G01L 1/24 — путем измерения изменения оптических свойств напряженных материалов, например путем фотоупругого анализа напряжений

Страница 5

Способ определения остаточных напряжений в объектах из поликристаллических материалов

Загрузка...

Номер патента: 1543258

Опубликовано: 15.02.1990

Авторы: Комар, Мигаль, Ульянов, Чугай

МПК: G01L 1/24

Метки: напряжений, объектах, остаточных, поликристаллических

...с пониженной симметрией. Остаточные напряжения в областях с пониженной симметрией определяют путем поворота анализатора до полного восстановления коноскопическойкартины, а в остальных областях -путем измерения интенсивности светав центральной области коноскопической картины. лизатором, помещают матрицу микроконоскопов-компенсат оров из одноосного кристалла таким образом, что их ось перпендикулярна поверхности объекта, Затем на фотографии объекта по искажению изогир находят области с пониженной кристаллографической симметрией. Затем поворачивают анализатор до восстановления коноскопической картины и по углу поворота определяют остаточные напряжения в областях с пониженной кристаллографической симметЗаказ 394 Тираж 477 ПодписноеВИИИПИ...

Способ определения остаточных напряжений в пластинах

Загрузка...

Номер патента: 1543259

Опубликовано: 15.02.1990

Авторы: Ерофеев, Игнатьев, Михайлов, Шахматов

МПК: G01L 1/24

Метки: напряжений, остаточных, пластинах

...(т.е. тп = +3; и = +1), то происходит сложение порядков полос и через точку А пройдет уже не третья полоса первого поля перемещений, а (3+1) четвертая. Полосы обобщенных перемещений в этом случае "обтекают" зону суперпозиции (Фиг. 1). Если же знаки полей перемещений разные (т,е. тп = = -3; и = +1), то происходит вычитание абсолютных порядков полос и че 40 рез точку пройдет полоса с номером -3 + 1:= - 2, Полосы обобщенных перемещении "втягиваются в зону (Фиг, 2), Знак обобщенных перемещений определяют по характеру прохожде 45 ния полосами границы зоны локальных деформаций. Если они "обтекают" ее, то знаки совпадают, а если "втягиваются" - знаки противоположны. В случае, когда знак перемец 1 ений в локальной зоне известен априори,...

Устройство для определения усилий в элементах подземных сооружений

Загрузка...

Номер патента: 1571438

Опубликовано: 15.06.1990

Авторы: Борулев, Косцов

МПК: G01L 1/24

Метки: подземных, сооружений, усилий, элементах

...должен быть выбран из условия появленияв каждом стержне счетного числа полос. Для динамических процессов (динамической фотоупругости) это числодолжно быть не менее двух,Динамическая нагрузка, передаваемая на стержни будет равна напряжениям, разрушающим модель, и напряжениям, действующим на торцы фотоупругих стержней, Например, откольное разрушение, связанное с интерференциейпадающей и отраженной от контура выработки волн, происходит при напряжениях превьппающих предел прочности материала модели на растяжение К. Таккак толщина Фотоупругих стержней равна толщине модели,. то максимальноенапряжение в стержнях будет соизмеримо с К , Отсюда условие выбора фоГточувствительности материал стержнейдолжно битв следующим: динамическаянагрузка на...

Устройство для определения эпюры радиального давления поршневого кольца на стенку рабочего цилинддра двигателя внутреннего сгорания

Загрузка...

Номер патента: 1578527

Опубликовано: 15.07.1990

Авторы: Давыдов, Кондратюк, Перфилов

МПК: G01L 1/24

Метки: внутреннего, давления, двигателя, кольца, поршневого, рабочего, радиального, сгорания, стенку, цилинддра, эпюры

...1 и 2 изображено предлагаеО мое устройство.Устройство содержит кольцевую .обечайку 1 из оптически-активного мате-:. риала, жесткую оправку .2 и поляроиды 3.15На фиг. 1 показано расположение контролируемого поршневого кольца 4 в обечайке 1, а на фиг. 2 - возможный вид интерференционных полос 5.Устройство работает следующим образом.Поршневое кольцо 4 помещают в кольцевую обечайку 1, закрепленную в жесткой оправе 2, Кольцевую обечайку 1 с установленным в ней поршневым кольцом 4 располагают между поляроидами 3 и освещают пучком параллельного света. Под действием радиальных давлений поршневого кольца 4 в оптически активном материале кольцевой обечайки 1 возникает поле интерференционных полос 5. Полученное поле/интерференционных полос...

