Источник ионов

Номер патента: 1245152

Формула

ИСТОЧНИК ИОНОВ по авт.св. N 908193, отличающийся тем, что, с целью снижения энергозатрат на нейтрализацию путем уменьшения доли ионного пучка, выпадающего на ускоряющий электрод, на выходе ускоряющего электрода установлены магнитная система броневого типа, охватывающая ускоряющий электрод, полюса которой расположены по высоте ускоряющего электрода, и ферромагнитный цилиндр, установленный соосно с ускоряющим электродом, при этом расстояние l между полюсами магнитной системы, высота h и радиус r цилиндра и радиус R ускоряющего электрода связаны соотношениями:
l 0,5R;
h = l;
r = 0,5R.

Описание

Изобретение относится к устройствам для получения нейтрализованных пучков ионов различных газов, включая химически активные, и может быть использовано для различных технологических операций в вакууме.
Целью изобретения является снижение энергозатрат на нейтрализацию путем уменьшения доли ионного пучка, выпадающего на ускоряющий электрод.
На чертеже изображен предлагаемый источник ионов.
Источник ионов содержит разрядную камеру 1 с эмиссионным электродом 2, ускоряющий электрод 3, кольцевой замедляющий электрод 4, источник электрического питания 5, изоляторы 6 и 7. Ускоряющий электрод 3 содержит перфорированную 8 и цилиндрическую 9 части. На выходе цилиндрической части 9 расположена магнитная система 10 броневого типа с продольно установленными полюсами и ферромагнитный цилиндр 11, который крепится стержнем 12 к цилиндрической части 9.
Источник работает следующим образом.
В разрядной камере источника генерируется пучок ионов, который пронизывает полость цилиндрической части 9 ускоряющего электрода и через замедляющий электрод 4 выходит в вакуум. Вторичные электроны, выбитые ионами с внутренней поверхности цилиндрической части 9 ускоряющего электрода 3, ускоряются пристеночным полем до энергии U и осциллируют в полости, ионизируя атомы рабочего газа. Величина пристеночного поля равна напряжению, приложенному между ускоряющим и замедляющим электродами и составляет 100-200 В.
Высокий коэффициент размножения ионизирующих электронов в полости цилиндрической части обеспечивается наличием радиального магнитного поля индукцией В

3,4 И^1/2 (0,5 l)^-1/2 10^-6 Тл между стенками ускоряющего электрода 3 и цилиндром 11, созданного магнитной системой 10, которое отражает эти электроны обратно в полость, увеличивая число их осцилляций в полости.
Через внутреннюю область ферромагнитного цилиндра 11 электроны выходят в вакуум, нейтрализуя пучок ионов.
Увеличение расстояния 1 между полюсами выше 0,5 R нецелесообразно, так как при этом магнитная индукция на оси становится больше, чем у полюсов, что затрудняет экранировку приосевой области магнитного поля, кроме того, при неизменной высоте ускоряющего электрода h это приводит к уменьшению его боковой поверхности, отражающей электроны. Увеличение радиуса ферромагнитного цилиндра r приведет к росту потерь быстрых электронов через его внутреннюю область, а уменьшение радиуса - к нарушению радиальности магнитного поля и уменьшению площади выхода в вакуум нейтрализующих электронов.

Рисунки

Заявка

3817358/25, 27.11.1984

Рубежанский филиал Луганского машиностроительного института

Никитинский В. А, Стогний А. И, Ткаченко А. Б

МПК / Метки

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

Опубликовано: 09.02.1995

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1245152-istochnik-ionov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Источник ионов</a>

Похожие патенты

Смесь для изготовления синтерированных электродов для газоразрядных источников света

Номер патента: 694918

Опубликовано: 30.10.1979

Авторы: Бутаева, Решенов, Рыбалов

МПК: H01J 61/06

Метки: газоразрядных, источников, света, синтерированных, смесь, электродов

...изобретения Составитель В. Горчанова Техред Н, Строганова Корректор 3. Тарасова Редактор В. Левятов Заказ 2657/5 Изд. ЛЪ 650 Тираж 923 ПодписноеИГ 10 Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4,5 Типография, пр. Сапунова, 2 Та и обеспечивают высокоэффективные рабочие параметры, но Та дефицитный и дорогой элемент, Прп использовании болеедешевых и менее дефицитных тугоплавкихметаллов 1 Ч, Мо, Т 1 возникает необходимость повышения концентрации активирующего вещества (более 50 %), так как только при этих условиях происходит возникновение экзотермической реакции. Пористостьтаких электродов по сравнению с электродами на основе Та увеличивается в 1,5 -2 раза, что вызывает...

