Вакуумный крионасос

ОЮЗ СОВЕТСКИХ ОЦИАЛИСТИЧЕСНИРЕСПУБЛИК ОМИТЕТОТКРЫТИЯМ ГОСУДАРСТВЕННЫПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР ВСЕСОВЗНАЯ М 1 ЮЛ й,:сьМ Г,14 Ь/,ИО :,.дПИСА ЕЛЬСТ вакуумноиоткачные обеспечить ориентации ого режима экран 3 и сорбента 7 К А 8 ТОРСКОМУ СВИ(57) Изобретение относится ктехнике и позволяет улучшитьхарактеристики крионасоса иего работу при произвольнойв пространстве. В период пусковв первую очередь охлаждаютсякриопанель 5, а охлаждение ад,ЯО 1525 4 Е 04 В 37 02 37 08 2происходит с задержкой по времени после достижения на фланце 6 криогенератора 2 температуры ниже 20 К. При этой темпера. туре газ (водород), заполняющий полость сильфона 9, конденсируется и теплопровод 1 О вследствие деформации сильфона 9 выступами 11 контактирует с фланцем 6. что и позволяет адсорбенту 7 охлаждаться и поглощать трудноадсорбируемые газы (водород, неон) только после конденсации на криопанели 5 легкоадсорбируемых газов ( аргон, кислород, азот) . Реге нера ция адсорбента 7 проводится путем включения на. гревателя 8 и обратной деформации силь. фона 9 без отогрева криопанели 5. 3 з. и. ф-лы, 1 ил.ИЗцбРЕТЕНИЕ ОТНОСИТСЯ и Вс)КУУМНЙ ТРХ- нике, а именно к конструкциям крионасосов для получения высокого вакуума.Цель изобретения улучшение откачныхарактеристик насоса, а также обеспечение его раооты при произвольнойориентации в пространстве.На чертеже представлена схема криц)с Х)(.с.Вакуучный крионасос сцдер кит корпус 1 с встроенным криогенератцром 2, теплцза. щитный экран , размещенный в корпусенд фланце 4 первой ступени криогенератцра 2, крицпанель 5, расположенную внутри экрана ) на фланце 6 второй сгупени крицген( раторд 2, адсцрбент 7 и на реватель 8. Крицндсцс снабжен теп,ивым клкян)м. рдзчещенныч нд фланце 6 второй сгунени кри)- ген(рдтора 2 и ныиц.ненныч в виде силь- фонд 9, пцлцст котрог заполнен; дзом, конденсирукицичся при рзбочей гемперату- рЕ КрИис НЕ.И;, И ТЕП,)цирОВц,10 М 1 О, Зс). крепленнь)м,д тепловом ключе теплоизолировзннцт к)ипанели 5 и фланца 6 второй ступени крицгенератцра 2 и ичеюп(им тен,ипрово;1 яи 1 ие Выстны 11, и ддсорбент 7 и ндгревдте,)ь 8 раси,ижены на теп.)опроводе 1 О. Флд)и и 6 второй ступени криогенераторд 2 снж( и камерой 12 с пзтрубком 3, обращенным к флднцу 6, и сильфцн 9 герметично )с)крен 1 И на кдч(р( 12 и егц пцгнсгь сццбиц нд с нл(тьк камеры2 ири пцчц)ци н; трубка. и. Ичеч и, с гь си ,ф)( ,) Сд)Л НЕ и Д ГиД: Р ДЦКрицндсос рдбц )с г с)ге,(л)иил бриз,1) ( (. и р(, в с) рт(з ь и 0 гц В д к с л ) р 0 В д ня ПЦ,гСТИ КРПсПРИ ЦЛНИ НН(Н)(й ТЕМ)с ЦТКД Ч иВК,)ЦЧД(ТСЯ КРИЦ ЕНРРс ЦР чц Н 1)и В,1 и к ц)с) ж.1(ник) Г(п,)03( ии Гнцг экрс)н),1 и ),риидн(ли 5. При этом вь)ступы 11 не им.кт кц)пакта с флднцем 6, что не пцзволяе (дсцро(нту 7 интенсивно 0- лд ждаты я и, соответственно, пц лошать гдзы и пары, поступдкщие В гилость кори. сд 1 из цтк; ивдемоп обьечд. Таким обрдзцл, легкцкцнденсируелые компоненты откдчивдемого гд ), тдк же кдк пары водь), двуокись л гл( рц.)