H01J 27/04 — с использованием отражательного разряда, например ионные источники Пеннинга
Источник ионов металлов
Номер патента: 1588196
Опубликовано: 27.04.1998
Авторы: Носков, Орликов, Толопа
МПК: H01J 27/04
Метки: ионов, источник, металлов
Источник ионов металлов, содержащий цилиндрический анод, коаксиально которому последовательно установлены стержневой катод, цилиндрические изолятор и поджигающий электрод, торцы которых расположены в одной плоскости, ускоряющий электрод и импульсные источники разрядного и ускоряющего напряжений, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и эффективности извлечения ионного тока, на внешней поверхности поджигающего электрода установлено профилированное сверхзвуковое сопло из диэлектрического материала, критическое сечение которого размещено в торцовой плоскости катода и поджигающего электрода.
Источник ионов металлов
Номер патента: 1816154
Опубликовано: 27.11.2000
Авторы: Брюхов, Венедиктов, Зюзин, Филин
МПК: H01J 27/04, H01J 27/22
Метки: ионов, источник, металлов
1. Источник ионов металлов, содержащий торообразную газоразрядную камеру с анодом в форме кольца, полым катодом, образованным двумя кольцеобразными поверхностями, и эмиссионным отверстием в форме кольцевой щели, постоянные магниты с полюсными наконечниками, размещенные в оболочках из немагнитного материала, полюса которых расположены таким образом, чтобы вектор индукции магнитного поля был перпендикулярен направлению извлечения ионов из газоразрядной камеры, распыляемый электрод-экстрактор, выполненный в форме центрального тела профилированного осесимметричного кольцевого сопла с выпуклой поверхностью, плавно переходящей вдоль оси симметрии в вогнутую, а затем в коническую поверхность, и...