F04B 37/02 — для создания вакуума путем абсорбции и адсорбции

Номер патента: 1460410

Опубликовано: 23.02.1989

Автор: Патров

МПК: F04B 37/02, F04B 37/08

Метки: вакуумная

...кольцевого 20 сосуда 8 для хладагента, а криоадсорбционная ступень - в виде кольцевой адсорбционной кассеты 9, закрепленной на внутренней стенке сосуда 8.Система работает следующим об разом.Первоначально газ из откачиваемого объема (вакуумной камеры) откачивается насосом 1 через вакуумпровод 5, вентили 6 и 3 и магистраль 2. 30 По достижении остаточного давления, соответствующего изменению режима течения газа в магистрали 2, в кольцевой сосуд 8 заливается жидкий азот и стенки этого сосуда выполняют функцию охлаждаемой ловушки, предотвращая попадание паров масла из форвакуумного насоса 1 в откачиваемый объем. После того, как давление в вакуумной камере достигнет предельного значения при работе насоса 1 с охлаждаемой ловушкой, вентили 3...

Номер патента: 1483090

Опубликовано: 30.05.1989

Авторы: Булычев, Кошелев, Макаров, Сборец

МПК: F04B 37/02

Метки: защиты, масла, объемов, откачиваемых, паров

...втулок. Устройство для защиты откачиваемых объемов от паров масла содеркит корпус 1 с внешним магнитом 2 и расположенные по оси корпуса 1 стержневой катод 3 и анод, выполненный в виде опорного кольца 4 и установленных на нем с возможностью поворота относительно собственной оси цилиндрических втулок 5 и снабженный поворотным устройством 6. Каждая цилиндрическая втулка 5 выполнена из геттерного материала и снабжена нагревателем 7. Стержневой катод 3 снабжен втулкой 8, выполненной из геттерного материала.Устройство работает следующим образом.На стержневой катод 3, цилиндрические втулки 5 и нагреватели 7 подается электропитание. Материал втулок 5 разогревается до 300 в 4 С. При откачке объема через устройство при помощи вакуумного насоса...

Номер патента: 1492082

Опубликовано: 07.07.1989

Автор: Таммик

МПК: F04B 37/02

Метки: вакуумный, насос, сорбционный

...разделенной на секции 7 припомощи радиальных охлаждаемых полированных перегородок 8. Каждая секция7 снабжена испарителем 9 геттера,расположенным параллельно стержневому аноду 3. Испарители 9 подключены 25через переключатель 10 к источникупитания, перегородки 8 закрепленына стенках охлаждаемых сосудов 5 и 6с тепловым контактом.Насос работает следующим образом.На испарители 9 подается электропитание и в результате разогревапроисходит испарение геттерного материала, например титана, и осаждение его на стенках секции 7, охлаждаемых до низких температур. Осаж 35денная пленка геттера активно поглощает поступающие в полость корпуса1 через входной патрубок 2 газы изоткачиваемого объема, Эффективностьработы насоса достигается включением в...

Номер патента: 1495500

Опубликовано: 23.07.1989

Авторы: Куприянов, Курташин, Литовка, Тарасов

МПК: F04B 37/02

Метки: вакуумная, работы

...обеспечивающую интенсивныс охлаждение и прогрев адсорбента.После подготовки адсорбционных насосов 3, 4 и 11 открываются вентили 18 и 10,и газ из реципиента 1 поступает в насос11. Достижение в реципиенте 1 давленияоколо 13 - 20 кПа позволяет проводить дальОнейшую от: чцку механицеским насосом 9через лозуп ку 8. Г 1 ри этом не требуетсядросселирования потока на входе в механический насос 9,В случае вакуумирования реципиента 1,5 имеющего объем, превосходящий предел, прикотором емкости насоса 11 доствто но длядостижения давления 13 - 20 кПа, установкапозволяет подключить к реципиенту 1 черезкраны 5 один или два основных адсорбционных насоса 3 и 4, используя их в качестве форвакуумных, а затем уже подключить механический насос 9. Время...

