Электродуговой испаритель геттерного вакуумного насоса
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК А 1.мсяс",.:;Фп фу НИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Авторское свидетельство СССР1345719, кл. Р 04 В 37/02, 1987. (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬГЕТТЕРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА (57) Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к электродуговым испарителям геттерных насосов. Цель изобретения - повышение надежности геттерного насоса за счет уменьшения тепловойнагрузки на магнитную систему его электродугового испарителя, При создании источником питания 3 разности потенциалов междукатодом 1 и анодом 8 и инициированиядугового разряда происходит испарение материала катода 1 (геттера) и осаждение его на поверхности анода 8. Осажденные слои гаттера являются сорбентом для молекул откачиваемого газа, поступающего в насос. Потенциал катода подводится через держатель 2 с расположенной в его полости магнитной системой 4 и упругие шайбы 6, находящиеся вблизи торцов катода и служащие также для компенсации изменения зазора 5 между держателем 2 и катодом 1 вследствие различия коэффициентов теплового расширения материалов катода 1, держателя 2 и шайб 6. Упругие шайбы 6 имеют радиальные прорези, расположенные по окружности и способствующие ускорению откачки кольцевого зазора 5 и увеличению термического сопротивления между катодом 1 и держателем 2. Электродуговой испаритель данной конструкции позволяет повысить надежность работы геттерного насоса за счет улучшения условий работы магнитной системы. 4 ил.1620672 формула изобретения СоТехред Тираж омитета сква, Ж кий комб авитель К.МКравчук. Ванду еда ктор аказ 423ИИПИ Г о изобретен- 35, Раушс нат Патент сударственного113035, Мовенно-издатель роизводс зИзобретение относится к вакуумной и напылительной технике, в частности к электро- дуговым испарителям металлов и сплавов, используемых в плазменных сорбционных насосах.Цель изобретения - повышение надежности геттерного насоса за счет уменьшения тепловой нагрузки на магнитную систему его электродугового испарителя.На фиг. 1 представлен предлагаемый электродуговой испаритель геттера, продольный разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - разрез А - А на фиг, 2 (разрез профиля упругих прорезных шайб); на фиг. 4 - разрез Б - Б на фиг. 2.Испаритель содержит полый цилиндрический катод 1, выполненный из материала геттера и установленный на держателе 2, служащем токоподводом и электрически связанным с источником 3 питания. Во внутренней полостидержателя 2 установлена магнитная система 4 стабилизации разряда, причем ее ось совпадает с осями держателя и катода 1. Между катодом 1 и держателем 2 имеется кольцевой зазор 5, образованный упругими прорезными шайбами 6, которые служат токопроводящими элементами, электрически связывающими держатель 2 и катод 1 Шайбы 6 имеют радиальные прорези 7, расположенные равномерно по окружности.Испаритель работает следующим образом.При создании с помощью источника пи.тания разности потенциалов между катодом 1 и анодом 8 специальным поджигающим устройством инициируется дуговой разряд, горящий в парах геттера в кольцевом пространстве, разделяющем катод 1 и анод 8, Пары геттера (обычно титана) осаждаются на охлаждаемую сорбционную поверхность анода 8 и сорбируют молекулы газа, попадающие в насос. Возникшие катодные пятна под действием магнитно 4го поля, создаваемого магнитной системой 4 стабилизации разряда, локализуются на рабочей поверхности катода 1, равномерно испаряя и нагревая его. Упругие шайбы 6, расположенные у торцов катода, создают 5 вакуумный кольцевой зазор 5, служащий дляуменьшения теплового потока от нагретого дуговым разрядом катода 1 к держателю 2 и расположеной внутри него магнит ной системой 4 и предохраняющий ее от пе регрева., Шайбы 6, служащие токопроводамиот держателя 2 к катоду 1, благодаря упругим свойствам обеспечивают надежный электрический контакт между катодом 1 и держателем 2, компенсируя изменение за-.зора 5 при работе насоса, из-за различия 15 коэффициентов термического расширенияматериалов катода 1, держателя 2 и шайб 6.Шайбы 6 имеют радиальные прорези 7 для обеспечения быстрой откачки полости кольцевого зазора 5, а также для увеличения 2 О термического сопротивления между катодом 1 и держателем 2.Применение электродугового испарителяданной конструкции позволяет повысить надежность его работы за счет уменьшения тепловой нагрузки на магнитную систе му 4 геттерного насоса. Электродуговой испаритель геттерноговакуумного насоса, содержащий цилиндри- ЗО ческий катод с осевым отверстием, установленный на держателе, служащем токо- подводом, и расположенную внутри нее магнитную систему стабилизации разряда, отличающийся тем, что, с целью снижения тепловой нагрузки на магнитную систему, катод отделен от подложки кольцевым вакуумным зазором, образованным прорезными упругими шайбами, установленными у торцов катода и служащими токопроводами. арьинКорректор С. ШевкунПодписноеям и открытиям при ГКНТ СССая набд. 4/5
СмотретьЗаявка
4633849, 09.01.1989
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7904
КАРПОВ ДМИТРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, ТУРЧЕНКО СЕРГЕЙ СЕРГЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: F04B 37/02
Метки: вакуумного, геттерного, испаритель, насоса, электродуговой
Опубликовано: 15.01.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1620672-ehlektrodugovojj-isparitel-getternogo-vakuumnogo-nasosa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электродуговой испаритель геттерного вакуумного насоса</a>
Предыдущий патент: Защитное устройство вакуумной системы
Следующий патент: Герметичный поршневой компрессор
Случайный патент: Способ получения сульфоэтоксилатов