Молекулярный вакуумный насос

(и 823650 Союз СоветскикСоцивлистическикРеслублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(72) Авторы 54) МОЛЕКУЛЯРНЫИ ВАКУУМНЫЛ НАСО Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству молекулярных вакуумных насосов,Известны молекулярные вакуумные насосы, содержащие конический корпус с расположенными на его внутренней поверхности кольцевыми рядами статорных лопаток и установленный по оси корпуса с зазором относительно последнего конический ротор с кольцевыми рядами роторных лопаток, расположенных с радиальным зазором относительно статорных, причем одна из боковых и торцовая кромки лопаток расположены соответственно перпендикулярно и параллельно образующей ротора 1.Недостатками известных насосов являются невысокая надежность, значительный обратный поток газа и малая быстроходность.Цель изобретения - повышение надежности, уменьшение обратного потока газа, оптимизация параметров насоса и повышение быстроходности.Поставленная цель достигается тем, что дрызгая боковая кромка статорных и роторных лопаток расположена под углом к об; разующей ротора, зазор между корпусом и ротором выполнен постоянным, зазор между корпусом и ротором выполнен уменьшающимся в направлении откачки и имеет минимальную величину, превышающую в 5 - 6 раз величину радиальных зазоров, 5ротор выполнен полым и его полость сообщена с зазором между корпусом и ротором,На фиг. 1 изображен молекулярный насос, продольный разрез; на фиг. 2 - вариант исполнения насоса с полым ротором; на фиг. 3 - разрез А-А на фиг. 2.Молекулярный вакуумный насос содержит конический корпус 1 с расположеннь(ми на его внутренней поверхности кольцевыми рядами статорных лопаток 2 и установленный по оси корпуса 1 с зазором относительно последнего конический ротор 3 с кольцевыми 15 рядами роторных лопаток 4, расположенныхс радиальными зазорами относительно статорных, причем одна из боковьи и торцовая кромки 5 и 6 каждой лопатки расположены соответственно перпендикулярно и параллельно образующей ротора 3, а другая боковая кромка 7 статорных и роторных лопаток 2 и 4 расположена под углом к образующей ротора 3, Кроме того, зазор между корпусом 1 и ротором 3 выполнен постоянным или уменьшающимся .в направлении откачки и имеет минимальную величину, превышающую в 5 - 6 раз величину радиальных зазоров, и ротор 3 выполнен полым и его полость 8 сообщена с зазором между корпусом 1 и ротором 3,Насос работает следующим образом.Молекулы газа из откачиваемого объема, соударяясь с лопатками 4 вращающегося ротора 3, приобретают импульс в направлении откачки и поступают в форвакуумную полость насоса, откуда удаляются форвакуумным насосом.Выполнение корпуса и ротора коническими с кольцевыми рядами лопаток, у которых одна из боковых кромок перпендикулярна образующей ротора, а другая расположена под углом к последней, позволяет повысить надежность работы насоса, а также значительно упростить его сборку.Формула изобретения1. Молекулярный вакуумный насос, содержащий конический корпус с расположенными на его внутренней поверхности кольцевыми рядами статорных лопаток и установленный по оси корпуса с зазором относительно последнего конический ротор с кольцевыми рядами роторных лопаток, расположенных с радиальными зазорами относительно статорных, причем одна из боковых и торцовая кромки каждой лопаткирасположены соответственно перпендикулярно и параллельно образующей ротора, отличающийся тем, что, с целью повышениянадежности и уменьшения обратного потокагаза, другая боковая кромка статорных и1 Ороторных лопаток расположена под угломк образующей ротора.2, Насос по п. 1, отличающийся тем, чтозазор между корпусом и ротором выполненпостоянным,3. Насос по п, 1, отличающийся тем, что,15 с целью оптимизации параметров насоса,зазор между корпусом и ротором выполненуменьшающимся в направлении откачкии имеет минимальную величину, превышающую в 5 - 6 раз величину радиальных зазоров,4. Насос по п. 1, отличающийся тем, что,с целью повышения быстроходности, роторвыполнен полым и его полость сообщенас зазором между корпусом и ротором.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Германии605902,кл. 27 с, 15/04, опублик. 1934.та ого ко ий и Раушс жгород 113035,лиал ППРедактор Н. ЕгороваЗаказ 2048/44ВНИ Составител Техред А. Б Тираж 712 И Государственнделам изобрете Москва, Ж - 35, П Патент, г. У ряковкинКорректор МПодписноемитета СССРоткрытийкая наб., д. 4/5ул. Проектная,