Номер патента: 1520258

Опубликовано: 07.11.1989

Авторы: Аракелян, Барышев

МПК: F04B 37/02

Метки: вакуумный, насос, сорбционный

...геттеоом.Цель изобретения - упучшение откацных характеристик.На чертеже представлена схема насоса.Сорбционный вакуумный. насос соцер жит корпус 1 и установленный по его оси испаритель 2 геттера. Насос дополнительно содержит вращающийся полый цилиндр 3 с продольной прорезью 4, охватывающий испаритель 2 и выполнен ный из немагнитного материала.Насос работает следующим образом.После предварительного вакуумирования полости корпуса 1 насоса зажигают дуговой разряд, возникающие при этом катодные пятна на поверхности катода, которым является испаритель 2, способствуют. испарению геттерного материала. Одновременно с испарением катода включают вращение цилиндра 3. Испаряющийся геттер осаждается как на внутренней поверхности цилиндра 3,так и на...

Номер патента: 1523714

Опубликовано: 23.11.1989

Автор: Волчкевич

МПК: F04B 37/02, F04F 9/06

Метки: вакуумная, ловушка

...газопроницаемыми стенка 1ми, внутренняя полость которого сооб-щена с выходным патрубком 3 черезтепловой мост 5, причем сосуд 4 выпол,нен из геттерного материала, например 20титана, и снабжен нагревателем 6,размещенным в его стенках.Кроме того, внутренний диаметр сосуда 4 превышает внутренний диаметртеплового моста 5 в 1,5-5 раз. Ловушка размещена в вакуумной системе иподключена к паромасляному 7 и механическому 8 насосам через вентиль 9.Ловушка работает следующим образом.Предварительное вакуумирование от"качиваемого объема осуществляетсямеханическим насосом 8 через газопро",ницаемые стенки сосуда 4, При достижении в откачиваемом объеме давления1-10 Па включается нагреватель 6 и втечение минимального времени (510 мин) температура...

Номер патента: 1525311

Опубликовано: 30.11.1989

Автор: Тятюшкин

МПК: F04B 37/02, F04B 37/08

Метки: вакуумный, крионасос

...0 В д ня ПЦ,гСТИ КРПсПРИ ЦЛНИ НН(Н)(й ТЕМ)с ЦТКД Ч иВК,)ЦЧД(ТСЯ КРИЦ ЕНРРс ЦР чц Н 1)и В,1 и к ц)с) ж.1(ник) Г(п,)03( ии Гнцг экрс)н),1 и ),риидн(ли 5. При этом вь)ступы 11 не им.кт кц)пакта с флднцем 6, что не пцзволяе (дсцро(нту 7 интенсивно 0- лд ждаты я и, соответственно, пц лошать гдзы и пары, поступдкщие В гилость кори. сд 1 из цтк; ивдемоп обьечд. Таким обрдзцл, легкцкцнденсируелые компоненты откдчивдемого гд ), тдк же кдк пары водь), двуокись л гл( рц.)д, кцнденсирются нд экране ), д дзот, кис,и рл, аргон нд крицпдн(ли 5, тел пер)Тл р; Кц) рой дцсти гает величины ниж( 2 О К .с(.1(црб( нт 7, имен)щий оолее высцкук т( перс гур, эти газы пцглцпьдет слабо, чтц позиляет сц,ра нить Высокие ечкцстные дрдктерис гики ддсорбентд иц тру;1...

Номер патента: 1525312

Опубликовано: 30.11.1989

Авторы: Антонов, Маркус, Розанов, Сказываев

МПК: F04B 37/02

Метки: адсорбционный, вакуумный, действия, насос, непрерывного

...к вакуумной технике, а именно к конструкциям адсорбционных вакуумных насосов.Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса.На чертеже представлена схема насоса.Вакуумный адсорбционный насос непрерывного действия содержит корпус 1 с камерами 2 и 3 адсорбции и десорбции, размещенный в корпусе 1 по его оси сосуд 4 с хладагентов и установленные на наружной поверхности сосуда 4 адсорбционные элементы, выполненные в виде стаканов 5, заполненных адсорбентом и имеющих газопроницаемые стенки, камера 3 десорбции снабжена толкателем 6, поочередно взаимодействующим со стаканами 5 при регенерации, а корпус 1 - подпружиненной заслонкой 7, разделяющей камеры 2 и 3. Сосуд 4 снабжен охватывающей его с возможностью поворота...

