде или аналогичному каналу в аноде подается газообразное рабочее вещество, а из кон.тейнера 7 - пары цезия. Между катодом 3 и корпусом газоразрядной камеры 1 прикладывается напряжение, поджигающее и поддерживающее разряд.,При достаточно малых зазорах (О, 5-1 мм) между катодом и анодом разряд локализуется в полуцилиндрической канавке 5 примыкающей к эмиссионной щели 2,При глубине канавки 2 мм сильноточный тлеющий разряд, генерирующий отрицательные ионы, зажигается и без магнитного поля, но без магнитного поля вместе с отрицательными ионами извлекается интенсивный поток сопутствующих электронов, который формируется в пучок. В этом режиме из источника можно...

Номер патента: 1218424

Опубликовано: 15.03.1986

Автор: Маков

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...Техред З,Палий Корректор Т.Колб Ф Заказ 1134/58 Тираж 644 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, 3-35, Раушская наб., д.4/5Филиал ППП "Патент", г.Ужгород, ул.Проектная,4 Изобретение относится к газоразрядным источникам ионов.Целью изобретения является снижение удельных энергетических затг рат.На чертеже схематически представлвна разрядная камера источника ионов, поперечный разрез;Устройство содержит анод 1 источника, периферийные, магниты 2, магнитопровод 3, дополнительные аноды 4, края которых размещены вдоль- середин магнитных полюсов, Допол,нительные аноды изолированыот анода, электрически соединены вместе и имеют вывод, с помощью,которого . на них подается смешение 611 по...

Номер патента: 908193

Опубликовано: 23.05.1986

Авторы: Гаврилов, Журавлев, Захаров, Никитинский, Шокотько

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...до полнительно содержит цилиндрическуючасть, при этом площадь внутреннейповерхности цилиндрической части ускоряющего электрода не менее чемна порядок превышает площадь попе О речного сечения ионного пучка.Цилиндрическая часть может бытьснабжена диафрагмой.На чертеже изображен предлагаемыйисточник ионов15 Источник содержит разрядную камеру 1 с эмиссионным электродом 2, ускоряющий электрод 3, кольцевой замедляющий электрод 4, источник 5 электрического питания, изоляторы 6 и 7, 20 Ускоряющий электрод 3 состоит изперфорированной части 8, цилиндри-,ческой части 9 и диафрагмы 10.Источник работает следующим обра-зом, В разрядной камере источниказа счет ионизации атомов рабочего газа электронным ударом генерируетсяплазма любым известным...

Номер патента: 1187623

Опубликовано: 07.02.1987

Автор: Манагадзе

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...2. За экраном 5 ионы попадают в тормозящее поле, созданное электродом 4, Потенциал на электроде 6 определяет конечную энергию иона,45Рассмотрим работу устройства напримере газообразной мишени, которая с помощью системы подачи рабочего ве щества заполняет область между анодом1 и электродом-коллектором 3. Так как 50 ,1 к,7 Йз то цилиндрический пучокэлектронов 11 будет иметь максимальную плотность на оси источника, которая будет спадать от центра к периферии пучка, образуя потенциальную яму для ионов. Плотность пучка электронов 11 на оси в этой конфигурации будет мало меняться на пути от электрода-коллектора к катоду. Образованные 23 2внутри пучка электронов 11 ионы 10 полем пространственного заряда будут "засасываться" к оси пучка...

Номер патента: 818366

Опубликовано: 23.08.1987

Авторы: Виноградов, Карев, Обухов

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...полюс которого соединен с катодом, а положительный - с анодом, а также дополнительный источник питания, отрицательный полюс которого соединен с анодом.В известном источнике постоянные магниты введены внутрь газоразрядной камеры и электрически соединены . с боковой стенкой камеры, находящейся под потенциалом катода. Кроме того в. разряд, кроме основного анода, введены еще дополнительные (пристеночные) аноды, установленные в промежутках между полюсами магнитов. Положительный полюс дополнительного источника соединен с указанными пристеночными анодами. Таким образом, кро" ме основного разряда в пристеночной области газоразрядной камеры осуществляется несамостоятельный разряд в скрещенных Е х В полях.45 Цель эта достигается тем,...