Способ определения напряженного состояния от действия потенциальных объемных сил

Загрузка...

Номер патента: 1583764

Опубликовано: 07.08.1990

Авторы: Агаханов, Савостьянов

МПК: G01L 1/24

Метки: действия, напряженного, объемных, потенциальных, сил, состояния

...вынужации, распределенные в маетствии с зависимостью, ( = х, у, г), где Е - модуль ного материала, м - коэффиф- вынужденные деформат эту модель через цикл ", а напряжения и перемеют сложением напряжений замеренных в соответствуух модулей. дР( = х,у,г),где Г - потенциальная объемР - поверхностная нагрузи "замораживается".Вторая модель нагружаетсзом, чтобы учесть влияние нсти распределения сил по объсвободных деформаций. Такоответствует создание в моденых деформаций, распределенпо следующей зависимости:5, (=х,у,1583764 Формула изобретения Способ определения напряженного состояния от действия потенциальных объемных сил, включающий "замораживание" Составитель Н.ЕгороваТехред М.Моргентал Корректор М,Самборская Редактор Л.Гратилло Заказ 2247...

Устройство для измерения сил упругих контактов

Загрузка...

Номер патента: 1610316

Опубликовано: 30.11.1990

Авторы: Калинников, Копысов

МПК: G01L 1/04, G01L 1/24

Метки: контактов, сил, упругих

...А света, который, отражаясь от датчика 10, проецируется на экран 14, 40 Затем подъемом коромысла 7 с помощью винта 3 добиваются совпадения отраженного луча Б с нулевой отметкой шкалы 15 и выставляют размер В. Затем на опорную поверхность 16 основа ния 1 устанавливают щеткодержатель 17 со щеткой 18 и регулировочным винтом 19, Щетку 18 заранее отгибают на величину, превышающую размер В.Отогнутая щетка 18 давит на пра вое плечо коромысла 7 и выводит его из равновесия. Датчик 10 качается совместно с коромыслом 7 на оси 12,закрепленной в основании 1, в результате чего луч Б света, отклоняясь, отражается на э кране 14 .Иеханизмом 4 подъема-опускания поднимают ось 5 с колесами б, в результате чего выводят из зацепления опору 2 с нарезкой 8,...

Пьезооптический преобразователь динамических величин

Загрузка...

Номер патента: 1642403

Опубликовано: 15.04.1991

Авторы: Гитерман, Конюхова, Сорокин

МПК: G01L 1/24, G01P 15/09

Метки: величин, динамических, пьезооптический

...действия силы Р, деформирующей чувствительный элемент 3, выполненный в 30 виде прямоугольного параллелепипеда. Возникающие в чувствительном элементе 3 нормальные напряжения направлены перпендикулярно пучку света. Фазовце пластинки 4 и 5 установлены одинаково, так что 35 ось наибольшей (или наименьшей) скорости составляет угол 45 с плоскостью пропускания поляризатора. Пластинки 4 и 5 отличаются по толщине на А /4, где А - длина волны света, по фазовому сдвигу они отли чаются на 90, Например, пластинка 4 создает фазовый сдвиг 45, а пластинка 5 - фазовый сдвиг 135. Анализатор 6 установлен скрещенно (или параллельно) с поляризатором 2, Два пучка света, пройдя через 45 чувствительный элемент 3, фазовые пла- . стинки 4 и 5 и анализатор 6,...

Фотоупругий измерительный преобразователь

Загрузка...

Номер патента: 1649315

Опубликовано: 15.05.1991

Авторы: Никифоров, Писаревский, Сильвестрова

МПК: G01L 1/24

Метки: измерительный, фотоупругий

...в электрический лнал, пропорциональный действующей нагрузке, а затем усиливается и обрабатывается в усилительно-регистрируюцем блоке 8 для получен и я и н форм а ции в необходимой форме.Глубина среза вершины основания приз. мы определяется конструктивными условиями ввода и вывода излучения. Например, при использовании световодов с диаметром жгута д,глубина среза по боковой грани Ь может быть принята1 т =1,2 д зперв Основания призмы должны иметь преимущественно квадратную форму, что вызвано следующими соображениями. В квадратной призме диагональная плоскость расположена под углом 45 к боковым граням.Под действием измеряемого усилия, приложенного под углом 45 к плоскости падения света, свет распадается на две ортого- "0 нальные...