Номер патента: 1530809

Опубликовано: 23.12.1989

Авторы: Куприянов, Леонов, Лунчев

МПК: F04B 37/02

Метки: вакуумный, насос, сорбционный

...диэлектрическим материалом 10, концы которой закрепленына цангах 6, а вершина обращена кднищу стакана 4 с возможностью контакта с последним, при этом кассета 2 с сорбентом 3 закреплена нанаружной поверхности стакана 4, Насос содержит также опорные кольца 11и 12, между которыми установлен упругий элемент 13. На кольце 11 закреплена ограничивающая втулка 14, Движение кольца 11 ограничивается упором 15, На корпусе 1 выполнен входной патрубок 16.Насос работает следующим образом.Внутренний стакан 4 заполняетсяжидким хладагентои и подсоеди-няется входным патрубком 16 ксистеме вакуумирования. При насыщении сорбента 3, когда откачныехарактеристики насоса ухудшаются, необходимо проводить его регенерацию.В начальный период прогрева насосапластина...

Номер патента: 1603049

Опубликовано: 30.10.1990

Автор: Циммерман

МПК: F04B 37/02

Метки: криоадсорбционный, насос

...10 трубки, через которые хладагент проходит в канал охлаждения, образованный отверстиями 8, и выходит из него. Радиационный экран 3 соединен надежным тепловым контактом с отводящей трубкой 10.В нижней части криоэлемента 1 имеется фланец, служащий опорой для пакета хладовводов 4 и слоев адсорбента 5, Хладовводы 4 и слои адсорбента 5 имеют форму дисков с одинаковым внешним диаметром, равным диаметру опорного фланца криоэлемента и разные диаметры центральных отверстий. Причем, сложенные вместе они образуют стопу с внутренней конусной расточкой, имеющей конусность, равную конусности криоэлемента 1. В сборе хладовводы 4 и с надежным тепловым контактом с отводящей трубкой 10, защищает насос от теплового излучения со стенок откачиваемой...

Номер патента: 1613679

Опубликовано: 15.12.1990

Авторы: Евстигнеев, Ермаков

МПК: F04B 37/02

Метки: вакуумных, насосов

...при уменьшении трудозатрат и расхода растворителя,С: других отложений со стенок внутреннейполости насоса дополняется химическим процессом, заключающимся в окислительновосстановительной реакции МЭА с Н.О.,приводящей к образованию атомарного кис 1 еаа 4 лорода, который способствует деструкции О отмываемых продуктов с последующим их ффдф эмульгированием с помощью поверхностно-активного МЭА. Насос закрывают крыш- рь кой и дают выдержку 0,5 - 1 ч. Как былоустановлено, что выдержка в течение 0,5 чявляется минимальной, при которой проис- Ж ходит качественная очистка отмываемойповерхности парамасляного насоса. Вьдержка моющей смеси более 1 ч не дает заметного улучшения качества очистки вакуумного насоса. После выдержки моющей смеси;Ь в...

Номер патента: 1620672

Опубликовано: 15.01.1991

Авторы: Карпов, Турченко

МПК: F04B 37/02

Метки: вакуумного, геттерного, испаритель, насоса, электродуговой

...геттера, продольный разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - разрез А - А на фиг, 2 (разрез профиля упругих прорезных шайб); на фиг. 4 - разрез Б - Б на фиг. 2.Испаритель содержит полый цилиндрический катод 1, выполненный из материала геттера и установленный на держателе 2, служащем токоподводом и электрически связанным с источником 3 питания. Во внутренней полостидержателя 2 установлена магнитная система 4 стабилизации разряда, причем ее ось совпадает с осями держателя и катода 1. Между катодом 1 и держателем 2 имеется кольцевой зазор 5, образованный упругими прорезными шайбами 6, которые служат токопроводящими элементами, электрически связывающими держатель 2 и катод 1 Шайбы 6 имеют радиальные прорези 7, расположенные...

Номер патента: 1629599

Опубликовано: 23.02.1991

Авторы: Амамчян, Беленький, Железнов, Журавлева, Ионсен, Леонов

МПК: F04B 37/02

Метки: вакуумный, криосорбционный, насос

...УТ слоев металлической сетки, жестко скрепленных по краям УТ. Насос дополнительно содержит сорбент в виде ленты, расположенной на поверхностях емкостей и трубок. 1 з.п. ф-лы, 7 ил. перемычек 4, соединяющих смежные труб- с ки 3, при этом сорбент состоит из угольной ткани 5 с металлической основой, имеющей с трубками 3 тепловой контакт, Металличе- ь ская основа выполнена в виде впрессован, ных в угольную ткань 5 слоев металлической сетки 6, жестко скрепленных по краям угольной ткани 5. Насос дополнительно содержит сорбент в виде ленты 7, расположенной на поверхности емкостей 1 и 2 и трубок 3. Поверхности сосуда с хладагентом О и сорбент экранированы от теплового излучения экранами 8. Насос работает следующим образом.Емкости 1 и 2 и трубки...