Номер патента: 1233714

Опубликовано: 15.05.1988

Автор: Нижегородцев

МПК: H01J 27/04

Метки: дуоплазматрона, ионов, источник

...Техред М.Ходащгч Корректор В Синицкая Заказ 3384 Тираж 746 Подияс ноеВНИИПИ Государственна; з коюяте а СССРпо делам изобретенийоткрытий313835, Москва, Ж, Раудская наб., д,4/5 Производственно-полигранческое прприятие, г.Ужгород, ул.Проектная,4 Изобретение относится к ускорительной технике и может быть использовано при разработке источников ионов для ускорителей. Целью изобретения является ионышение яркости и стабильности пучка ионов.На чертеже изображен источник ионов. Источник ионов типа дуоплазмотрона содержитразрядную камеру 1 с анодным блоком 2, экспандер 3 с эмиссионной сеткой 4 на выходе, а также вытягивающий электрод 5. В экспаидере 3 установлен блок сеток, образованный корпусом б иэ диэлектрического материала, в котором...

Номер патента: 1517075

Опубликовано: 23.10.1989

Авторы: Лаврентьев, Саппа

МПК: H01J 27/04

Метки: импульсный, ионов, источник, отрицательных

...образом.После достцжец(е вакуума вкзэддо. нагрев цстсдцддтт.(д 1 электронов ст цс - точнцка 4 электропитания. Иа усксртю щий электрод цтпульспс подают положительный пстсдцдцзэт -100-250 В относительно цстсдцдка 1 элед:тронов, Одновременно ца стражатет(ьный элект РоД 3 поДают цмпУлтснс ОТРцддателддттый потенциал, 1 эавный пс абссттютд 01 тзелцчине потецццалу ца электроде 2. Змдттируемые исто цдцксм 1 электронов электроны ускоряются в область между 45 электродамц 2 и 3. Благодаря цилиндрической форме электрода 2 тр(дектсрцц электронов пересскадэд ось О устройства, тормсзятсл в поле электро" да 3, отражадотст и, прод,л сквозь 50 электрод 2 прозрачностью Е, Вновь ускоряются в поле электрода 2.Велцчцца циркулирующего в рабочей области...

Номер патента: 1520608

Опубликовано: 07.11.1989

Авторы: Лаврентьев, Саппа

МПК: H01J 27/04, H01J 29/46

Метки: ионов, источник

...газоразрядная плазма. Ионы, попадающие в щели, образованные проводниками 8 эмис" сионного электрода 3, ускоряются в конно-оптической системе и образуют 40 . ионный ток. Пропускание тока от дополнительного источника 7 электропитания по проводникам приводит к образованию в щелях эмиссионного электрода знакопеременного от щели к ще- .ли магнитного поля. В этой магнитной системе существуют магнитные щели, через которые ионы могут проходить в ускоряющий зазор, При подачена эмиссионный электрод положительного потенциала относительно анодаот источника 6 электропитания ионыотражаются от проводников 8 внутрьразрядной камеры. Электронный ток наэмиссионный электрод мал иэ-за того,что электроны замагничены.Таким образом, в предложенном...

Номер патента: 1225420

Опубликовано: 07.12.1989

Авторы: Донец, Ширков

МПК: H01J 27/04

Метки: высокозарядных, ионов

...способом в такой пучоквводят определенное количество низкозарядных ионов ксенона и удерживаютих в потенциальной ловушке, образуемой в радиальном направлении простран.ственным зарядом электронного пучка,создающего радиальный потенциальныйбарьер ЬЧ, а в аксиальном прикладывают потенциальныЕ барьеры аЧ наоконечных участках пучка. В процессеудержания за счет ионизации электро.ным ударом ИОны ксеноца становятсямногозарядцыми. Для того, чтобы полнос ьюлинцих электронной оболочкч т,е пол 7гить ядра Хе , необходимо удержание в пучке оптимальной энергии1,"80 кэВ) и плотности, например,10 з А/смг в течение 10 с,В процессе удержания за счет кулоновских столкновений с электронами,а также возможных других причин,происходит нагрев...