Оптический датчик акустического давления

Загрузка...

Номер патента: 1649321

Опубликовано: 15.05.1991

Авторы: Карнаух, Мыцык, Остапюк

МПК: G01L 1/24, G01L 11/00

Метки: акустического, давления, датчик, оптический

...излучения, 2,3 - фазовые пластинки, поляризатор 4, анализатор 5, двулучепреломляющий чувствительный элемент 6, полупрозрачное светоделительное зеркало 7, фотоприемник 8,9, усилитель 10 разности сигналов, реверсивный электродвигатель 11, схему 12 регистрации акустического сигнала. Датчик работает следующим образом.Световой луч, проходя через поляризационно-оптическую систему, состоящую из двух четвертьволновых фазовых пластинок 2,3, поляризатора 4 и двулучепреломляющего чувствительного элемента 6, делится полупрозрачным зеркалом 7 на два луча, один из которых попадает на фотоприемник 8 опорного канала, а другой - через анализатор 5 на фотоприемник 9 измерительного канала,Под воздействием акустического сигнала изменяется величина...

Устройство для измерения механических напряжений в деталях, выполненных из оптически прозрачных материалов

Загрузка...

Номер патента: 1651115

Опубликовано: 23.05.1991

Авторы: Ворнычев, Захаров, Казимиров, Костюк, Крутогин, Летюк, Пономарев, Сорокин

МПК: G01L 1/24

Метки: выполненных, деталях, механических, напряжений, оптически, прозрачных

...- разность фаз, возникшая припрохождении светового пучкачерез напряженный участок.Расстояние между линзами 1 выбиорают из расчетного градуировочногографика зависимости этого расстоянияот средней толщины образца, построенного на основе заданных показателя16511 преломления материала образца, длины волны используемого излучения и величины фокусных расстояний обеих линз (Фиг.2),5 В оьъектах, дающих малый набегразности фаэ, зависимость 1 от.напряжений близка к линейной, поэтому скорость измерений можно существенно повысить, исполь зуя известноеустройство, в сочетании с перемещением образца перпендикулярно лучу спостоянной скоростью при одновременной записи 1. Полученную зависимость можно откалибровать и получитьпрофиль напряжений...

Поляризационно-оптическая измерительная система

Загрузка...

Номер патента: 1389409

Опубликовано: 30.05.1991

Авторы: Ермохин, Локтионов, Ширяев, Яцковский

МПК: G01L 1/24

Метки: измерительная, поляризационно-оптическая

...увеличения (уменьшения) значения фазового сдвига о, ли" 35нейно связанного с изменением изме-.ряемого воздействия Р.ОпреДелитель полупериодов 17,где производится вычисление значения К, может быть выполнен в виде 40двух постоянных запоминающих устройств (ПЗУ) 19 и 20 (фиг, 3).Наадресные входы 11 ЗУ 19 подается с АЦП15 цифровой код, соответствующий текущему значению О. ПЗУ 19 программируется в режиме градуировки системы путем записи в него значений 11соответствующих экстремальным значениям 13, а именно значений 13,111 зе илк 11 фа 111 зЦ в ф50Интервал изменения 11, между двумя соседними из указанных выше значений например, 11 -11 и или 0 -Ц 1 зили 11 -Ои.и т.д., соответствует интервалу изменения.11 между соседними экстремальными...

Волоконно-оптическая система измерения давления

Загрузка...

Номер патента: 1454055

Опубликовано: 30.05.1991

Авторы: Ермохин, Локтионов, Ширяев, Яцковский

МПК: G01L 1/24, G01L 11/00, G01L 11/02 ...

Метки: волоконно-оптическая, давления

...8,детектор с усилителем 15, дифферен- по основному приемному световоду 14,цирующее устройство 17, компаратор в прямом и обратном направленииче 18. Выход компаратора 18 соединен с 45 рез дополнительные коллиматор 5, повходами первого и второго измерите- ляриэатор 7, чувствительный элементлей временных интервалов 9 и 20, вы, по дополнительному приемному свеходы которых соединены с входами пер- товоду 16 и подается на фотодетекторвого вычитающего устройства 21 и с усилителем 15. Цикл измерения сос-.первого сумматора 24. Выходы первого тоит из трех тактов. В первом тактевычитающего устройства 21 и первого сигнал треугольной формы с выхода гесумматора 24 соединены с входами пер- нератора пилообразного напряжениявого устройства деления двух...