Номер патента: 1631516

Опубликовано: 28.02.1991

Авторы: Жегулов, Коллеров, Овчинников

МПК: F04B 37/02, G05B 13/02

Метки: насосов, работой

...7,.на другой вход которого поступает суммарное значение сигналов датчиков 1 с выхода сумматора 2, Как только суммарная величина сигналов датчиков 1 достигает порогового значения, подаваемого на вход первого компаратора 7 с задающего блока 6, на выходе первого компаратора 7 появляется сигнал высокого уровня, который через инвертор 9 поступает на вход задающего блока 6 и блока 10 управления числом включенных насосов. При этом происходит выключение одного насоса (выключение насосов производится по заранее установленному приоритету) из группы работающих насосов, а в задающем блоке 6 происходит смена эталонов так, что на выходе блока появляется пороговое значение следующего цикла работы устройства,В каждом цикле работы устройства данные,...

Номер патента: 1652652

Опубликовано: 30.05.1991

Авторы: Годованный, Кухаркина

МПК: F04B 37/02

Метки: конденсационно-сорбционный, насос

...превышает диаметр патрубка 2 и характеризует размер сечения канала 8. Перегородкй 7 образуют с днищем сосуда малые зазоры 10, Стенки каналов 8 выполнены чернеными,На фиг.З изображена входная часть насоса с двумя патрубками 2, направленными в одну сторону, причем один из них связан с удлиненным каналом 11,Конденсационно-сорбционный насос работает следующим образом.После заливки жидкого азота и гелия соответственно в сосуды 4 и 5 в насос напускают газовый сорбент, например азот 3 (ЙЗ), который конденсируется на сосуде 5, После откачки объектов, соединенных с насосом посредством вакуумных затворов, до форвакуумного давления менее 10-2 Па) и открытия затворов начинается откачка при помощи конденсэционно-сорбционного насоса,Остаточные газы...

Номер патента: 1653811

Опубликовано: 07.06.1991

Авторы: Алейник, Исаев, Куприянов, Чубаров

МПК: B01D 53/04, F04B 37/02

Метки: адсорбционный, вакуумного, насоса, элемент

...тканевым адсорбентом 4 и охлажденными шероховатыми подложками обеспечивается близость температурыподложек и ткани даже на открытых ее уча 15 стках несмотря на тепловые потоки излучения от неохлажденной частей конструкции,например, кожуха. В результате улучшаются такие адсорбционные характеристикиэлемента, как быстрота откачки газа. адсор 20 бционная емкость и скорость выхода элемента на стабильный режим работы.Регенерацию адсорбента осуществляют подачей в криогенные трубы 14 горячего воздуха при 120-140 ОС при одновременной25 откачке полости с адсорбентом. Адсорбционные элементы в одностороннем исполнении применяют для откачки остаточныхгазов под теплозащитными экранами, установленными непосредственно на эле 30 ментах,...

Номер патента: 1671960

Опубликовано: 23.08.1991

Автор: Моисеев

МПК: F04B 37/02

Метки: криосорбционного, насоса, работы

...последней и нагревают колонну 1. При этом в качестве теплоносителя используют криогенную жидкость, а количество адсорбируемого в единицу времени газа регулируют изменением уровня жидкости по высоте ТП 4. При десорбции газа газовую полость 7 отсоединяют от реципиента с помощью распределительного устройства 6, Количество десорбируемого газа в единицу времени регулируют изменением температуры нагревателя 5. 1 ил,. ии газа выводят колонну 1 из такта с криостатом 3 путем плоносителя из теплообасти 4 и вакуумирования4 и нагревают колонну 1. ачестве теплоносителя исогенную жидкость, а колирбируемого в единицу а регулируют изменением ости по высоте теплообсти 4. а для десорбцтеплового конудаления теменной полэтой полостиПри этом в кпользуют...

