Вакуумная ловушка

(19) (И ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОЧНРЫТИПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ 5 ЖИ;М 3 ю 11юЬ Й 1 С 13 )А 1 Е ЬЬ Й:Е: А(54) ВА (57) Из ЛОВУШКАе относится к вакуумозволяет повысить заловушки. Сосуд 4, е газопроницаемые стенй из геттерного матеУУМНАЯ бретен ике и войствпористолненн ной техщитныеимеющийки ивы А АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Авторское свидетельство ССй 1199979)Р 04 Р 9/06, 1984 в 4 Г 04 В 37/02, Р 049/06 риала, например, титана, нагреваетсярасположенным встенках нагревателем 6.При нагреве до 600-750 С происходитразложение (крекинг) углеводородов,а также эффективная откачка газов извакуумируемого объема. Внутреннийдиаметр сосуда 4 превышает диаметртеплового моста 5 в 1,5-5 раз. Этоисключает замасливание ловушкЪ привыключении откачки, даже если масляные насосы остаются под вакуумом, игарантируется чистота вакуума при последующих циклах эксплуатации вакуумной системы. 1 з.п, Ф-лы, 1 ил.1523714 Формула изобретения Составитель В.КряковкинРедактор А.Козориз Техред Л,Олейник Корректор В Кабаций Подписное Заказ 7018/33 Тираж. 522 ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина,101 Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к конструкциям защитных устройств, предотвращающихпопадание паров рабочих жидкостей ва 5куумных насосов в откачиваемые объемы.Цель изобретения - повышение защитных свойств ловушки.На чертеже представлена схема ловушки, размещенной в вакуумной системе,Вакуумная ловушка содержит корпус1 с входным 2 и выходным 3 патрубкамии расположенный в корпусе 1 улавливающий элемент в виде замкнутого сосуда 154 с пористыми газопроницаемыми стенка 1ми, внутренняя полость которого сооб-щена с выходным патрубком 3 черезтепловой мост 5, причем сосуд 4 выпол,нен из геттерного материала, например 20титана, и снабжен нагревателем 6,размещенным в его стенках.Кроме того, внутренний диаметр сосуда 4 превышает внутренний диаметртеплового моста 5 в 1,5-5 раз. Ловушка размещена в вакуумной системе иподключена к паромасляному 7 и механическому 8 насосам через вентиль 9.Ловушка работает следующим образом.Предварительное вакуумирование от"качиваемого объема осуществляетсямеханическим насосом 8 через газопро",ницаемые стенки сосуда 4, При достижении в откачиваемом объеме давления1-10 Па включается нагреватель 6 и втечение минимального времени (510 мин) температура стенок сосуда 4доводится до рабочей (600-750 С). Быстрый разогрев сосуда 4 осуществляется для обеспечения гарантии отсутст,вия паров рабочей жидкости насосовв пористых стенках, поскольку при более медленном разогреве пары начинаютпроникать в откачиваемый объем ввидуотсутствия крекинга, имеющего место 45 при рабочей температуре. При этой температуре пористый геттерный материал сосуда 4 не только эффективно разлагает пары масел и других углеводородов, но также обладает высокой скоростью сорбции всех химически активных газов, т.е. практически работает как эффективный сорбционный насос, быстрота действия которого может превышать быстроту действия паромасляного насЬса. Нагреватель 6 играет также роль армирующего элемента для стенок сосуда 4.Для уменьшения примерно на два порядка скорости поступления паров масла из насоса в ловушку размерные соотношения определяются из условия соизмеримости пропускных способностей пористых стенок сосуда 4 и теплового моста 5: внутренний диаметр сосуда 4 должен превышать внутренний диаметр .теплового моста 5 в 1,5 -. 5 раз.Таким образом, конструкция вакуумной ловушки позволяет повысить ее защитные свойства. Вакуумная ловушка, содержащая корпус с входным и выходным патрубками и расположенный в корпусе улавливающий элемент в виде замкнутого сосуда с пористыми газопроницаемыми стенками, внутренняя полость которого сообщена с выходным патрубком через тепловой мост, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения за" щитных свойств, сосуд выполнен из геттерного материала и снабжен нагревателем, размещенным в его стенках.2. Ловушка по п.1, о т л и ч а ю -щ а я с я тем, что внутренний диаметр сосуда превышает внутренний диаметр теплового моста в 1,5-5,0 раз.