Конденсационно-сорбционный насос

, 165265 5 О 5 Е 04 В 37/02 САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМ ИДЕТ ЕЛ У технической фиэи - 1965,О-СОРБЦИОННЫЙ ионный насос позволяет осуткачку нескольовой нагрузкой причем влияние на друга устраозволяет провосположенныхоженных с одкачке газовой ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Институт физики твердого телСССР(57) Конденсационно-сорбцпредлагаемой конструкцииществить одновременную оких объектов с различной гаэи различными давлениями,откачиваемых объектов другняется, Конструкция насоса идить откачку произвольно раобъектов, в том числе и располной стороны от насоса, При от среды, поступающей в насос 1 через патрубки и каналы, образованные экраном 3 и перегородками, ее основная часть конденсируется на поверхности каналов, охлаждаемой жидким азотом, содержащимся в сосуде, а оставшиеся газы с температурой конденсации более низкой чем температура жидкого азота конденсируются или сорбируются на поверхности сосуда, охлаждаемого жидким гелием и имеющего слой осажденного газового сорбента, Перетекание газов из канала в канал устраняется благодаря высокому коэффициенту захвата молекул поверхностью гелиевого сосуда 5, Изобретение позволяет уменьшить количество насосов на единицу технологического или исследовательского оборудования, а следовательно, уменьшить стоимость изготовления и эксплуатации, повысить удобство эксплуатации оборудования и снизить сход хладагентов. 2 э.п,ф-лы, 3 илИзобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для получения высокого и сверхвысокого вакуума,Целью изобретения является расширение области использования путем обеспечения откачки одновременно нескольких объектов с разной газовой нагрузкой и различными давлениями в них.Дополнительной целью, улучшающей параметры насоса, является уменьшение теплоподвода к сосуду, охлаждаемому до минимальной температуры (например, при помощи жидкого гелия), и следовательно, увеличение ресурса работы насоса.На фиг,1 изображена конструкция конденсационно-сорбционного насоса с четырьмя патрубками; на фиг,2 - сечение А - А на фиг,1(сечение по патрубкам насоса); на фиг,З - входное устройство насоса с поворотом двух входных патрубков н одну сторо ну, вариант.Конденсационно-сорбционный насос состоит из корпуса 1 с входными пэтрубкэми 2, теплового экрана 3, охлаждэемого жидким азотом, заливаемым н сосуд 4, охлаждаемого жидким гелием сосуда 5, на котором конденсируется газовый сорбент 6 Входная часть теплового экрана 3 разделена перегородками 7 на каналы 8, соединенные тепловыми мостами 9 с патрубкэми 2. Длина канала несколько раэ превышает диаметр патрубка 2 и характеризует размер сечения канала 8. Перегородкй 7 образуют с днищем сосуда малые зазоры 10, Стенки каналов 8 выполнены чернеными,На фиг.З изображена входная часть насоса с двумя патрубками 2, направленными в одну сторону, причем один из них связан с удлиненным каналом 11,Конденсационно-сорбционный насос работает следующим образом.После заливки жидкого азота и гелия соответственно в сосуды 4 и 5 в насос напускают газовый сорбент, например азот 3 (ЙЗ), который конденсируется на сосуде 5, После откачки объектов, соединенных с насосом посредством вакуумных затворов, до форвакуумного давления менее 10-2 Па) и открытия затворов начинается откачка при помощи конденсэционно-сорбционного насоса,Остаточные газы поступают из вакуумируемых объектов по каналам 8 к днищу сосуда 5. При этом основная часть газовой среды объектов, имеющая температуру конденсации не ниже, чем температура кидко 5 10 15 20 го азота, который охлаждает стенки каналов 8, конденсируется на поверхности каналов 8, Оставшиеся газы, имеющие более низкую температуру конденсации, конденсируются на стенках сосуда 5, а неконденсируемые газы (водород и гелий) поглощаются ээовым сорбентом 6,В связи с тем, что гаэоныдегение (газовая нагрузка) н одновременно откэчинэе. мых обьектах может быть разным, н кдждом канале 8 устанавливается дэнление, соответствующее газонои нагрузке. Перетекание газов из одного канэла 8 н другой канал 8 через зазоры 10 практически не происходит в связи с тем, что попэдэющие н зэзор 10 молекулы газонсоудэряютсч с понерхностью гелиевого сосуда 5 благодаря высокому коэффициен гу зэхнатд глолекул поверхностью конденсируется нд ней. Поэтому взаимное иияние откдчинднглых обьектов не проявляется ддже при перепаде давлений н кэналдх 8 равном .скольким цорядкдгл 25 30 35 40 45 50 55 Формулэ изобоетения 1. Конденсэционно сорбц евонный насос содержащий корпус с нходн,м пэтрубком, нутри котоо рдзмещен охлэждаемый хлэддгенгом еплоной экран окруждющии о,лдсддеглигл жидким гелием сосуд с осажденным нэ его наружных стенках газовым сорбентом о т л и ч д ющ и й с я тем, что, с целью расширения области использования путем обеспечения оч качки одновременно нескольких обьектон с разнои дзонои нагрузкой входдя часть теплового экрана снабжена перегородкдми, образующими совместно с экраном каналы, каждый из которых с одной стороны соединен с соответствующим входным пдтрубком на корпусе с помощью теплового моста, а с другой - с сосудом с осажденным сорбентом,2, Насос по и 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения теплоподвода к сосуду, охлаждаемому жидким гелием, входной пэтрубок расположен перпендикулярно каналу, а длина кэналэ превышает диаметр входного пэтрубка3. Насос по пп,1 и 2, о т л и ч э ю щ и й с я тем, что, с целью повышения удобства эксплуатации при любом пространственном расположении обьектон, по меньшей мере один иэ каналов теплового экрана в,полнен выступающим за остальные, э связанный с ним патрубок направлен н сторону обьекта.652652 Фиг.Составитель К,МарьинРедактор М.Бандура Техред М.Моргентал Корректор Э.Лончакова Заказ 1759 Тираж 367 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101