Номер патента: 1671961

Опубликовано: 23.08.1991

Автор: Моисеев

МПК: F04B 37/02

Метки: адсорбционный, криогенный, насос

...элементом 2 и ячейками 7 с сорбентом, причем последние охлаждаются и адсорбируют газ из реципиента. Для десорбирования газа из ячеек 7 нагревают колонну 5 нагревателем 6, Образующийся при этом теплообменный газ адсорбируют дополнительным адсорбционным насосом 9. 1 ил. на теплоизолирующим патрубком 11 для соединения ее со стержнем 2,Насос работает следующим образом.Теплообменный газ десорбируют из дополнительного адсорбционного насоса 9, Газ попадает по капилляру 10 в теплообменную полость 8, где он охлаждается до температуры теплопроводного элемента 2, конденсируется в теплообменной полости 8 и обеспечивает тепловой контакт между теплопроводным элементом 2, имеющим температуру криогенной жидкости в резервуаре 1, и ячейками 7 с...

Номер патента: 1682628

Опубликовано: 07.10.1991

Авторы: Александров, Ларин, Николаев

МПК: F04B 37/02, F04B 37/08

Метки: криоадсорбционный, насос

...насосом, По достижении в этих полостях необходимого уровня вакуума их внешнюю откачку прекращают и заливают хладагент (жидкий азот) в сосуд 7 радиационного экрана. Откачка камеры, для которой предназначен данный насос, от атмосферного давления может осуществляться через торовый сосуд 23 путем подключения к камере и форвакуумному насосу патрубков 24 и 25, В .этом случае торовый сосуд 23 выполняет функцию азотной ловушки. После предварительного вакуумирования камеры и насоса в сосуд 11 заливают криоагент, который имеет температуру ниже, чем хладагент, либо тот же хладагент (например, жидкий азот), который в рабочих условиях имеет более низкую температуру вследствие обеспечения откачки его паров из сосуда 11 через трубки-подвесы...

Номер патента: 1698481

Опубликовано: 15.12.1991

Автор: Ларин

МПК: F04B 37/02, F04B 37/08

Метки: адсорбционный, криогенный, насос

...залить криоагент в полость обечаек 14 и 15 при любой ориентации насоса, осуществляя залив либо через трубку 8, если входной патрубок 4 вверху, либо через трубку 9, если входной патрубок 4 внизу. Трубки 8 и 9 также позволяют производить откачку паров криоагента, снижая его температуру и, тем самым, повышая откачные характеристики адсорбента 7.Во время транспортировки в отверстие 28 шевронного экрана 10 и в углубление.26 верхней обечайки 14 вставляется штанга, закрепляемая на заглушке входного патрубка 4,а шток 25 вставляется в углубление 27 нижней обечайки 15, тем самым обеспечивается жесткая фиксация внутренних элементов насоса, исключающая повреждение.Формула изобретения 1. Криогенный адсорбционный насос, содержащий цилиндрический...

Номер патента: 1733687

Опубликовано: 15.05.1992

Авторы: Вдовенко, Нестерова, Хоменко, Шелковский, Шестаков

МПК: F04B 37/02

Метки: адсорбционный, насос

...относится то, что адсорбент панели и экранов достигает криогенных температур, близких к температуре кипения азота, практически одновременно, что приводит к интенсивному поглощению азота, т.е. закрытию (блокировке) более глубоких слоев адсорбента, При этом охлаждение периферийных слоевадсорОента, несмотря на его малую глубину(120 - 150 мкм), идет менее интенсивно.цель изобретения - улучшение откачных характеристик.Поставленная цель достигается тем, что в адсорбционном насосе, содержащем корпус с криопанелью, снабженной адсорбентом, на поверхности криопанели закреплен дополнительный адсорбент, причем значения теплопроводности адсорбентов различные.На фиг. 1 представлен адсорбционный насос; на фиг. 2 - узел 1 на фиг. 1.Насос состоит из...

Номер патента: 1749542

Опубликовано: 23.07.1992

Авторы: Бендер, Кузнецов

МПК: F04B 37/02, H01J 41/00

Метки: насос, сорбционный

...габаритовнассов:Йедостатком известных насбсов является также значительный выброс газа вовремя дугового разряда, поступающего 30 главным образом со стенок камеры-исоздающего из-за малого коэффициента прилипания и большой скорости перетеканияброски давления в вакуумной системе приимпульсном напылении и являющегося причиной низкого предельного вакуума при непрерывном напылении.Известен сорбционный насос, содержащий сорбционную поверхность; внутрикоторой расположен исйаритель,Недостатком известной конструкцииявляется малая сорбирующая поверхйбсть, что уменьшает скорость откачки газов, При увеличении сорбирующей поверхности данного насоса растут его габариты.Цель изобретения "увеличение скорости откачки газов при тех же габаритах...