Мультиплексная волоконно-оптическая система контроля физических величин

Загрузка...

Номер патента: 1233630

Опубликовано: 30.05.1991

Авторы: Ермохин, Садовников, Яцковский

МПК: G01L 1/24

Метки: величин, волоконно-оптическая, мультиплексная, физических

...детекторам 31.Работает система следующим образом. От импульсного генератора 1 короткий импульс (10 цсек) поступает на источник излучения 2 (лазерный диод), от которого оптический импульс вводится через оптический соединитель 3 в передающий волоконно-оптический тракт 4, иэ которого с помощью оптических ответвителей 5 оптическая мощность разветвляется по волоконнооптическим измерительным преобраэовд.телям 6 (датчикам). Оптический импульс после оптического ответвителя 5проходит через оптический соединитель8 по подводящему волоконному световоду 7 к оптическому делителю мощности 9, иэ которого импульс, прошедшийпо опорному оптическому каналу 10,поступает на сумматор 13 оптическоймощности по отводящему волоконномусветоводу 14, в оптический...

Поляризационно-оптический измеритель

Загрузка...

Номер патента: 1447055

Опубликовано: 23.07.1991

Авторы: Ермохин, Локтионов, Ширяев, Яцковский

МПК: G01L 1/24

Метки: измеритель, поляризационно-оптический

...с выхода Фотоприемника 16 поступают на первый вход селективногодетектора 17, ко второму и третьемувходу которого подсоединены первыйи второй выходы задающего генератора1. Сигналы с первого и второго выходов селективного детектора 17, создаваемые импульсами световых пучков сдлинами волн Я, и, поступают соответственно на входы регулирующихусилителей 18 и 19, а с выходов последних - на первый и второй входывычислителя 20, к третьему входукоторого подключен выход калибратора21Импульсы светового пучка с длинойволны 3 поляризованные поляризатором 7, расположенных под углом 45к направлению измеряемого усилия Р,распадаются в последнем на две сос"14470 тавляищие, световые колебанич в которых имеют взаимный Фазовый сдвиг Ы, пропорциональный Р....

Волоконно-оптический измерительный преобразователь

Загрузка...

Номер патента: 1362228

Опубликовано: 23.07.1991

Автор: Ермохин

МПК: G01L 1/24

Метки: волоконно-оптический, измерительный

...частично входные аПертуры приемных световодовтак, чтобы обеспечить одновременно5 10 15 20 Волоконно-оптический измерительный преобразователь, содержащий соединенные последовательно основные излучатель, передающйй световод, отражатель, приемный снетовод и фотодетектор, образующие основной измерительный канал, о т л н ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения диапазона и повышения точности изме" рения, ось вращения основного отражателя расположена параллельно плоскости торцов светонодов и перпендикулярно линии, соединяющей центры приемных световодон, в преобразователь вВедены последовательно соединенные дополнительный излучатель, передающий световод, образующие дополнительный передающий канал, дополнительный приемный снетовод и...

Пьезооптический измерительный преобразователь

Загрузка...

Номер патента: 1672245

Опубликовано: 23.08.1991

Авторы: Берзин, Гитерман, Слезингер, Сорокин

МПК: G01L 1/24

Метки: измерительный, пьезооптический

...Таким образом призма 3 в пьеэооптическом преобразователе выполняет функции светоделителя и двух поляризаторов (фиг,2), Далее два параллельных пучка света, поляризованных под углами ,"т/4 и минус:т/4 к направлению механического воздействия, попадают в прямоугольную призму 4, выполненную из однаосного кристаллического материала с фотоупругими гзои,стьдии. Оптическая осл г 1 рлзмы 4 параллельна направлению механического воэдеьсгвия.Тсли.ина призмы определяется иэ соо ношения11=(пз+ ) где гп = О, 1, 2, ; Л - длина волны света;г:,п - главные показатели препомления к ристалла.Призма 4 в пьезооптическом преобразователе вь;полняет роль чувствительного элемента и четвертьволновой фазовой пластины, которая позволяет сместить рабочую...

Устройство для контроля максимальной деформации кузнечно штамповочных машин

Загрузка...

