Пигаров
Источник ионов
Номер патента: 1829745
Опубликовано: 10.02.1996
Автор: Пигаров
МПК: H01J 27/04
...система состоит из двух идентичных блоков 1, создающих магнитное поле одного направления, каждый из которых имеет по два плоских ферритовых магнита 2 размером 60 х 100 х 18 мм, намагниченных вдоль малой стороны, устанавливаемых против катода 8 и анода 9 и связанных наружным магнитопроводом 3, который охватывает камеру ионизации 5 по периферии, При этом каждый блок выполнен с воэможностью перемещения параллельно направлению распространения извлекаемого ионного пучка относительно другого блока и относительно стенки камеры с отверстием для экстракции ионов, причем блоки установлены на охлаждаемых кронштейнах 20, закрепленных на посадочном 15 фланце источника. Ионный источник работает следующим образом. При среднем положении магнита...