Источник ионов

)5 Н 0127/О И НИЕ ИЗОБРЕТЕОУУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ИСА К АВТааеЪ г.1 ГОСУДАР СТВЕ ННЫ И КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТПРИ ГКНТ СССР(71) Истринский филиал Всесоюзного электротехнического института им. В.И,Ленина (72) А.С,Метель(56) Столний А,И. и др. Исследования эмиссии ионов из самостоятельного разряда низкого давления без магнитного поля, / В кнИ-Я Всес. симп. по сильноточнойэлектронике. Тех, докл. - Томск; ИСЭ СО АН СССР, 1986, ч,1, с,52 - 54,Коет С.й. ет а. ВЛстогпд о 1 йе Ьоа гов оп Ьо 1 п Ьагбаепт йгозтегз., ААА ррег, 1971. М 71 - 691.(57) Изобретение относится к технике создания интенсивных квазистационарных ионных пучков и может быть использовано в установках вакуумной ионно-лучевой обработки материалов, Целью изобретения является повышение надежности работы и качества фокусировки, Источник ионов содержит разрядную камеру 1 с выходным электродом 2, ускоряющую систему 9, выполненную в виде отдельных элементов, ко.торые через резисторы 11 соединены с отрицательным полюсом источника 12 ускоряющего напряжения. Положительный полюс источника 12 соединен с разрядной камерой 1. Элементы сетки выполнены в виде параллельных проволок, при этом каждый проволочный элемент снабжен одним выводом на изоляционной раме, расположенным с противбположной стороны по отношению к выводу предыдущего элемента.3 ил. МС:Изобретение относится к технике создания интенсивных квазистационарных ионных пучков, преимущественно легких атомов, и может быть использовано в качестве инжектора сильноточных ускорителей ионов, а также в установках вакуумной ионна-лучевой и вакуумной ионно-плазменной обработки материалов.Целью изобретения является повышение надежности работы и качества фокусировки.На фиг,1 представлена схема источника ионов; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг,3 - разрез Б - Б на фиг.1.Источник ионов содержит прямоугольную разрядную камеру 1 с выходным электродом 2, термокатодами 3, системой магнитов 4, формирующих мультипольное магнитное поле у стенок камеры, устройством подачи ионообразующего газа и источником питания разряда (не показаны), а также изоляционную раму 5 между выходным электродом 2 и фланцем 6 с уплотнением 7, с помощью которого источник ионов герметично соединяется либо с высоковольтным электродом ускорительной трубки 8 ионного ускорителя, либо с нейтрализатором технологической установки (не показан). Элементы сетки 9 через выводы 10, резисторы 11 и фланец 6 соединены с отрицательным полюсом источника 12 ускоряющего напряжения, положительный полюс которого соединен с выходным электродом 2 разрядной камеры 1.Источник работает следующим образом.-д -зПри давлении остаточного газа 10 - 10 Па включением источника канала разогревают термокатоды 3 до рабочей температуры, От источника 12 ускоряющего напряжения подают на разрядную камеру 1 положительное по отношению к сетке 9 ускоряющее напряжение и включением подачи ионообразующего газа устанавливают давление в камере10 Па. При подаче на 5 катоды 3 напряжения источника питания50 - 100 В зажигается стационарный разряд и камера заполняется плазмой 13 с однородным распределением концентрации в области окна выходного электрода 2, С ее 10 границы 14 в промежуток между плазмой 13и сеткой 9 вытягиваются ионы, ускоряемые в промежутке и выходящие из источника через сетку 9 сформированным потоком.Источник ионов отличается простотой 15 сеточной ускоряющей системы. Исключение ее пробоев обеспечивает высокую надежность устройства. Уменьшение потерь ионов, обусловленное высокой прозрачностью ускоряющей сетки, позволяет умень шить энергетические затраты наобразование одного ускоренного иона. Дополнительные возможности представляет при этом утилизация энергии поступающих в разрядную камеру с сетки быстрых вторич ных электронов что позволяет уменьшитьчисло термокатодов в камере и электрическую мощнОсть разрядного тока в их цепи.Формула изобретения 30 Источник ионов, содержащий газоразрядную камеру, соединенную с положительным полюсом источника ускоряющего напряжения, и одноэлектродную ускоряю щую систему, соединенную с отрицательным полюсом источника напряжения, о т ли ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности работы и качества фокусирования, ускоряющая система выполнена в виде 40 отдел ьн ых . изолирован н ых один от другаэлементов, соединенных с источником напряжения через резисторы.1718297 г Составитель В,Обуховедактор И.Шулла Техред М.Моргентал Корректор М чи роизводственно-.издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 10 Заказ 886 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва;.Ж, Раушская наб 4/5