Наталочка

Номер патента: 1144417

Опубликовано: 23.11.1990

Автор: Наталочка

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме

...за счет уменьшения загрязнения поддожек про; дуктами распыления оснастки устройства и повьппение производительности за счет интенсиФикации разряда. Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для обработки изделий в вакууме, содержащем магнитную области скрещенных электрическом меж 25редствепно в разрядную камеру и в раз 30 систему, выполненную в виде коакси- ально расположенных магнитов и полюсных наконечников, размещенную между магнитами тороидальную разрядную камеру с анодом и газовым коллектором, катод, установленный за тороидальной, камерой со стороны выходных отверстий газового коллектора, и систему электропитания, одноименные полюса магнитов ориентированы в одну сторону, полюсные наконечники размещены на...

Номер патента: 1097120

Опубликовано: 15.08.1990

Автор: Наталочка

МПК: C23C 14/00, H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...достигается тем, что визвестном источнике ионов преимущественно для обработки изделий в вакууме, содержащем магнитную систему тороидальной формы с кольцевым межполюсньй зазором, анод, расположенный внут-Ори магнитной системы эквидистантномежполюсному зазору, катод и источник питания разряда, с одной сторонымагнитной системы установлен плоскийгазораспределитель, а с противоположной - катод кольцевой формы, межполюс.ный зазор магнитной системы обращенвнутрь полости, образованной магнитной системой, газораспределителем икатодом, при этом газораспределител 1 20и катод электрически изолированы отмагнитной системы, кроме мого, имеется по крайнеи мере один дополнительный источник питания разряда.25На фиг,1 показан предлагаемый источник,...