Способ изготовления положительного электрода щелочного химического источника тока и положительный электрод, изготовленный в соответствии с этим способом

Номер патента: 584368

Опубликовано: 15.12.1977

Авторы: Андреева, Буркат, Воробьева, Вячеславов, Зибрина, Легкий, Никольский

МПК: H01M 4/34

Метки: изготовленный, источника, положительного, положительный, соответствии, способом, химического, щелочного, электрод, электрода, этим

...серебро в количестве 5,2 г растворяют в 150 мл дистиллированной воды. Отдельно готовят 150 мл раствора цианистого калия, содержащего 4 г вещества, При сливании растворов образуется цианистый комплекс серебра КАд(СИ) 2. Содержание свободного цианида должно быть минимальным (не более 0,5 г/л).Для приготовления пирофосфатного комплекса никеля, пирофосфат калия в количестве 15,5 г растворяют в 200 мл дистиллированной воды при температуре 40. Небольшими порциями при перемешивании добавляют сер584368 Составитель Ю. Драгомирова Техред И. Михайлова Корректор Л Денискина Редактор Л. Баглай Подписное Заказ 3197/13 Изд,958 Тираж 995 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва,...

Способ изготовления цинкового электрода щелочного химического источника тока и цинковый электрод, изготовленный в соответствии с этим способом

Номер патента: 672675

Опубликовано: 05.07.1979

Авторы: Граусман, Зеликман, Исянова, Казакевич, Каменецкая, Кноп, Коваль, Никольский, Черноглазов, Шильников, Яблокова

МПК: H01M 4/29

Метки: изготовленный, источника, соответствии, способом, химического, цинкового, цинковый, щелочного, электрод, электрода, этим

...ППП 1 Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 3ложеио в способе изготовления цинкового элект.рода металлическую подложку после нанесенияиа иее покрытия подпрессовывать при давлении55 - 65 кгс/смэ, а в конструкции цинкового электрода отношение масс активного материала и цин.кового покрытия сделать равным 1 - 8.Предварительную подпрессовку порложки производят для того, чтобы последняя плотно прилегала ко дну пресс-формы и.не имела возможности поступательного движения. При давлении мень оше 55 кгс/см подложка не закрепляется в пресс,форме, что приводит к ненормальному. разравни.ванЙ по 1 ошка и вследствие это к осыпаниюактивного материала электрода. При давлешщбольше 65 кгс/см сильно искажается рельеф цин. 1кового покрытия решетки, что...

Устройство для сборки химических источников тока цилиндрической формы

Номер патента: 675490

Опубликовано: 25.07.1979

Автор: Белышев

МПК: H01M 6/00

Метки: источников, сборки, формы, химических, цилиндрической

...3 по направляющей 17,создавая постоянный подпор и, темсамым, обеспечивая подачу отрицательных электродов 3 в каждое гнездоротора-питателя 12, где выполняется 35калибровка и развальцовка верхнейкромки электродов 3 пуансонами 18.Пуансоны 18 находятся в направляющих 19, соединенных с центральным валом 20 ротора 12 и через ролик 21с копиром 22 Рабочие инструменты 10размещены в направляющих 23 в одинряд, с постоянным шагом, равным шагугнезд 2 гребенки 1, и имеют четноеколичество, а линия их симйетрийсовпадает с линией симметрии гребенки1. Возвратно-поступательное движениерабочих инструментов 10 для вйпол.- нения технологической операции обЕспечивается механическим. приводом (см.Фиг. 7) .50шаговый транспортер 24 (см. Фиг.1)приводится...

Конструкция направляющей заборной части цилиндрических стержней, вводимых в точно обработанные отверстия

Номер патента: 81520

Опубликовано: 01.01.1949

Автор: Геець

МПК: B23B 29/02

Метки: вводимых, заборной, конструкция, направляющей, обработанные, отверстия, стержней, точно, цилиндрических, части

...5 и выполнешяую В Виде узкого цилиндрического пояска с фиской 1, Отделенного От стержня 1 промежуточной выточкой 5 сплавным переходом к полном сечению этого стержня.Длина заборной части (ширина пояска), равная С, должна быгь столь малой величиной, чтобы при наличии зазора Л 5 при любом перекосе оси стержня 1 относительно оси отверстия детали 3, не произошло81520ЗаклиниВанил. Такая констр) кциЯ 3200 рной части аналОГична шарообразной форме, це дающей заклшиваШя.Это условие выполнимо, если дли а заборной части, равцал С, яв- Л Я ЕТ С Я Г Р 2 Н Ь Ю ГМ Н 0 ГО Г Р 3111 и К 1, В И С 2 1 Ц 0 Г 0 Б 0 К) У)К Н С СТ Ь С Д И 2Е Т Р О Х, равным диаметру огверсгл, ".ргчсм Вели Ица этой грани определяется из треугольника ОЛВ:------ 5=-ОЛБ - ьуЕсли...

Предыдущий патент: Способ определения скорости изменения давления в емкости при контроле герметичности

Следующий патент: Способ изготовления кольцевых заготовок из жаропрочных сплавов

Случайный патент: Картер двигателя внутреннего сгорания

В верх страницы