Номер патента: 1097120

Опубликовано: 15.08.1990

Автор: Наталочка

МПК: C23C 14/00, H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...достигается тем, что визвестном источнике ионов преимущественно для обработки изделий в вакууме, содержащем магнитную систему тороидальной формы с кольцевым межполюсньй зазором, анод, расположенный внут-Ори магнитной системы эквидистантномежполюсному зазору, катод и источник питания разряда, с одной сторонымагнитной системы установлен плоскийгазораспределитель, а с противоположной - катод кольцевой формы, межполюс.ный зазор магнитной системы обращенвнутрь полости, образованной магнитной системой, газораспределителем икатодом, при этом газораспределител 1 20и катод электрически изолированы отмагнитной системы, кроме мого, имеется по крайнеи мере один дополнительный источник питания разряда.25На фиг,1 показан предлагаемый источник,...

Номер патента: 1718297

Опубликовано: 07.03.1992

Автор: Метел

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...мультипольное магнитное поле у стенок камеры, устройством подачи ионообразующего газа и источником питания разряда (не показаны), а также изоляционную раму 5 между выходным электродом 2 и фланцем 6 с уплотнением 7, с помощью которого источник ионов герметично соединяется либо с высоковольтным электродом ускорительной трубки 8 ионного ускорителя, либо с нейтрализатором технологической установки (не показан). Элементы сетки 9 через выводы 10, резисторы 11 и фланец 6 соединены с отрицательным полюсом источника 12 ускоряющего напряжения, положительный полюс которого соединен с выходным электродом 2 разрядной камеры 1.Источник работает следующим образом.-д -зПри давлении остаточного газа 10 - 10 Па включением источника канала...

Номер патента: 1625257

Опубликовано: 07.04.1992

Авторы: Кондратьев, Петренко, Турчин

МПК: H01J 27/04, H01J 27/10

Метки: импульсный, ионов, источник

...1 О питания высоковольтное отрицательное напряжение; на боковые стенки разрядной15камеры 1 подается импульс высоковольтного напряжения положительной полярности с источника 2 питания. При этом заслонка электромагцитцого клапана 6 открывает отверстие 5 эмиссиина время, необходимое для выпуска ионов. 11 од действием разности потенциалов, возникающей между электрически изолированными от корпуса источника и друг от друга катодом 9 и боковыми стенками разрядной камеры 1, возникает процесс автоэлектронной эмисии с острых кромок катода 9.Этотпроцесс инициирует развитие газовогоразряда, Первичные электроны с катода и образованные ими в результате иоцизации рабочего газа медленные электроны, попадая в поле с высокой разностью электрических...

Номер патента: 2001463

Опубликовано: 15.10.1993

Авторы: Бугаев, Николаев, Окс, Щанин, Юшков

МПК: H01J 27/04, H01J 27/22

Метки: газа, генерации, двухкомпонентного, ионном, ионов, источнике, металла, потока

...и нейтральных частиц рабочего газа приводит к эффективной регенерации в области контрагирования и анодной части разряда газовых ионов. При повышении концентрации плазмы за счет увеличения тока контрагированного разряда и напряжения между электродом 3 и плазмой на выходе отверстия на металлическом электроде 3 под плазмой контрагированного разряда, в месте ее наибольшей концентрации (вблизи отверстия), возбуждается катодное пятно, ток которого поддерживается источником питания 8, Существование катодного пята обеспечивает поступление в анодную область металлических ионов. Как показали испытания, контрагированнный разряд не только способствует возбуждению катодного пятна, но и оказывает стабилизирующее влияние на горение вакуумной дуги....