Номер патента: 1749543

Опубликовано: 23.07.1992

Автор: Семенов

МПК: F04B 37/02, F04B 37/08

Метки: вакуумной, изделия, камере, негерметичного, откачки, полого

...9. Дополнительныйк полости изделия; атакже крйозкраны, рас-адсорбционйый насос подключен к полостиположенные вокруг изделия, включающий 45 10 устанавливаемого в объеме камеры 1,откачкувакуумнойкамерыосновнымисред. охваченной криоэкранами 5 и 6, негерме Ствами откачки; а также охлаждение криоэк- тичного изделия 11 и установлен, преммуранов и адсорбционного насоса, : , - щественно, в указанном обьеме камеры 1Одйако при осуществлении этогбспосо- посредством теплового моста-кронштейнаба адсорбент дополнительного насоса, ох 12,лаждаясь до рабочей температуры Способосуществляетсяследующимоб(минимальная температура эффективнойразом,работы тканевогб адсорбента КУТ, йапри- Откачивают вакуумную камеру основмер, равна 168 + 5 К) эа счет...

Номер патента: 1753032

Опубликовано: 07.08.1992

Авторы: Бараненко, Вайсфельд, Гашин, Мицкевич, Семенов

МПК: F04B 37/02

Метки: адсорбционный, высоковакуумный, насос

...виде плоского ребра 2 с трубой 3 (для хладагента) на торце (фиг. 1 - 4) или только трубы (фиг, 5),На обеих поверхностях каждого ребра 2 (фиг. 2 и 3) поеимущественно симметрично (или непосредственно на трубе 3) закреплены пакеты из чередующихся слоев 4 тканевого адсорбента и перфорированной теплопроводной прокладки 5 (перфорированной фольги, металлической сетки). Прокладка 5 выполнена в виде ленты,непрерывной в пределах по крайней мере 5 10 15 20 25 30 35 одного пакета и сложенной зигзагообразно по форматам (по разрезу , фиг, 4 а) слоев 4 адсорбента,Крепление пакета к криопанели осуществляется, преимущественно, съемно, с поджатием (усилие Р 1) к эахолаживаемой поверхности криопанели. В устройстве по фиг. 3 это реализовано с помощью...

Номер патента: 1831584

Опубликовано: 30.07.1993

Авторы: Ахмедзянов, Васильев, Волков, Дорф-Горский, Сазонов

МПК: F04B 37/02

Метки: адсорбционный, насос

...12 открывают и в дальнейшем в ходе испытаний рабочий вакуум поддерживают адсорбционным насосом. При этом выделяющиеся в ходе испытаний газы (Й 2, 02 и другие) через вентиль 12 проходят внутрь труб 6, через отверстия в еех проникают в полость 2 и поглощаются там сорбентом 3. Охлаждение насоса осуществляют хладагентом 4, которым обычно является жидкий азот. Охлаждение сорбента до низких температур резко увеличивает его поглощающую способность, Заливку азота осуществляют через патрубок Б. Азот при работе испаряется и пары его удаляют через патрубок В. В ходе испытаний требуется периодически доливать азот через патрубок Б для поддержания его на определенном уровне, контролируемом датчиком,После завершения испытаний с целью...

Номер патента: 1804176

Опубликовано: 09.02.1995

Авторы: Вишнев, Целищев

МПК: F04B 37/02

Метки: адсорбционный, насос

...труб- при 20 С, Производится интенсивный наки 8 и ее верхнего конца 9, выполненного в 35 грев адсорбента, содержащегося в колбе 2, виде Ч-образной трубки. Конический отбой- и газа, поглощенного адсорбентом, до ник 14 меньшим диаметром конуса направ- . комнатной температуры, при которой осулен вверх, а гребень волны компенсатора 15 ществляется десорбция поглощенного адвходит внутрь полости отбойника 14. сорбентом газа, Выходя из слоя адсорбентаПолость колбы 2, расположенная над 40 равномерно по всей высоте слоя, десорбиконическим отбойником 14, является сепа- руемый газ попадает в зазор 12 между перрационной зоной 16. Адсорбционный насос форированной 4 и центральной 8 трубками, работает следующим образом, за счет винтовой...