Номер патента: 1696914

Опубликовано: 07.12.1991

Авторы: Андреев, Безпалько, Бочаров, Герасимов, Перевертов

МПК: G01L 1/22, G01L 1/24

Метки: деформации, кузнечно, максимальной, машин, штамповочных

...в форме сектора круга, Все пластиныкрепятся посредством крепежных элементов последовательно одна за другой на поверхности пресса, Наличие в составедатчика деформации модульных элементов 35с прямолинейными световодами и световодов в виде сектора круга позволяет получитьдатчик деформации различной конфигурации в зависимости от конфигурации контролируемого объекта, 40Устройство работает следующим образом.Свет от источника 1 через световод 2направляется к входу группы отрезков световодов первого модуля датчика 3 деформации, Свет проходит через все модули изазоры датчика деформации и от выходагруппы световодов последнего модуля собирается световодом 6 и направляется кфотоприемнику 7, Электрический сигнал от 50 фотоприемника поступает на...

Устройство для измерения усилий

Загрузка...

Номер патента: 1739219

Опубликовано: 07.06.1992

Авторы: Битюцкий, Дистергефт, Карпеев, Терентьев, Ярков

МПК: G01L 1/24

Метки: усилий

...излучения и приемника, Свет от источника излучения через световод попадает в первую часть силочувствительного элемента, отражается от встроенной отражающей поверхности, проходит по нормали через соприкасающиеся шероховатые плоскости, отражается от второй встроенной отражающей поверхности и через второй световод направляется к фотоприемнику, 1 ил. отражателеи 2, расположенных под углом 45 к поверхности контакта и симметрично ей и проходит через зону контакта, через второй световод и попадает на фотоприемник,При приложении усилия к силочувствительному элементу происходит изменение состояния контактных зон шероховатых соприкасающихся поверхностей, что приводит к изменению интенсивности прошедшего через зону контакта светового...

Оптический датчик акустических возмущений

Загрузка...

Номер патента: 1744524

Опубликовано: 30.06.1992

Авторы: Есипов, Малютин, Пышный

МПК: G01L 1/24

Метки: акустических, возмущений, датчик, оптический

...через толщину большого поршня и жестко защемлен в нем, малый цилиндр своим открытым концом вставлен в углубление, выполненное в большом поршне, в стенке малого цилиндра выполнены отверстия, совмещенные с выполненными в большом поршне внутренними трубчатыми каналами, выведеннымив рабочую камеру большого цилиндра с обеспечением динамического сообщения рабочих камер, с тыльной стороны большого поршня установлено устройство вывода и преобразования излучения, электрический выход которого подсоединен к электрическому разьему датчика, в днище большого цилиндра установленывпускной и выпускной штуцеры,Предлагаемая конструкция поршней и двух динамически сообщающихся цилиндров позволяет прикладывать деформацию в торец волновода и подложки и...

Электронный граммометр

Загрузка...

Номер патента: 1747962

Опубликовано: 15.07.1992

Авторы: Еланцев, Кашников, Куракин, Маркелов, Соколов, Сорокоумов, Фатеев

МПК: G01L 1/24

Метки: граммометр, электронный

...коммутатор 15 к Формирователь 14 сигнала под дейстодному из входов реверсивного счетчйка 16, вием сигнала на выходе фазового детектораПоскольку на входе управляемого ком 13 формирует сигнал управления, обесмчимутатора 15 присутствует постоянный элек- вающий подключение входа управляемоготрический сигнал уровня логической коммутатора 15 к прямому входу реверсивединицыили логического нуля с,в зависимо- ного счегчика 16, Поскольку на одном изсти от того, находится на оптической оси входов элемента И 19 присутствует сигнал. источник 8 света - приемник 10 светаотвер логической единйцы, поступающий с источстие рейки 4 или нет), счетчик 16 не изменя- ника 22 напряжения через нормально замкет своего нулевого состояния. Индйкатор 18...

Способ моделирования напряженно-деформированного состояния конструкций и сооружений

Загрузка...

Номер патента: 1767368

Опубликовано: 07.10.1992

Авторы: Исайкин, Савостьянов, Сидорова, Фриштер

МПК: G01L 1/24

Метки: конструкций, моделирования, напряженно-деформированного, сооружений, состояния

...модели сооружения или конструкции, эти эле 5 10 менты предварительно "замораживают" в нагруженном состоянии, после чего из них склеивают модель, которую затем раэмораживают, В отличие от прототипа 2 изготавливают две модели с равным числом идентичных элементов, при этом первую часть элементов первой модели выполняют из оптически чувствительного материала, не обладающего сжимаемостью при всестороннем сжатии, а вторую часть - из оптически чувствительного материала со сжимаемостью вы высокоэластическом состоянии при всестороннем сжатии, первую часть элементов второй модели выполняют 15 из оптически чувствительного материала сосжимаемостью в высокоэластическом состоянии при всестороннем сжатии, а вторую часть - из оптически...

