Турбомолекулярный насос вертикального типа

/11/737659 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоцналнстнческихРеспублик 144 ь,: Ц;16 61) Дополни ное к авт, свид-ву -(72) Авторы изобретен и В. Иван И. Бойцов дена Трудовохимического асного Знаменипостроения ковскии инстит 1) Заявите(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАС ВЕРТИКАЛЬНОГО ТИПАНастоящее изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции турбомолекулярных вакуумных насосов.Известен турбомолекулярный насос, содержащий ротор с роторными дисками и корпус со статорными дисками 1).Недостатком указанного насоса является сложность относительной центровки роторных и статорных дисков.Наиболее близким решением из известных является турбомолекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса вал, несущий роторные диски 2,1.Недостатком указанного насоса является небольшая производительность, обусловленная относительно большими зазорами между роторными и статорными дисками.Целью настоящего изобретения является увеличение производительности турбомолекулярного насоса.Указанная цель достигается тем, что насос снабжен магнитными вставками, а роторные диски выполнены из магнитного материала и намагничены с полярностью, противоположной полярности вставок. Маг. нитные вставки встроены в основания статорных дисков, а роторные диски укрепленына валу с возможностью осевого перемещения. Магнитные вставки размещены междустаторными дисками и примыкают к корпусу. Кроме того, они встроены в вал и примыкают к основаниям роторных дисков,На фиг. 1 изображен турбомолекулярныйнасос с магнитными вставками, встроенными в основания статорных дисков, продоль ный разрез; на фиг. 2 - турбомолекулярныйнасос с магнитными вставками, размещенными между статорными дисками, продольный разрез; на фиг. 3 - турбомолекулярный насос с магнитными вставками, встроенными в вал, продольный разрез.Турбомолекулярный насос вертикальноготипа содержит корпус 1 с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками 2 и установленный по оси корпуса вал 3, несущий роторные диски 4. Насос 20 снабжен магнитными вставками 5, а роторные диски 4 выполнены из магнитного материала и намагничены с полярностью, противоположной полярности вставок 5. Вал 3 с роторными дисками 4 подвешен в маг3нитном подшипнике, состоящем из компенсаторов 6 и 7 осевого и радиального усилий.Магнитные вставки 5 встроены в основаниястаторных дисков 2, а роторные диски 4укреплены на валу 3 с возможностью осевого перемещения,Магнитные вставки 5 размещены междустаторными дисками 2 и примыкают к корпусу 1,Магнитные вставки 5 встроены в вал 3и примыкают к основаниям роторных дисков 4.Турбомолекулярный насос вертикальноготипа работает следующим образом.Благодаря взаимодействию магнитныхполей, магнитных вставок 5 и роторных дисков 4 и возможности осевого перемещенияроторных дисков 4 относительно вала 3,роторные диски 4 автоматически устанавливаются на равных расстояних от статорныхдисков 2. При соответствующей напряженности магнитного поля зазоры между роторными и статорнымидисками 4 и 2 минийальны.Наличие магнитных вставок и выполнение роторных дисков из магнитного мате рнала, намагйиченных "с полярностью,"противоположной полярности вставок, и укрепленных на валу с возможностью осевого перемещения, упрощает сборку насоса и позволяет получить минимальные зазоры междуроторными и статорными дисками и темсамым повысить производительность насоса. формула изобретения1. Турбомолекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорю ными дискамп и установленный по оси корпуса вал, несущий роторные диски, отличающийся тем, что, с целью увеличения про изводительности, насос снабжен магнитными вставками, а роторные диски выполнены из магнитного материала и намагничены с полярностью, противоположной полярности вставок.2: Насос по п, 1, отличающийся тем, чтомагнитные вставки встроены в основания 13статорных дисков, а роторные диски укреплены на валу с возможностью осевого перемещения.3. Насос по п. 1, отличающийся тем,что магнитные вставки размещены между 20 статорными дисками и примыкают к корпусу.4. Насос по п, 1, отличающийся тем,что магнитные вставки встроены в вал ипримыкают к основаниям роторных дисков,Источник информации,принятые во внимание при экспертизе1, Патент Франции1594593,кл. Г 04 Р 19/04, опублик. 1970.2. Патент Франции2246756,кл. Р 04 Р 19/04, опублик. 1975.Составитель В. КрякоТехред К, ШуфричТираж 725ПИ Государственного комитделам изобретений и откМосква, Ж - 35, РаушскаяП Патент, г. Ужгород, ул.