д, кцнденсирются нд экране ), д дзот, кис,и рл, аргон нд крицпдн(ли 5, тел пер)Тл р; Кц) рой дцсти гает величины ниж( 2 О К .с(.1(црб( нт 7, имен)щий оолее высцкук т( перс гур, эти газы пцглцпьдет слабо, чтц позиляет сц,ра нить Высокие ечкцстные дрдктерис гики ддсорбентд иц тру;1 ноддсцрби ру мы ч г;зд чводород, неон) В )ерш)д нускцвцц режимаК мцч( Тдостижения течнерд гуры ф.сНцс 6 ни,кЕ 2 О К основная чс)(.(.;) Коми НитОВ ГКДЧИ Вснл)ЦГЦ ГДЗД КЦНДС НСИ РУ( ГСЯ, В тц ск( вр(чя )грцисодит и конденсНия водорода в полости сильфона 9, что приводит к сжатию смльфона 9 и контактированию выступов 11 с фланцем 6. В результате происходит интенсивное охлаждение адсорбента 7 путем теплоотвода по теплопроводу 10 и поглощение им трудноадсорбируемых газов.Наличие камеры 12 с патрубком обеспечивает сохранение сконденсированного водорода в зоне, наиболее приближенной к фланцу 6 при любой пространственной ориентации крионасоса, и ограничение конВективного теплообмена между теплопровцдом 1 О и фланцем 6 в период пускового режима.При регенера)ии адсорбента 7 включает. 5 ся нагреватель 8 и происходит кдк нагревддсорбента 7, тдк и нагрев и испарение конденсдгз в камере 12 что поивоит к деформации сильфонд 9 и ндршеник контакта Выств )1. днце 6, . е дзление ад- СцрбЕИГНЫ, ГаЗв М( жи ИрВОПИтЬ бЕЗ ОтО, ре, кр и опд не,и 5Т)кил брззоч, пре (твращение поглои(с ния,лсорсенточ, ( гкоадсорбируемых га.зов пцзвцляе; наиболее полно использовать е)ц и гении; льны ьцзмц кности, т. е. ллуч- ИИЬ Р)КЕРИСТИКИ Исаеси В ЦЕЛОМ.(ггг.зг,а и г 1)етения1 Б;к умн . Крицн;Сос, содержащийк 01;пус с нсро(,н,)м крио)енератором, теп днитный эк );н, размещенный в корпусенд ф,дн нернцй ступени криогенератора,Ндн(гг) рзспсложенную внутри экрана : д флднце второй ступени криогенератора, д,)сорбент и нагреватель, отличающийся геч, стц, с цельн уг)у 1 И)ения откачных ха )дкгеристик, криондсос снабжен тепловымклкчцм, размеп 1 енныл на фланце второй стл пени крисгенератора, и теплопроводом, закрепленным нд тепловол ключе теплоизолирцваннц цт криопанели и фланца второй стпени криогенератора и имекшим теплоирцвцдящие выступы, а адсорбенг и нагреватель расположены на теплопроводе.2 Крицнасос по и. 1, отлисающийся тем,чтц тепловой ключ выполнен в виде сильфона, полость которого заполнена газом, конден.45 сирукНимся при рабочей температуре криопа нели.;). Крионасос по п 2, отличающийгя тем,что, с целью обеспечения работы крионасоса ири произвольной ориентации в пространстве, фланец второй ступени криогенератора 50 сн)бжен камерой с патрубком, обращеннымк фланцу, д сильфон герметично закреплен нд камере и егц полость сообщена с полостью камеры при помощи патрубка.4. Крицнасцс пц и. 2, от.ггчающийгя тем,чтц полость сильфцнд заполнена водородом.