Патенты с меткой «ионно-лучевая»

Номер патента: 961489

Опубликовано: 30.05.1984

Авторы: Григорьян, Измайлов, Минаков, Обухов, Перцев

МПК: H01J 27/04

Метки: ионно-лучевая

...и замедляю 45 щий электроды, систему подачи рабочего г газа, включающую устройства подачи . газа в полый катод и в коллектор источника, систему электропитания источника, состоящую из источника разрядного напряжения и источников питания экранного, ускоряющего электродов и электромагнита, а также систему регу" лирования ионного. тока, включающую задатчик, датчик ионного тока и устро;,= ство, вырабатывающее управляющее воз-Ф действие, устройство, вырабатывающее управляющее воздействие соединено с источником питания электромагнита,ев 89 4устройство подачи рабочего газа в полый катод источника введен регуляторрасхода, а в установку введена система поддержания напряжения разряда, включающая задатчик, датчик напряжения разряда и...