Сорбционный насос

СОЮЗ СОВЕТСКИХсоцидлистическихРЕСПУБЛИК ав БЦи 1749542 А 1 4 В 37/02, И 01 3 41/00. 2 (21) 4843117/29: (54) СОРБЦИОЙНЫЙ НАСОС (22) 27.06.9 О(57) Сущность изобретения; сорбционный (46) 23,07.92, Бюл. ЬЬ 27 насос содержйт корпус-анод (КА) 1, электро- (71) Институт ядерной Физики СО АН СССР дуговой геттерный испарйтель-катод (ИК) 4 (в (72) Е.Д.Бендер и Г,Ф,Кузнецов .виде параллельнйхстержней) итокоподвод 5.(56) Саксаганский Г.Л, Электрофизические на который подается напряжение дугового вэкуумнЫе насосы. М,: Энергоатомиздат, разряда от источнйка пьпания 11. На конце 1988,: .: .; . стержней ИК 4 находягся поджигающие устАвторскоесвидетельство СССР . ройства 8, на которые подаются поджигают 758812, кл. Р 04 В 37/02, 1979, " . щие импульсы от источника 10, Вблизи. Авторское свидетельство СССРтокоподвода на каждом стержне имеются ду- Ь 1160101, кл, Р 04 В 37/02, 1983., гогасители 9, КА 1 сйабжен продольными и поперечными ребрами, образующими ячеистую структуру, а ИК 4 выполнен в виде стержней, межосевое расстояние которых р аеек. Зил,20 Изобретение относится к средствам получения высокого и сверхвысокого вакуума и касается, в частности конструирования сорбционных насосов с электродуговыми испарителями геттера, и может быть использовано в электровакуумном производстве, в экспериментальных термоядерных установках с постоянным и импульсным газоотделением, при откачке ионных йсточников, инжекторов нейтральных атомов и в других областях, где для обеспечения рабочего процесса необходим безмасляный вакуум. Известны сорбциойные насосы, содержащие электродуговые испарители геттера, имеющие форму диска или цйлиндра, и ва- куумную камеру, на внутреннюю поверхность которой напыляется сорбйрующая пленка, Такие насосы обладают высокой скоростью напыления геттера и позволяют получить высокую скорость откачки, если достаточно велика площадь сорбируюцей жней, благодаря чему напыляются с обеих сторон поперечные ребра, Потоки паров геттера от разных стержней эапыляют с обеих сторон продольные ребра.На фиг,1 изображен предложенный цилиндрический насос, общий вид, разрез; на фиг,2 - "то жв, поперечный разрез; на фиг,З- то же, вариант прямоугольного поперечного сечения,Насос (фиг.1) содержит корпус-анод 1, внутренняя цилиндрическая поверхность которого и днища имеют продольные ребра 2.Поперечные ребра 3 расположены на части корпуса лишь по длине испарителя. Испаритель-катод состоит из четырех стержней 4, установленных на одном токоподводе 5, Молибденовые пластины 6 ограничивают обращенную к сорбирующейстенке рабочую зону испарителя, Напряжение поджига дуги подводится через проводники 7. Поджигающее устройство 8 находится на конце стержней 4.поверхности,Однако увеличение сорбирующей поверхности в данных конструкциях достигается лишь за счет увеличения габаритовнассов:Йедостатком известных насбсов является также значительный выброс газа вовремя дугового разряда, поступающего 30 главным образом со стенок камеры-исоздающего из-за малого коэффициента прилипания и большой скорости перетеканияброски давления в вакуумной системе приимпульсном напылении и являющегося причиной низкого предельного вакуума при непрерывном напылении.Известен сорбционный насос, содержащий сорбционную поверхность; внутрикоторой расположен исйаритель,Недостатком известной конструкцииявляется малая сорбирующая поверхйбсть, что уменьшает скорость откачки газов, При увеличении сорбирующей поверхности данного насоса растут его габариты.Цель изобретения "увеличение скорости откачки газов при тех же габаритах насоса путем увеличения сорбирующейповерхности, кроме того, улучшение предельного вакуума и уменьшение газовых выбросов. Указанная цель достигается тем, что в сорбционном насосе сорбирующая поверхность снабжена продольными и поперечными ребрами, образующими ячеистуюповерхность, а испаритель выполнен в виде двух и более стержней, оси которых разнесены на расстояние, превышающее размеры ячейки, Во время дугового разряда катодные пятна перемещаются вдоль стерВблизи токоподвода на каждом стержне имеется молибденовый. дугогаситель 9, Поджиг и питание дугового разряда осуществляются соответственно от источника 10 поджигающих импульсов и от источника 11 питания дуги.Сорбционный насос работает следующим образом.Дуговой разряд возбуждается с помощью поджигающего импульса на одномиз стержней, Катодные пятна перемещаются вдоль стержня и запыляют с обеих сторон поперечные ребра 3 и одну иэ сторон продольных ребер 2. Достигнув дугогасителя,катодные пятна гаснут. После этого поджиг йодается на соседний стержень, ПроцессповторяетсяПри этом запыляется другаясторона продольных ребер 2, Таким образом, в испарении поочередно участвуют всестержни и геттер напыляется на все участки сорбирующей поверхности насоса,При варианте прямоугольного поперечного сечения насоса (фиг.З), устройство и работа насоса аналогичны описанному, В этом варианте не нужны молибденовые пластины 6(фиг,2), что несколько упрощает конструкцию.. Предложенная конструкцйя сорбционного насоса позволяет увеличить скорость откачки за счет увеличения сорбирующей поверхности, имеющей ячеистую структуру. Так, например, при высоте ребра, равной расстоянию между ребрами, сорбирующая поверхность увеличивается в пять раз, Кроме того, ячеистая поверхность снижает скорость вытекания газа из насоса в вакуумную систему. Помимо этого, ребра, приваренные к корпусу и на днище, усиливают прочность1749542 Составитель Е,БендерТехред М.Моргентал . Корректор А.Воровин едактор С Патрушев аз 2679ВНИИПИ Г Подписное етениям и открытиям при ГКНТ ССшская наб., 4/5 Тиражрственного комитета по из . 113035. Москва, Ж, Р Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина корпуса и позволяют уменьшить вес и расход металла при изготовлении насоса;Высокой зффективностью предлагаемый насос обладает при откачке направленных газовых потоков. Формула изобретения Сорбционный насос, содержащий корпус-анод и размещенный в нем электродуговой геттерный испаритель-катод, о т л и ч а-. ю щ и й с я тем, что, с целью улучшения" откачных характеристик, внутренняя поверхность корпуса-анода снабжена продольными и 5 поперечными ребрами, образующими ячейки,а испаритель-катод выполнен в виде по меньшей мере двух параллельных стержней, межосевое расстояние которых превышает размеры ячеек корпуса-анода,