Молекулярный насос вертикального типа

(54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ 11 АСОС ВЕРТИКАЛЬНОГО Т 14 Изобретение относится к области вакуумной техники.Известны молекулярные насосы, содержащие корпус с установленным в нем ротором 11.5Работа этих насосов основана на увлечении молекул газа поверхностью, движущейся относительно другой с большой скоростью и находящейся от нее на малом расстоянии, Наиболее существенным недостат ком молекулярных насосов указанных типов является малая скорость откачки.Известен также молекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус, в выходном патрубке которого расположен ис точник десорбирующего излучения, и установленный в корпусе колоколообразный ротор, наружная поверхность которого покрыта сорбирующим материалом 21.В известном насосе имеет место малый 20 зазор между ротором и статором, что требует точного изготовления всех деталей насоса и их сборки. Кроме того, при десорбции молекул газа с поверхности ротора происходит загрязнение ими откачиваемого 25 объема.Целью изобретения является повышение скорости откачки путем исключения загрязнения откачиваемого объема,Это достигается тем, что в выходном па 2трубке между источником и ротором размещено герметичное устройство в виде силь- фона, один конец которого жестко закреплен на стенке патрубка, а другой снабжен кольцом из антифрикционного материала, на прилегающей к ротору поверхности которого выполнен капиллярный паз.Кроме того, для ускорения процесса десорбции в полости ротора установлен источник теплового излучения регулируемой мощности.На фиг. 1 изображен описываемый насос; на фиг. 2 - разрез А - А на фиг. 1.Молекулярный насос содержит корпус 1, в выходном патрубке 2 которого расположен источник 3 десорбирующего излучения, и установленный в корпусе 1 колоколообразный ротор 4, наружная поверхность которого покрыта сорбирующим материалом 5. В выходном патрубке 2 между источником 3 и ротором 4 размещено герметичное устройство в виде сильфона 6, один конец которого жестко закреплен на стенке патрубка 2, а другой снабжен кольцом 7 из антифрикционного материала, на прилегающей к ротору 4 поверхности которого выполнен капиллярный паз 8,В полости ротора 4 установлен источник 9 теплового излучения регулируемой мощности.Из откачиваемого объема молекулы газа поступают в насос и адсорбируются там на охлажденных поверхностях ротора 4. При вращении ротора 4 молекулы, адсорбированные на цилиндрических поверхностях, 5 проходят через узкие пазы 8 в кольце 7 в выходной патрубок 2 в виде монослоя, где под воздействием десорбирующих излучений происходит их десорбция. Десорбированные молекулы в виде газа откачиваются 10 насосами предварительной откачки (на чертеже не показан), Незначительная часть десорбированных газов проникает через паз 8 между ротором 4 и кольцом 7 обратно в насос, где молекулы вновь адсор бируются сорбирующим материалом ротора 4,В связи с тем, что устройство герметизации насоса обеспечивает сохранение минимального размера зазора между ротором и 20 статором, обратное перетекание десорбированного газа уменьшено на два порядка, а следовательно, во столько же раз возрастает скорость откачки.25Ф ор мула изо бр етения1, Молекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус, в выходном патрубке которого расположен источник десорбирующего излучения, и установленный в корпусе колоколообразный ротор, наружная поверхность которого покрыта сорбирующим материалом, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости откачки путем исключения загрязнения откачиваемого объема, в выходном патрубке между источником и ротором размещено герметичное устройство в виде сильфона, один конец которого жестко закреплен на стенке патрубка, а другой снабжен кольцом из антифрикционного материала, на прилегающей к ротору поверхности которого выполнен капиллярный паз,2. Насос по п, 1, отличающийся тем что, с целью ускорения процесса десорбции, в полости ротора установлен источник теплового излучения регулируемой мощности. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Пипко А. И. Конструирование и расчет вакуумных систем. М., Энергия, 1970, с. 162.2, Авторское свидетельство СССР556704, кл. Г 04 с 1 19/04, 1965.630455 Редактор Н. Богатова Подписное Заказ 1813/19 Тираж 799 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, 1 К, Ратшская наб., д. 415