Устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса

ЪД 4 О и И-САНИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ и ц 724802 Союз Советских Социалистических Республикавт. свид-ву 22) Заявлено 03.04.78 (21) 2598861/25040 19/О с присоединением заяв дарственный к СССР елам изобре и открытий(45) Дат опуб ова 72) Авторы изобретения ойцов и Б, В, Иванов ковский орд институт х(71) Заявитель СТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИКРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА Устром,вакуупривод ащеннена заиск 4 с диску 5 улы гав объемнии до- движе, соудаставлено предлагаемое ьный разрез; на фиг. 2 - его работу,Изобретение относится к вакуумнои технике, а именно к устройствам для определения характеристик вакуумных насосов,Известно устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса, содержащее присоединенный к откачиваемому объему и насосу вертикальный корпус, по оси которого на упругой нити подвешен пробный диск 111,Недостатками указанного устройства являются инерционность измерений динамически меняющегося давления, зависящая от проводимости зазора между пробным диском и насосом, и невысокая точность измерений, обусловленная удаленностью измерительного устройства (пробного диска) от входа насоса.Целью изобретения является повышение точности, снижение инерционности и расширение диапазона измерений.Указанная цель достигается тем, что пробный диск размещен со стороны ротор- ного диска насоса и снабжен лопатками, установленными зеркально относительно лопаток роторного диска. Пробный диск установлен с возможностью осевого перемещения.На фиг. 1 предустройство, продолсхема, поясняющая а Трудового Красного Знаменического машиностроения Устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса содержит присоединенный к насосу 1 вертикальный корпус 2, по оси которого на 5 упругой нити 3 подвешен пробный диск 4,размещенный со стороны роторного диска 5 насоса 1 и снабженный лопатками 6, установленными зеркально относительно лопаток 7 диска 5 ротора 8. Пробный диск 4 ус тановлен с возможностью осевого перемещения при помощи ввода 9. Насос 1 снабжен приводом 10. Кроме того, на вертикальном корпусе 2 размещены натекатель 11, датчики 12 вакуума, подсветка 13 и смотровое 15 окно 14 для проведения отсчета углов поворота пробного диска 4. во работает следующим о зо20 При достижении предварительного ма в объеме корпуса 2, включается 10 насоса 1, который приводит во вр ротор 8 с дисками 5. После выхода данный уровень вакуума пробный д помощьюввода 9 приближается к на определенное расстояние. Молек за, отраженйые диском 5 обратно корпуса 2 и получившие при соударе полнительный импульс количества30 ния (показаны на фиг. 2 стрелками)724802 ставитель В. КРедактор Г.ехред А. Камыорректоры: А.и Р. Берио яковки Прусоваинякова Галахова вич Заказ 355 Тираж 729 Изд.205 11 одписное НПО Поискенного комитета СССРзобретений и открытий5, Москва, Ж,ская наб., д, 4/5 Государс о делам 113 Раупография, пр. Сапунова, 2 ряясь с пробным диском 4, заставляют его поворачиваться на угол, зависящийот уровня вакуума на входе в насос 1.При определении скоростйоткайки насо- са 1 натекателем 11 создается газовая нагрузка и измеряется изменение угла поворота Ла пробного диска 4 за время А 1, ОтЬаношение - характеризует скорость отМкачки насоса при определенном давлении,Выполнение пробного диска с лопатками ведет к увеличению его проводимости, вследствие чего вакуумные условия в зоне измерения оказываются аналогичными условиям в любой точке измерительного объема. Таким образом, повышается точность измерения.Размещение пробного диска непосредственно над роторным диском насоса исключает погрешность от места и способа установки измерительного устройства, улучшает качество измерений и снижает их инерционность. Формула изобретения 1. Устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса, содержащее присоединенный к откачиваемому объему и насосу вертикальныйкорпус, по оси которого на упругой нптпподвешен пробный диск, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повышения точности и10 снижения инерционности измерений, пробный диск размещен со стороны роторпогодиска насоса и снабжен лопатками, установленными зеркально относительно лопатокроторного диска.15 2. Устройство по п, 1, отличающеесятем, что, с целью расширения диапазона измерений, пробный диск установлен с возможностью осевого перемещения.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Дэшман С. И, Научные основы вакуумной техники, М., Мир, 1964, с, 229 (прототип),