Номер патента: 1762678

Опубликовано: 15.05.1994

Авторы: Маков, Ярцев

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий разрядную камеру с отверстием для извлечения ионов в форме щели, катод прямого накала, подключенный к источнику электропитания и электрод-отражатель, расположенные у противоположных торцов разрядной камеры, магнитную систему, систему извлечения ионов, систему подачи рабочего вещества в разрядную камеру и источник разрядного напряжения, положительный полюс которого подключен к разрядной камере, а отрицательный - к катоду и электроду-отражателю, при этом силовые линии магнитного поля внутри разрядной камеры параллельны продольной оси симметрии щели для извлечения ионов и пересекают поверхности катода и электрода-отражателя, отличающийся тем, что, с целью повышения ресурса и газовой экономичности источника ионов,...

Номер патента: 1245152

Опубликовано: 09.02.1995

Авторы: Никитинский, Стогний, Ткаченко

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ по авт.св. N 908193, отличающийся тем, что, с целью снижения энергозатрат на нейтрализацию путем уменьшения доли ионного пучка, выпадающего на ускоряющий электрод, на выходе ускоряющего электрода установлены магнитная система броневого типа, охватывающая ускоряющий электрод, полюса которой расположены по высоте ускоряющего электрода, и ферромагнитный цилиндр, установленный соосно с ускоряющим электродом, при этом расстояние l между полюсами магнитной системы, высота h и радиус r цилиндра и радиус R ускоряющего электрода связаны соотношениями:l 0,5R;h = l;r = 0,5R.

Номер патента: 1210607

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Герловин, Журавлев, Никитинский, Фурман, Ярмолюк

МПК: H01J 27/04, H01J 37/08

Метки: ионно-лучевой

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ, содержащее источник ионов, образованный газоразрядной камерой, профилированными эмиссионным и ускоряющим электродами, установленными с постоянным зазором между их рабочими поверхностями, в которых выполнены соосные отверстия равного диаметра, а также подложкодержатель плоских обрабатываемых деталей, при этом источник ионов установлен под углом к поверхности подложкодержателя, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности обработки деталей с линейными размерами, превышающими характерный линейный размер пучка ионов, форма рабочих поверхностей эмиссионного и ускоряющего электрода удовлетворяет условию

Номер патента: 1766201

Опубликовано: 27.03.1995

Авторы: Горлатов, Журавлев, Никитинский, Прилепский

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий соосно расположенные анод с отверстием для подачи рабочего газа, полый катод и ионно-оптическую систему, при этом в торцевой стенке катода, обращенной к аноду, выполнено контрагирующее отверстие, а в противоположной торцевой стенке, обращенной к извлекающему электроду ионно-оптической системы, выполнено по крайней мере одно эмиссионное отверстие, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности распределения плотности ионного тока при формировании ленточного пучка и увеличения ресурса, источник ионов дополнительно содержит магнитную систему с двумя парами полюсных наконечников, симметрично расположенных в полости катода на противоположных краях контрагирующего отверстия, выполненного в форме прямоугольной...

Номер патента: 1745080

Опубликовано: 27.03.1995

Авторы: Богатырев, Журавлев, Потемкин

МПК: H01J 27/04, H01J 27/22

Метки: ионов, источник, металлов, паров

1. ИСТОЧНИК ИОНОВ ПАРОВ МЕТАЛЛОВ, содержащий холодный полый катод в виде цилиндрического стакана с осевым отверстием в дне, анод, выполненный в форме полого цилиндрического стакана, обращенный своим основанием к днищу катода, в котором выполнено отверстие, соосное с осевым катодным отверстием, и диаметром, большим диаметра катодного отверстия, стержень с наконечником из ионообразующего металла, установленный со стороны анода вдоль оси симметрии источника, электромагнитную катушку и многоапертурную ионно-оптическую систему, отличающийся тем, что, с целью повышения концентрации ионов металла в потоке ионов и ресурса источника ионов, стержень с наконечником установлен на расстоянии l = (1 - 3) d от дна катода, где d - диаметр катодного...

