Турбомолекулярный вакуумный насос

Р 11 533757 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Совз Советских Социалистических Республик(6 олнительное к ид-вх 51) М. Кл.- Г 04 Р 19,/О Заявлено 05.04,7 1902 исоединением заявки Ле Государственный комитет Совета Министров СССР(72) Авторы изобретения М. Тузанкин и Л, А. Беляев 1) Заявител УМНЫЙ НАСОС БОМОЛ ЕКУЛЯР Н Ы Й 54 изобретения является го вакуума, снижение п и хладагента. Указан тем, что статор заклю илиндр, на наружной Цельюпредельнороэнергиистигаетсястенный ц повышение отерь электая цель доен в тонко- поверхности Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.Известен турбомолекулярный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор 1. Предельный вакуум, достигаемый этим насосом, ограничен коэффициентом компрессии насоса и величиной газоотделений с внутренних поверхностей корпуса и рабочих органов ротора и статора.Более близким к изобретению техническим решением является турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор 2. Однако охлаждение статора насоса вызывает большие технические трудности в связи с наличием подшипников и смазки, а также требует большого расхода криогенной жидкости вследствие массивности статора и интенсивного теплообмена с окружающей средой. Кроме того, наличие наружной охлаждающей рубашки затрудняет прогрев корпуса, ротора и статора насоса для обезгаживания при получении высокого вакуума в теплом режиме которого размещены трубки для хлада Кроме того, указанная цель достигается пространство между корпусом и цпли заполнено сорбентом и ограничено пер 5 рованными перегородками, образующткорпусом зазоры.На чертеже изображен насос, продольный разрез.Описываемый турбомолекулярный вакуумы ный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем ротор 2 и охлаждаемый статор 3, заключенный в тонкостенный цилиндр 4, на наружной поверхности которого размещены трубки 5 для хладагента и нагревательные 15 элементы 6, при этом пространство междукорпусом 1 и цилиндром 4 заполнено сорбентом 7 и ограничено перфорированными перегородками 8, образующими с корпусом 1 зазоры.20 Насос работает следующим образом.Включаются нагревательные элементы 6, ипроисходит обезгаживание статора 3, цилиндра 4 и ротора 2. Одновременно регенерируется сорбент 7, После прогрева в трубки 5 25 подается хладагент (например жидкий азот),в результате чего цилиндр 4, статор 3 и сорбент 7 охлаждаются, Холодные поверхности статора 3 и цилиндра 4 снижают тепловую скорость молекул и поток газовыделений, а ЗЭ охлажденный сорбент 7 откачивает газы,Г) о 757 Формула изобретения Составитель О. Тишина Редактор В, Левитов Техред 3, Тараиенко Корректор Т. Добровольская Заказ 2320/16 Изд. Уе 177 Тираж 830 Подписное ЦНИИПИ Государствепного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москга, К, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 поддерживая предВарительное разреже;е В форвакуумной полости насоса,Таким образом, выполнение статора заключенным в тонкостенный цилиндр, на наружной поверхности которого размещены трубки для хладагента и нагревательные элементы, а также заполнение пространства между корпусом и цилиндром сорбентом позволяет охладить статор до криогенной температуры и снизить, таким образом, тепловые скорости движения молекул газа, что, в свою очередь, ведет к повышению предельного вакуума. 1. Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор иохлаждаемый статор, отл ич а ющийся тем, что, с целью повышения предельноговакуума, снижения потерь электроэнергии ихладагента, статор заключен в тонкостенныйцилиндр, на наружной поверхности которого5 размещены трубки для хладагента и нагревательные элементы,2, Насос по п. 1, отличающийся тем,что простраство между корпусом и цилиндром заполнено сорбентом и ограничено пер 10 форированными перегородками, образующими с корпусом зазоры. Источники информации, принятые Во внимапие при экспертизе;Р 5 1. Авт. св. Ко 434190, кл. Р 04 19/04, 1971(аналог) .2, Патент США Ио 3536418, кл. 417 - 49,1970 (прототип),