Способ моделирования напряженно-деформированного состояния конструкций и сооружений

Загрузка...

Номер патента: 1767369

Опубликовано: 07.10.1992

Авторы: Исайкин, Савостьянов, Сидорова, Фриштер

МПК: G01L 1/24

Метки: конструкций, моделирования, напряженно-деформированного, сооружений, состояния

...настоящего изобретения является упрощение моделироования и повышение информативности за счет определения перемещений, В результате реализации предложенного способа по сравнению с известным 2) нет необходимости в проведении предварительных сложных и трудоемких расчетов на ЭВМ и значительно упрощается техника эксперимента,Сущность изобретения заключается в следующем: изготавливают элементы модели сооружения или конструкции, эти элементы предварительно "замораживают" в нагруженном состянии, после чего из них склеивают модель, которую затем "размораживают". В отличие от прототипа модель выполняют из оптически чувствительного полимера со сжимаемостью в высокоэла 15 20 25 30 35 40 45 50 55 стичном состоянии при всестороннем...

Оптический датчик механических возмущений

Загрузка...

Номер патента: 1767370

Опубликовано: 07.10.1992

Авторы: Есипов, Макаров, Разумовский

МПК: G01L 1/24

Метки: возмущений, датчик, механических, оптический

...предел измерения,На фиг,1 схематично изображен предлагаемый датчик; на фиг.2 - выходная амплитудная характеристика датчика, причем на фиг.2 б - ее начальный участок.Датчик содержит последовательно оптически соединенные входную поворотную призму 1, сердцевину 2, выходную призму 3, подложку 4, контактирующую с сердцевиной 2 по ее длине, инерционное тело 5. На боковых гранях призм 1 и 3 нанесен отражающий слой 6, через который с призмами 1.и 3 контактируют клиновидные вкладыши 7 и 8, причем элементы в последовательности 7, 1,2, 4, 3, 8, 5 установлены в жесткий корпус 9, в котором в местах ввода и вывода оптического излучения выполнены прорези 10,Оптический датчик работает следующим образом,Через входную прорезь 10 оптическое излучение...

Цифровой магнитооптический датчик давления

Загрузка...

Номер патента: 1812465

Опубликовано: 30.04.1993

Авторы: Коледов, Моносов, Перов, Сапронов, Тулайкова, Филиппов, Шавров

МПК: G01L 1/12, G01L 1/24, G01L 11/00 ...

Метки: давления, датчик, магнитооптический, цифровой

...зарождения обратно пропорциональна приложенному в этот момент упругому напряжению, Нэ основе этого можно описать изменения, происходящие в клиновидном образце, показанные на фиг.З.В начальный момент, при отсутствии напряжения, в пластине имеет место коттоновская доменная структура (а). При увеличении напряжения наступает момент, когда появляется первый фарадеевский домен (б). Его ширина приблизительно равна максимальной толщине клина. Дальнейшее увеличение напряжения влечет за собой уменьшение ширины первого домена и появление второго (в), ширина которого меньше ширины первого домена и равна толщине пластины в месте появления, Дальнейшее увеличение напряжения ведет к увеличению числа фарадеевских доменов и одновременно к уменьшению...

Микроэлектронный механоэлектрический датчик

Номер патента: 1385951

Опубликовано: 28.02.1994

Авторы: Ваганов, Случак

МПК: G01L 1/24, H01L 29/84

Метки: датчик, механоэлектрический, микроэлектронный

МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК, содержащий выполненный из монокристаллической пластины кремния ориентации { 100 } , жесткое основание, мембрану с двумя жесткими областями в виде островков, отделенных друг от друга и от жесткого основания, ориентированными вдоль направления < 110 > канавками, образующими тонкие гибкие участки, на которых с планарной стороны кристалла расположены тензорезисторы, ориентированные вдоль направления < 110 >, отличающийся тем, что, с целью уменьшения размеров, повышения линейности и чувствительности преобразования, мембрана выполнена прямоугольной с двумя узкими щелевыми отверстиями, параллельными друг другу и перпендикулярными направлению канавок, причем щели с двух сторон отделяют...