Номер патента: 1144548

Опубликовано: 19.06.1995

Авторы: Зыков, Качанов, Фареник, Юнаков

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ с холодным катодом, содержащий газоразрядную камеру с расположенными в ней цилиндрическим анодом, торцевым катодом и перфорированным катодом, магнитную систему и систему формирования ионного пучка, отличающийся тем, что, с целью регулирования распределения плотности ионного тока пучка по его сечению, в газоразрядной камере со стороны торцевого катода соосно аноду установлен цилиндрический электрод с возможностью его продольного перемещения и введены средства независимого поддержания на нем электрического потенциала по отношению в аноду и катодам газоразрядной камеры.

Номер патента: 1725687

Опубликовано: 20.08.1995

Автор: Манагадзе

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий расположенные соосно и последовательно в вакуумной камере катодный узел с осевым отверстием, кольцеобразный анод, коллектор электронов, систему извлечения ионов, источник электропитания, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности извлечения ионов за счет повышения выхода вторичных ионов и нейтральных атомов из мишени и ионизации нейтральных атомов, источник ионов снабжен дополнительным кольцеобразным анодом, расположенным соосно катодному узлу со стороны, противоположной поверхности катодного узла, обращенной к основному аноду, и подключенным к дополнительному источнику электропитания, и мишенью, расположенной за дополнительным анодом, соосно ему, при этом катодный узел выполнен в виде двух соосно...

Номер патента: 1829745

Опубликовано: 10.02.1996

Автор: Пигаров

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...система состоит из двух идентичных блоков 1, создающих магнитное поле одного направления, каждый из которых имеет по два плоских ферритовых магнита 2 размером 60 х 100 х 18 мм, намагниченных вдоль малой стороны, устанавливаемых против катода 8 и анода 9 и связанных наружным магнитопроводом 3, который охватывает камеру ионизации 5 по периферии, При этом каждый блок выполнен с воэможностью перемещения параллельно направлению распространения извлекаемого ионного пучка относительно другого блока и относительно стенки камеры с отверстием для экстракции ионов, причем блоки установлены на охлаждаемых кронштейнах 20, закрепленных на посадочном 15 фланце источника. Ионный источник работает следующим образом. При среднем положении магнита...

Номер патента: 1769630

Опубликовано: 27.02.1996

Авторы: Гапоненко, Лизин, Никитинский

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

1. ИСТОЧНИК ИОНОВ по авт. св. N 1402185, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы и электрической экономичности, к торцу стержня прикреплен основанием конус с углом при вершине 90o из материала с высоким коэффициентом вторичной эмиссии, при этом диаметр основания конуса равен диаметру стержня.2. Источник по п. 1, отличающийся тем, что конус прикреплен к торцу стержня через тепловой затвор.

Номер патента: 1269688

Опубликовано: 27.03.1996

Авторы: Москалев, Родевич

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ с продольным магнитным полем, содержащий разрядную камеру с установленными в ней катодом, анодом, тиглем и паропроводом, выход которого расположен вблизи катода, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, на выходе паропровода установлена пластина из теплопроводящего тугоплавкого материала, электрически соединенная с катодом.

Номер патента: 1598757

Опубликовано: 27.07.1996

Автор: Чесноков

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник, широкоапертурный

Широкоапертурный источник ионов, содержащий основную разрядную камеру, образованную полым электродом-экспандером и эмиссионными сетчатым электродом, вспомогательную разрядную камеру с магнитной системой и коаксиально размещенными анодом и катодом, установленную соосно основной разрядной камере и соединенную с ней через входное отверстие, систему извлечения ионного пучка с источником электропитания, положительный полюс которого соединен с электродом-экспандером, источник электропитания вспомогательного разряда и источник электропитания основного разряда, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности извлечения потока ионов и увеличения ресурса за счет снижения величины разрядного тока, отрицательный полюс источника электропитания...